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检查微型晶片的光学系统
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infotek
2021-07-13 09:57
检查微型晶片的光学系统
成像系统>包括光栅
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任务/系统说明
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~Msee+ZZ :
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@xtcjB9
亮点
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在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA))
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严格分析光栅衍射效率
[k@D}p x
考虑入射光的方向分布
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@-kzSm
说明:光源
G&/}P$
m3F.-KPO
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<Sm=,Sw
说明:光束分束器
3yr{B Xn
L;,Nh
V F6OC4 K
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说明:检测透镜系统
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1^}()H62}
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说明:微型晶片
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wjq f u /
OJ@';ZyT=
.Z8 x!!Q*
说明:检测物镜
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KKGAk\X
6:-qL}
'3[Ecy#
说明:探测器
+'uF3-+WY
g}ciG!0
V,|l&-
: 60PO
结果:3D光线追迹(只有0级)
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kQ.atr`? e
w][ ;
9^v|~f
结果:3D光线追迹(所有级)
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|rW}s+Kcr
S,G=MI"
结果:光线追迹
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F mh;d*IT
结果:场追迹
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H!Uy4L~>
&m>`+uVBP
$'L(}gNv5
结果:线性偏振光的场追迹
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4{CVBowi
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文档和技术信息
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QQ:2987619807
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