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infotek 2021-07-13 09:57

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 {*jkx,|  
0lmoI4bW}s  
任务/系统说明  9l{r&]  
A "_;.e`  
{_^sR}%]F  
xOTm-Cm9L  
亮点 mjBXa  
/:yKa=$  
 Pb]s+1  
J&8l1{gd  
 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） "p2PZ)|  
 严格分析光栅衍射效率 OWOj|jM  
 考虑入射光的方向分布 =x/]2+ s  
%I6iXq#  
说明：光源 "28x-F+J  
wG^{Jf&@$  
dVO|q9 /  
qr<5z. %  
说明：光束分束器 'ky'GzX,  
V-7!)&q  
(O&ooM* o  
o5Pq>Y2T  
说明：检测透镜系统 A`X$jpAn&  
'^7Sa  
1C.<@IZ  
KS(s<ip|  
说明：微型晶片 DJrA@hm/Y  
\:-; {  
]d% hU  
17<\Q(YQ=  
说明：检测物镜 hz\7Z+$L_  
"V?U^L>SF  
xQaN\):^8  
?LvZEiJ  
说明：探测器 {:{NK%  
Dyt}"r\  
-f Zm_FE  
, Y9lp)w  
结果：3D光线追迹（只有0级） 7*@qd&  
sEhdkN}6  
XL} oYL]}&  
1[X+6viE  
结果：3D光线追迹（所有级） p1G!-\l  
"MK:y[+*  
LG&~#x  
8Jxo;Y  
结果：光线追迹 |3"'>* J  
5&+ qX 2b  
 e-{k;V7b  
oqUtW3y  
结果：场追迹 s:;!QIC5jo  
193Q  
 7CM<"pV  
Bv!j.$0d{  
结果：线性偏振光的场追迹 fTV:QAa;  
`sJkOEc`  
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文档和技术信息 I.q nA  
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QQ：2987619807 I&R4.;LW  
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