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检查微型晶片的光学系统
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infotek
2021-07-13 09:57
检查微型晶片的光学系统
成像系统>包括光栅
JgA{1@h
t 7o4 aBl"
任务/系统说明
d4*SfzB
W]bgWKd
G]N3OIw&8
z;F HZb9t,
亮点
gPb.%^p
@d^Z^H*Yv
{u2Zl7]z^
(CY D]n
在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA))
5bAdF'~
严格分析光栅衍射效率
r-TrA$k
考虑入射光的方向分布
x^EW'-a
G"OP`OMDc
说明:光源
+ima$a0Zyt
3T0~k--
^D6TeH
|R _rfJh
说明:光束分束器
K@{0]6
)GAlj;9A$
J?yasjjgP
{it}\[3
说明:检测透镜系统
1[8^JVC>6
d}':7Np
cv-rEHT
2xf lRks
说明:微型晶片
B^r?N-Z A
Q?1J<(oq9
Fa[^D~$l*
h7^&:
说明:检测物镜
v/9ZTd
Mms|jFoQ
Wc2&3p9 c
?]$<Ufr
说明:探测器
pu]U_Ll@
B=L!WGl<!
d"06 gp
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结果:3D光线追迹(只有0级)
J8p; 1-C"
n:OXv}pv
WA~[)S0
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结果:3D光线追迹(所有级)
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_<#92v!F
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结果:光线追迹
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@jm +TW
M,@M5o2u
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结果:场追迹
q,L>PN+W
T` h%=u|D
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结果:线性偏振光的场追迹
U&1O
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(m:Q'4Ep
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文档和技术信息
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s_/@`kd{
QQ:2987619807
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