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infotek 2021-07-01 09:25

倾斜光栅的参数优化与容差分析

摘要 dpNERc5  
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对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ) =29Hm"  
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VirtualLab Fusion的工作流程 Hn(1_I%zF  
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•构造光栅结构 #Q^" .#  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] #H>{>0q  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] 9 =;mY  
•分析光栅衍射效率 ~RuX2u-2&u  
- 光栅级次分析器[用例] t n5  
•使用参数优化优化光栅参数 crP2jF!  
•使用参数运行进行容差分析 M }d:B)cz  
- 参数运行文档的用法[用例] }:ZA)  
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VirtualLab Fusion技术 e;6K xvX~  
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文件信息 x^ f)I|t  
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