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检查微型晶片的光学系统
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infotek
2021-07-13 09:57
检查微型晶片的光学系统
成像系统>包括光栅
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任务/系统说明
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$B+| &]a
&NE e-cb[
a&y^Ps6=
亮点
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RpHlq
3^ Yc%
"/#JC}]
在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA))
lfGyK4:
严格分析光栅衍射效率
u2V-V#jS
考虑入射光的方向分布
9(CvGzco<
'Ts:.
说明:光源
Hd|l6/[xz
L[` l80
yzA05 npTl
1^p/#jt
说明:光束分束器
5\- uo
IP~!E_e}\
[|u^:&az
] $ew 5%
说明:检测透镜系统
j]a$RC#
29R-Up!SVN
]Z JoC!u
1SQATUV
说明:微型晶片
qfkHGW?1/j
#Ondhy%h[
Nd_fjB
4JSPD#%f
说明:检测物镜
+Q*`kg'
15$xa_w}L
97}]@xN=
B{-7
说明:探测器
'm%{Rz>j
WA{igj@\
GN.Oa$
A]1Nm3@
结果:3D光线追迹(只有0级)
#m+!<
=bC +1 C
d1/emwH
6 Z/`p~e
结果:3D光线追迹(所有级)
]`E+HLEQ'
NzRvb j]
}fpya2Xt
4 23zX6
结果:光线追迹
lG*Rw-?a
&[.5@sv
`S&a.k
'Pz%c}hJ
结果:场追迹
-@uFRQt
><%585
93-Y(Xx)bY
B( [x8A]
结果:线性偏振光的场追迹
&}ZmT>q`$
x^eu[olN
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K +7
文档和技术信息
A 'qe2]
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1I Yip\:lS
QQ:2987619807
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