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infotek 2021-07-13 09:57

检查微型晶片的光学系统

成像系统>包括光栅 S@Yb)">ZQ  
:&2RV_$>=  
任务/系统说明 "%A/bv\u  
~Msee+ZZ :  
hs2f3;)  
@xtcjB9  
亮点 2(5wFc  
5;>M&qmN  
VMad ]bEf  
 n1y#gC  
 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) 4oT2 5VH  
 严格分析光栅衍射效率 [k@D}p x  
 考虑入射光的方向分布 I = qd\  
@-kzSm  
说明:光源 G&/}P$  
m3F.-KPO  
=XQ3sk6U  
<Sm =,Sw  
说明:光束分束器 3y r{B Xn  
L;,Nh  
V F6OC4 K  
VXn]*Mo  
说明:检测透镜系统 gO*cX&  
89`AF1  
1^}() H62}  
D4Uz@2_  
说明:微型晶片 9 ?MOeOV8  
wjq f u /  
OJ@';ZyT=  
.Z8 x!!Q*  
说明:检测物镜 :n0(gB  
KKGAk\X  
6:-qL}  
'3[Ecy#  
说明:探测器 +'uF3- +WY  
g}ciG!0  
V,|l&-  
: 60PO  
结果:3D光线追迹(只有0级) 45/f}kvy  
kQ.atr`?e  
w][ ;  
9^v|~f  
结果:3D光线追迹(所有级) 73Mh65  
%dw-}1X  
|rW}s+Kcr  
S,G=MI"  
结果:光线追迹 cp0>Euco=  
Mr2dhSQ !  
r5lp<md  
F m h;d*IT  
结果:场追迹 nLto=tNUO  
H!Uy4L~>  
&m>`+uVBP  
$'L(}gNv5  
结果:线性偏振光的场追迹 y"e'Gg2  
n3isLNvIp  
4{CVBowi  
.}SW`R Pk  
文档和技术信息 u\Fq\_  
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QQ:2987619807 EZ1H0fm  
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