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检查微型晶片的光学系统
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infotek
2021-07-13 09:57
检查微型晶片的光学系统
成像系统>包括光栅
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m=K XMX
任务/系统说明
YU"Am !
#[si.rv->
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亮点
I)x:NF6JO
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在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA))
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严格分析光栅衍射效率
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考虑入射光的方向分布
d.+vjMI
MPB6
说明:光源
Cam}:'a/`
^4[\-L8Lpq
izKk@{Md
UqHO S{\Sz
说明:光束分束器
Ao\Vh\rQkq
RpXQi*c0
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说明:检测透镜系统
cU>&E*wD
V;6M[ic}
X=hgLK^3<,
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说明:微型晶片
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BuYDw*.
J'EK5=H
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说明:检测物镜
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t[maUy_A
说明:探测器
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D7.P
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$O>@(K
结果:3D光线追迹(只有0级)
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>SJ$41"E
vz:0"y
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结果:3D光线追迹(所有级)
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P~<93
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结果:光线追迹
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结果:场追迹
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结果:线性偏振光的场追迹
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C6M/$_l&a
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文档和技术信息
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Q/n.T0Z^
QQ:2987619807
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