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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 6V\YYrUz  
KE:PRX  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 IbC(/i#%`  
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建模任务 -frmvNJ F  
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WS8m^~S@\  
概述 {~>?%]tf  
K^`3Bg  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 1VK?Svnd  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 :#58m0YLA:  
4k_&Q?1  
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V %'`nJ!  
光线追迹仿真 !Uz{dFJf;  
h`dtcJ0  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 "Wr5:T-;  
•单击go! TSqfl/UI  
•获得了3D光线追迹结果。 s42M[BW]  
y0cHs|8  
m\`dLrPX4j  
q\ FF)H  
光线追迹仿真 24PEt%2  
3^ ~M7=k  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 x@I*(I  
•单击go! w~a^r]lPW  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 %eWzr  
K: g_M  
zvV<0 Z  
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场追迹仿真 =gS?atbX  
w2!G"oD  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 \Km!#:  
•单击go! P:h;"  
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nf& P Dv1  
场追迹仿真(相机探测器) MTo<COp($  
bh|M]*Pq  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 k `JP  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 B.CUk.  
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场追迹仿真(电磁场探测器) :)VO,b~r  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 OV3l)73?t  
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场追迹仿真(电磁场探测器) |N_tVE  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 r(;oDdVc  
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文件信息 D\|$ ! i}  
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QQ:2987619807 MCOiB <L6  
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