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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 6$fnQcpJ  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 1m<?Q&|m$  
\btR^;_\A  
JV]u(PL  
Q|= Q]$d  
建模任务 omv6_DdZ  
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b?]ly(  
概述 PL9eUy  
k/_8!^:'  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 0YpiHoM  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 B(\r+"PB  
yI.}3y{^5  
wL-ydMIx  
2@3.xG  
光线追迹仿真 Bq~hV;9nf  
xa{<R+LR  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 En,)}yI  
•单击go! 0i*'N ch#i  
•获得了3D光线追迹结果。 +eBMn(7Cgv  
Uc&6=5~Ys\  
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_D>as\dP  
光线追迹仿真 `?]rr0.}hp  
OS"{"P  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 vNz;#Je  
•单击go! v dH+>l  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 P('t6MVl T  
^5;vx  
b@wBR9s  
," C[Qg(  
场追迹仿真 P^8^1-b  
Z\|u9DO  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 29Z!p2{hk  
•单击go! 0\cnc^Z  
0Oc}rRH(C  
(}{_]X|e  
Hz]4AS  
场追迹仿真(相机探测器) Dh&:-  
s-C!uq  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 vXy uEEe  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。  's>#8;X  
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场追迹仿真(电磁场探测器) Ig1lol:;  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 TsaW5ho<p  
(ve+,H6w\  
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YVB% kKv{  
场追迹仿真(电磁场探测器) oe(9mYWKa6  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /7k.r}6\R  
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文件信息 [3j$ 4rP  
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