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infotek 2021-07-01 09:25

倾斜光栅的参数优化与容差分析

摘要 $6Psq=|  
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对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 8t; nU;E*  
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在VirtualLab Fusion中查看 i=rW{0c%  
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VirtualLab Fusion的工作流程 1l{n`gR  
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•构造光栅结构 [a2/`ywdV  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] 4l:+>U@KU  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] +{&g|V  
•分析光栅衍射效率 ~V4|DN[I  
- 光栅级次分析器[用例] 5NK:94&JE  
•使用参数优化优化光栅参数 3/ D fsv  
•使用参数运行进行容差分析 e5Z\v0  
- 参数运行文档的用法[用例] b $!l* r  
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VirtualLab Fusion技术 2 q>4nN  
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文件信息 GZo^0U,;  
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