首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> FRED,VirtualLab -> 分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 $_+.D`vx`  
F7&Oc)f"B  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 )U +Pt98"  
NOQSLT=  
S{S.H?{F  
k/m-jm_h  
建模任务 ;~"#aL50fe  
A 6j>KTU  
a=r^?q'/  
概述 yv(\5)XF  
nV_[40KP_  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 h,x'-]q  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 D.,~I^W  
:^J'_  
Ey]P >J  
qlg?'l$03)  
光线追迹仿真 %Hpz^<`  
FQBAt0  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 AkX8v66:  
•单击go! x}7`Q:k=  
•获得了3D光线追迹结果。 *3h!&.zm  
tW \q;_DSr  
gPY Cw?zQ  
/rzZU}3[  
光线追迹仿真 6B&ERdoX  
WoD Qg64  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ;hkzL_' E)  
•单击go! j9 O"!9$vQ  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 9UcSQ"D  
Ji;R{tZ.R  
i3<ZFR  
o]WG8Mo-  
场追迹仿真 -3|i5,f  
u;H5p\zAzz  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ; 2Za]%'  
•单击go! A>Xt 5vk+  
i1-wzI  
l^4!  
-n]E\"  
场追迹仿真(相机探测器) tRmH6  
wKj0vMW  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 f4lC*nCN  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 *S\/l-D  
?vocI  
.Eg[[K_iD  
">'`{mXew  
场追迹仿真(电磁场探测器) wf/DLAC  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 _?~)B\@~0  
rEY5,'?YHv  
Q+=D#x  
5 $:  q  
场追迹仿真(电磁场探测器) tjt#2i8/  
8L,i}hIo.  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 50Y^##]&  
.+2@(r  
sI#r3:?i  
6),VN>j  
文件信息 VQ'DNv| 9  
5d5q0bb  
1xt N3{c  
sA[eKQjaD  
*pKj6x  
QQ:2987619807 UWW_[dJr   
查看本帖完整版本: [-- 分析高数值孔径物镜的聚焦特性 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2026 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计