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infotek 2021-07-13 09:57

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 \hB BG8=&  
rl*O-S/  
任务/系统说明 kN1MPd4Yh  
$B+| &]a  
&NE e-cb[  
a&y^Ps6=  
亮点 [I $+wWW_  
RpHlq  
 3^ Yc%  
"/#JC} ]  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） lfGyK4:  
 严格分析光栅衍射效率 u2V-V#jS  
 考虑入射光的方向分布 9(CvGzco <  
'Ts:.  
说明：光源 Hd|l6/[xz  
L[` l80  
yzA05npTl  
1^p/#jt  
说明：光束分束器 5\-uo&#  
IP~!E_e}\  
[|u^:&az  
]$ew 5%  
说明：检测透镜系统 j]a$RC#  
29R-Up!SVN  
]Z JoC!u  
1SQATUV  
说明：微型晶片 qfkHGW?1/j  
#Ondhy%h[  
Nd_fjB  
4JSPD#%f  
说明：检测物镜 +Q*`kg'  
15$xa_w}L  
97}]@xN=  
B{-7  
说明：探测器 'm%{Rz>j  
WA{igj@\  
GN.O a$  
A]1Nm3@  
结果：3D光线追迹（只有0级） #m+!<  
=bC +1 C  
d1/emwH  
6Z/`p~e  
结果：3D光线追迹（所有级） ]`E+HLEQ'  
NzRvbj]  
}fpya2Xt  
4 23zX6  
结果：光线追迹 lG*Rw-?a  
&[.5@sv  
 `S&a.k  
'Pz%c}hJ  
结果：场追迹 -@uFRQ t  
><%585  
 93-Y(Xx)bY  
B( [x8A]  
结果：线性偏振光的场追迹 &}ZmT>q`$  
x^eu[olN  
<QtZ6-;_f  
  K +7  
文档和技术信息 A'qe2]  
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 1I Yip\:lS  
QQ：2987619807 St=nf\P&F  
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