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检查微型晶片的光学系统
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infotek
2021-07-13 09:57
检查微型晶片的光学系统
成像系统>包括光栅
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任务/系统说明
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M}:=zcZ l
亮点
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N- e$^pST
}<@j'Ok}.
在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA))
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严格分析光栅衍射效率
dF0,Y?
考虑入射光的方向分布
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r?m+.fJB
说明:光源
@J{m@ji{
"xcX'F^
'ckQg=zPR
eAUcv`[#p
说明:光束分束器
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说明:检测透镜系统
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说明:微型晶片
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说明:检测物镜
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说明:探测器
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MT(o"ltQ
NmK8<9`u
结果:3D光线追迹(只有0级)
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\ w3]5gJZ
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结果:3D光线追迹(所有级)
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结果:光线追迹
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B?VhIP e
结果:场追迹
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结果:线性偏振光的场追迹
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文档和技术信息
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QQ:2987619807
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