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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 K\>CXa  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 ^k}jPc6  
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建模任务 g3uI1]QXLg  
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概述 jP|(y]!  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Cdd +I5~  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。  ~WG#Zci-  
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光线追迹仿真 4d0<uB&v'  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 nANoy6z:  
•单击go! qjp<_aw  
•获得了3D光线追迹结果。 f<0nj?  
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D;al(q  
光线追迹仿真 0Ie9T1D=  
[bvIT]Z  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ` `R;x  
•单击go! 3QrYH @7zx  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 YEx7 6  
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场追迹仿真 ,&IBj6%Y  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 8y{<M"v+/  
•单击go! Gm.n@U p  
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场追迹仿真(相机探测器) }GCt)i_  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 !:mo2zA  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 \Podyh/;?  
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场追迹仿真(电磁场探测器) /0mbG!Ac  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 e/m ,PE  
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D/Y.'P:j  
场追迹仿真(电磁场探测器) \gL H_$}  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 gHC -Y 0_  
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文件信息 h&Ehp   
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QQ:2987619807  # a 'h,  
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