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infotek 2021-06-24 10:16

倾斜光栅的参数优化与容差分析

摘要 py$i{v%  
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对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 @./ @"mR<  
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设计任务 _7<G6q2(  
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1级参数优化 m@"p#pt(_  
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结果-容差分析 S e|h]+G  
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结果-容差分析 /4$ c-k  
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VirtualLab Fusion一瞥 ?f*>=;7=  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 p1s|JI  
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构建光栅结构  rB_ESNx  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] L#fSP  
−倾斜光栅高级设定[用例] -Fc 9mv(H  
•光栅衍射效率分析 R)Dh;XA  
−光栅阶序分析器[用例] F6" QsFG  
•使用参数优化进行光栅参数优化 *_"lXcG.  
•使用参数运行的容差分析 EUS^Gtc  
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VirtualLab Fusion技术 %:y"o_X_  
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文件信息 zwK$ q=-:  
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QQ：2987619807 |`Be(  
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