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检查微型晶片的光学系统
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infotek
2021-07-13 09:57
检查微型晶片的光学系统
成像系统>包括光栅
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=c^=Yvc7U
任务/系统说明
Kg-X]yu*0
}h h^U^ia
%ab)Gs
5?0gC&WfN
亮点
9$@ g;?}Ps
UDtbfc7bk
-8 =u{n
h!CX`pBM
在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA))
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严格分析光栅衍射效率
]pTw]SK
考虑入射光的方向分布
U*"cf>dB(
g~:(EO(w
说明:光源
fYM6wYJ
7qK0!fk5
M8j(1&(:
<`UG#6z8
说明:光束分束器
;Jn0e:x`E
^|i\d\
@"Fp;Je\bN
Ss! 3{VW
说明:检测透镜系统
m&0BbyE.z
A-C)w/7
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x$J.SbW
说明:微型晶片
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bNpIC/#0K
说明:检测物镜
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说明:探测器
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结果:3D光线追迹(只有0级)
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结果:3D光线追迹(所有级)
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^A"lkV7
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结果:光线追迹
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结果:场追迹
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结果:线性偏振光的场追迹
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文档和技术信息
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QQ:2987619807
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