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infotek 2021-07-13 09:57

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 IPEJ7 n49  
Dvz}sQZ  
任务/系统说明 2:tO"   
-:NFF'  
$zYo~5M?i-  
{3R?<ET]mt  
亮点 ZZ@1l  
]] Jg%}o  
j/*4Wj[  
+u]L# ].;  
 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) =VPJ m\*V  
 严格分析光栅衍射效率 MaQ`7U5 |e  
 考虑入射光的方向分布 jI~GRk  
("5Eed  
说明:光源 siK:?A@4D  
ac< hz0   
2/M:KR  
2j( ]Bt:  
说明:光束分束器 `6BjNV  
~L ufHbr  
,~^BoH}  
[|E|(@J  
说明:检测透镜系统 $S_G:}tna  
2pn8PQfg)  
xXn2M*g  
UKfpoDhEe  
说明:微型晶片 DP<[Uz&  
$9m>(b/;n  
.L'eVLQe  
)AoF-&,w  
说明:检测物镜 R7j'XU  
1Z| {3W  
Wi3St`$  
u&\QZW?  
说明:探测器 (HD=m, }  
@ - _lw  
|uRZT3bGyj  
* M,'F^E2  
结果:3D光线追迹(只有0级) v#WD$9QWs  
.6xIg+  
-|aNHZr  
'v V |un(6  
结果:3D光线追迹(所有级) QGI_aU  
'X@>U6s  
p@Ng.HE  
Y,;$RV@g  
结果:光线追迹 xY,W[?3CY  
Y]-7T-*+t  
i<uWLhgh1$  
\~bx%VWW4  
结果:场追迹 1e(Q I) ~  
^g eC?m  
sn6:\X<[  
^KO=8m( )J  
结果:线性偏振光的场追迹 o6LZ05Z-&  
7B| #*IZe  
F^bzE5#  
U#{^29ik=o  
文档和技术信息 @& vtY._  
JZM:R  
m\O|BMHn  
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<!qv$3/7  
QQ:2987619807 IS9}@5`'  
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