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infotek 2021-07-01 09:25

倾斜光栅的参数优化与容差分析

摘要 r)>'cjx/  
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对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 |%8t.Z  
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结果-容差分析 p=[dt  
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在VirtualLab Fusion中查看 8z=o.\@  
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VirtualLab Fusion的工作流程 ArX*3  
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•构造光栅结构 Y uZ  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] tMf5TiWu@  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] (ce)A,;  
•分析光栅衍射效率 RToX[R;1E  
- 光栅级次分析器[用例] j }^?Snq  
•使用参数优化优化光栅参数 b2F1^]p  
•使用参数运行进行容差分析 PK?}hz  
- 参数运行文档的用法[用例] ZQz;EV!  
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VirtualLab Fusion技术 /Jk.b/t.*S  
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文件信息 NFIFCy!  
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