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infotek 2021-07-13 09:57

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 u{G6xuPWf  
Pfy;/}u^c  
任务/系统说明 BtZm_SeA  
{ )K(}~VD  
"E#%x{d  
%&GQ]pmcY  
亮点 {+}Lc$O#C  
Os+ =}  
] UTP~2N  
VlvDodV  
 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) L1K_|X  
 严格分析光栅衍射效率 rR;Om1 -,  
 考虑入射光的方向分布 (>23[;.0  
ZrBxEf$f  
说明:光源 #k, kpL<a  
~coG8r"o  
)qe o`4+y  
>dY"B$A>  
说明:光束分束器 *x!5I$~J  
huE#VY /t  
54&2SU$kx  
L}+!<Ug  
说明:检测透镜系统 xa:P(x3[  
9X~^w_cdk  
= %m/  
4B]a8  
说明:微型晶片 F9" K  
5+J/Qm8{bb  
7[\B{N9&W  
up?8Pq*  
说明:检测物镜 xPv&(XZR  
dewu@  
,58[WZG  
+tF,E^  
说明:探测器 q ^?{6}sy  
s zg1.&  
VTdZ&%@  
tKs0]8tc  
结果:3D光线追迹(只有0级) mB\|<2  
y;H 3g#  
 W~4|Z=f  
vL7}0n>tz  
结果:3D光线追迹(所有级) }m?L/Y'}  
lbY>R@5  
LY MfoXp  
JkmL'Zk>:  
结果:光线追迹 W0|?R6|  
6lPGop]js]  
/T@lHxX  
mon(A|$|j  
结果:场追迹  O-k(5Zb  
(\T?p9  
| v+b?@  
wJ}8y4O!N  
结果:线性偏振光的场追迹 -mXEbsm  
|@ + x9|'W  
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文档和技术信息 ^t*BWJxPC  
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QQ:2987619807 2Y,s58F  
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