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infotek 2021-07-13 09:57

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 ST5L O#5  
6O bB/*h  
任务/系统说明 ? [l[y$9  
9+ nB;vA  
BCYTlxC'  
'FgBYy/  
亮点 fz\C$[+u  
4='Xhm  
 $wg5q\Rv  
-KhNsUQk  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） .T 6 NMIp*  
 严格分析光栅衍射效率 <k!M+}a 9V  
 考虑入射光的方向分布 ?;zu>4f|  
W@`2+}  
说明：光源 yhv(KI  
r&oR|-2hRk  
0uV3J  
$s+/OgG4H  
说明：光束分束器 CuC1s>  
`-fWNHs  
7aRtw:PQn  
<*EMcZ  
说明：检测透镜系统 Swz{5 J2C  
6!zBLIYFI  
{,NGxqhE  
.Ds d Q4Y  
说明：微型晶片 0`c|ZzY  
SQ8xfD*  
LvtHWt  
uP, iGA  
说明：检测物镜 ${m;x:'  
R d'P\  
(rqc_ZU5  
T<yAfnTb`  
说明：探测器 ~hD!{([  
x1]J  
v+Eub;m   
0DtewN{Z  
结果：3D光线追迹（只有0级） p 4_j>JPv5  
Ipro6 I  
@<kY,ox@~  
oCfO:7  
结果：3D光线追迹（所有级） 5.ibH  
p0*qv"lA  
bGw56s'R5~  
Drm#z05i[g  
结果：光线追迹 ! Gob `# r  
Vu.VH([b]Q  
 O6*2oUKqK  
M[  {O%!  
结果：场追迹 "DaE(S&  
Zt_~Zxn3  
 lXtsnQOOK  
u7&q(Z&&O  
结果：线性偏振光的场追迹 6/Iq@BZ&  
i;Dj16h  
<fHJ9(5$V  
 o|:c{pwq  
文档和技术信息 dG&^M ".(  
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QQ：2987619807 Az7 ] qb  
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