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检查微型晶片的光学系统
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infotek
2021-07-13 09:57
检查微型晶片的光学系统
成像系统>包括光栅
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任务/系统说明
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{ )K(}~VD
"E#%x{d
%&GQ]pmcY
亮点
{+}Lc$O#C
Os+=}
]UTP~2N
VlvDodV
在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA))
L1K_|X
严格分析光栅衍射效率
rR;Om1 -,
考虑入射光的方向分布
(>23[;.0
ZrBxEf$f
说明:光源
#k, kpL<a
~coG8r"o
)qe o`4+y
>dY"B$A>
说明:光束分束器
*x!5I$~J
huE#VY /t
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说明:检测透镜系统
xa:P(x3[
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4B]a8
说明:微型晶片
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5+J/Qm8{bb
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说明:检测物镜
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,58[WZG
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说明:探测器
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s zg1.&
VTdZ&%@
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结果:3D光线追迹(只有0级)
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y;H 3g#
W~4|Z=f
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结果:3D光线追迹(所有级)
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结果:光线追迹
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mon(A|$|j
结果:场追迹
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结果:线性偏振光的场追迹
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文档和技术信息
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QQ:2987619807
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