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检查微型晶片的光学系统
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infotek
2021-07-13 09:57
检查微型晶片的光学系统
成像系统>包括光栅
c(hC'Cp
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任务/系统说明
15 {^waR6
Kc]cJ`P4.
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亮点
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x}a?B
]rGd!"q
i-0 :Fs
在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA))
TgV-U
严格分析光栅衍射效率
~W>{Dd(J_
考虑入射光的方向分布
Eo$l-Hl5=
e[x,@P`
说明:光源
MMa`}wSs
7vgRNzZoq
5L6.7}B
XzV>q~I3|E
说明:光束分束器
MDa[bQNM
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rIPg,4y*S!
h(q4 B~
说明:检测透镜系统
>%6j -:S
W\<OCD%X
wa[J\lW
1Mq"f7X8
说明:微型晶片
KUX6n(u
3 a(SmM:
B_Wig2xH0
G{.=27
说明:检测物镜
f4<~_ZGr
LL:N/1ysG
2FL_!;p;2E
:6C R~p
说明:探测器
t`&mszd~T
ce4rhtkV
uF%N`e^S
aU +uPP
结果:3D光线追迹(只有0级)
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7g8\q@',
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hQ%X0X,
结果:3D光线追迹(所有级)
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0* ^f EoV
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G|?V}pZ
结果:光线追迹
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结果:场追迹
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kVWrZ>McK
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结果:线性偏振光的场追迹
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文档和技术信息
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QQ:2987619807
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