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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 6?%]odI#  
jo,6Aog|u  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 K[Y c<Q  
Wk/fB0  
'v'` F*6  
U9<_6Bsd  
建模任务 SW,q}-  
P<>[e9|  
F1 <489  
概述 YH ETI~'j.  
?gd'M_-J,  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 (g%JK3  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 8s QQK.N(  
D-Bv(/Pz]$  
Jq# [uX  
*4|9&PNLE  
光线追迹仿真  4]"a;(  
i'Y-V]->  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 |9+bSH9  
•单击go! m5e\rMN~>\  
•获得了3D光线追迹结果。 Z -pyFK\  
h^%GE;N  
S8*^ss>?^R  
AU0$A403  
光线追迹仿真 pt=7~+r  
y!S^xS  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 @b]VCv0*f%  
•单击go! MP jr_yc]  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 &\&'L|0F  
&@=u+)^-{  
jz %;4e~t  
?O!]8k`1$  
场追迹仿真 ` !zQ  
Bp &6x;MJf  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 B`LD7]ew  
•单击go! NV:>a  
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场追迹仿真(相机探测器) 3b<: :t  
A)OdQFet(  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Mg#`t$ u  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 +<gg  
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\.5F](:  
场追迹仿真(电磁场探测器) sjSi;S4  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 b([:,T7  
@o`sf-8x  
M#`{>R|  
>+L7k^[,0  
场追迹仿真(电磁场探测器) aZP 2R"  
YFG-U-t3  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5$anqGw  
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vxb@9 eb!H  
文件信息 b~1iPaIh  
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QQ:2987619807 B<Ol+)@,}  
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