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infotek 2021-07-01 09:27

高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计

摘要 @3aI7U/I  
 <u=k X  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 g %ZKn  
u*h+ c8|zI  
U@'F9UB`  
=!R+0  
设计任务 h=x{ 3P;B  
P&g.%8b~84  
7^hwRZJ{  
7,v}Ap]Pa  
S&q(PI_"  
光栅特性与参数的严格分析 asj*/eC$/i  
P}2waJe  
不同光栅周期的衍射效率 9im<J'  
<+r<3ZBA  
n[f<]4<  
n !oxwA!  
考虑光栅周期的选择 [t{ed)J  
MJ% gF=$X  
:~PzTUz  
偏振相关衍射特性 'P`L?/_3  
BKJwM'~  
aP`[O]8j  
 C)H1<Br7  
偏振相关衍射特性 ^1}Y=! &  
_Pe,84Ro  
 QPZ|C{Ce  
p$+.]  
偏振相关衍射特性 wJ}9(>id*  
CHGV1X,  
L2WH-XP=  
 +<TnE+>j  
基于参数优化的光栅设计 15)y]N={^  
Wf>P[6  
具有固定周期的二维参数优化 oBpoZ @[Z  
`9>1 w d  
 ?z/ )Hkw  
二维参数优化 - 设计＃1 W&'[Xj  
6~O9|s^38w  
 QVq+';cG  
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二维参数优化 - 设计＃2 F-&=N {+  
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制造公差分析 - 设计＃2 A])+Pe  
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不同光栅周期的三维参数优化 '^# =,+ A  
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制造公差分析 :Y\!~J3W  
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