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infotek 2021-07-13 09:57

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 l:~/<`o  
tAd%#:K  
任务/系统说明 !/b>sN}  
BKCiIfkZ  
,_ H:J.ik  
Qp5VP@t  
亮点 -m zIT4  
N{!i=A  
 Vr)S{k-Q  
4i;{!sT  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） Y1\}5k{>  
 严格分析光栅衍射效率 &J]K3w1p  
 考虑入射光的方向分布 QO:!p5^:  
1s&zMWC  
说明：光源 ) w5SUb  
,2oWWsC7  
}0*@fO  
)AtD}HEv  
说明：光束分束器 !PlEO 2at  
x j)F55e?  
*KF#'wi  
`{h*/Q  
说明：检测透镜系统 x8B}ZIbT9  
G$"h&Xy1c  
;4\ 2.* s  
a5^] 20Fa  
说明：微型晶片 ~vhE|f  
`$IK`O  
?p{Nwl#  
wW P}C D  
说明：检测物镜 h2A <"w  
76Cl\rV  
7F7 {)L  
s c,Hq\$&  
说明：探测器 \:'/'^=#|  
M/'sl;  
HRCT }  
ZQsJL\x[UK  
结果：3D光线追迹（只有0级） ~W'{p  
e]"W!K cD9  
re?,Wext\  
=o(5_S.u;  
结果：3D光线追迹（所有级） XEp{VC@=  
i>A s;*  
{6|G@ ""O  
rU:`*b<  
结果：光线追迹 uBKgcpvTs  
aiUY>M#|  
 #Y`~(K47  
_/$Bpr{R  
结果：场追迹 6<SAa#@ey  
xh,qNnGGi  
 CyFrb`%  
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结果：线性偏振光的场追迹 N^G Mp,8  
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文档和技术信息 h8S.x)  
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QQ：2987619807 6dt]`zv/  
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