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infotek 2021-07-06 14:06

用阿贝判据研究显微系统的分辨率

摘要 !Ka~X!+\  
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显微系统的分辨率一般用阿贝判据进行表征。这也解释了物镜的数值孔径(NA)决定了光栅(作为样本)衍射阶在其后焦平面上的滤波。当高衍射级次的衍射被滤除后,像面不会发生干涉,因此不会成像。本实例演示了数值孔径NA对滤波效果和分辨率的影响。 ( z%t  
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1. 案例 7o`pNcabtz  
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在VirtualLab Fusion中构建系统 )mRKIM}*W  
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1. 系统构建模块 iMs(Ywak]  
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2. 组件连接器 Hbz,3{o5  
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几何光学仿真 15`,kJSK  
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以光线追迹 ?nx 1{2[  
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1. 结果:光线追迹 ,DWC=:@X  
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快速物理光学仿真 fsVr<m  
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以场追迹 I'16-  
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1. NA=1.4时的光栅成像 {_*$X  
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2.  NA=0.75时的光栅成像 aQhr$aH  
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3. NA=0.5时的光栅成像 KdTna6nY  
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文件信息 mdD9Q N01  
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QQ:2987619807 2VNfnk  
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