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infotek 2021-07-13 09:57

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 J^XH^`'  
m=K XMX  
任务/系统说明 YU"Am !  
#[si.rv->  
h1Lp:@:|  
%MIu;u FR  
亮点 I)x:NF6JO  
^U =`Rx  
2iGRw4`_a  
nFP2wvFM  
 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) M{S7ia"s  
 严格分析光栅衍射效率 tL5Xfd?u  
 考虑入射光的方向分布 d.+vjMI  
MPB6  
说明:光源 Cam}:'a/`  
^4[\-L8Lpq  
izKk@{Md  
UqHOS{\Sz  
说明:光束分束器 Ao\Vh\rQkq  
RpXQi*c0  
1t0F J@)*  
<r kW4  
说明:检测透镜系统 cU>&E* wD  
V ;6M[ic}  
X=hgLK^3<,  
w0IB8GdF  
说明:微型晶片 !vB%Q$!x  
BuYDw*.  
J'EK5=H  
TAi\#cnl(6  
说明:检测物镜 NWg\{a  
HB}gn2 .1&  
^M9oTNk2  
t[maUy _A  
说明:探测器 c>R(Fs|6  
D7. P  
[E^X=+Jnz  
$O>@(K  
结果:3D光线追迹(只有0级) vraU&ze\1  
>SJ$41"E  
vz:0"y  
Z:hrrq9  
结果:3D光线追迹(所有级) c-T ^ aR  
AN>`M?EQ  
P~<93  
rrWk&;?  
结果:光线追迹 ##_Za6/n  
M;Rw]M  
gdK/:%u3  
Ak1)  
结果:场追迹 _pGviGR  
}ELCnN  
>l1Yhxd_0*  
h%s  
结果:线性偏振光的场追迹 DRoxw24  
<`3(i\-X  
C6M/$_l&a  
}Yl=lc vw  
文档和技术信息 QL2y,?Mz7  
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KUutC :  
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Q/n.T0Z ^  
QQ:2987619807 \#jDQ  
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