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检查微型晶片的光学系统
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infotek
2021-07-13 09:57
检查微型晶片的光学系统
成像系统>包括光栅
IPEJ7n49
Dvz}sQZ
任务/系统说明
2:tO "
-:NFF'
$zYo~5M?i-
{3R?<ET]mt
亮点
ZZ@1l
]] Jg%}o
j/*4Wj[
+u]L#].;
在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA))
=VPJ m\*V
严格分析光栅衍射效率
MaQ`7U5 |e
考虑入射光的方向分布
jI~GRk
("5Eed
说明:光源
siK:?A@4D
ac< hz0
2/M:KR
2j(]Bt:
说明:光束分束器
`6B jNV
~LufHbr
,~^BoH}
[|E|(@J
说明:检测透镜系统
$S_G:}tna
2pn8PQfg)
xXn2M*g
UKfpoDhEe
说明:微型晶片
DP<[Uz&
$9m>(b/;n
. L'eVLQe
)AoF-&,w
说明:检测物镜
R7j'XU
1Z| {3W
Wi3St`$
u&\QZW?
说明:探测器
(HD=m,}
@ - _lw
|uRZT3bGyj
* M,'F^E2
结果:3D光线追迹(只有0级)
v#WD$9QWs
.6xIg+
-|aNHZr
'vV|un(6
结果:3D光线追迹(所有级)
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'X@>U6s
p@Ng.HE
Y,;$RV@g
结果:光线追迹
xY,W[?3CY
Y]-7T-*+t
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\~bx%VWW4
结果:场追迹
1e(QI) ~
^geC?m
sn6:\X<[
^KO=8m( )J
结果:线性偏振光的场追迹
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F^bzE5#
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文档和技术信息
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QQ:2987619807
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