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infotek 2021-07-01 09:27

高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计

摘要 4E[!,zvl  
$ RwB_F  
光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 #4h+j%y[H  
Ei3zBS?J)  
H{c?lT  
lhYn5d)DV  
设计任务 4Kv[e]10(  
#Hh^3N  
A +w v-~3  
}o,z!_^PLQ  
O:/y Ac`  
光栅特性与参数的严格分析 sNHSr  
^, i>'T  
不同光栅周期的衍射效率 $7Mtt.d6  
6V+ qnUk  
uH^ PQ  
}2r+%V&4  
考虑光栅周期的选择 a!c[!  
|m?vVLq  
5[9 bWB{  
偏振相关衍射特性 >(tn"2  
'69ZdP/xX  
p'?w2YN/  
 6Bm9?eU0  
偏振相关衍射特性 68'>Zbelb  
DV]7.Bm  
 W;Jx<-#1  
E}Xka1 Bn  
偏振相关衍射特性 =KX<_;E  
cQZ652F9  
? {F{;r  
 D 0]a\,aZ  
基于参数优化的光栅设计 z&3]%t `C  
l t]B#, '  
具有固定周期的二维参数优化 ` e{BId  
2$zU&p7sV  
 qq0?e0H  
二维参数优化 - 设计＃1 6a>H|"P NE  
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二维参数优化 - 设计＃2 M\+*P,i  
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制造公差分析 - 设计＃2 SLk2X;c]o  
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不同光栅周期的三维参数优化 c 8QnN:n  
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制造公差分析 dNV v4{S  
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