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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 @ebSM#F?  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 /vNHb _-  
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建模任务 e+O502]  
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概述 +nz 0ZQ9 a  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 <_3OiU= w  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 T )!k J;vc  
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光线追迹仿真 k] iyx  
6rBP,\m  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 T7LO}(I.&  
•单击go! H6Q!~o\"H  
•获得了3D光线追迹结果。 uWjEyxPv{  
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2g HRfTF  
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光线追迹仿真 |31/*J!@z*  
xz3|m _)  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 sUz,F8G  
•单击go! '#NDR:J"  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 su0q 2.  
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场追迹仿真  J;GYo|8  
2Dw}o;1'  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 &Y jUoe  
•单击go! x:iLBYf  
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场追迹仿真(相机探测器) tvcM< e20  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 l#&\,T  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 dmPAPCm%y  
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场追迹仿真(电磁场探测器) iC4rzgq  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。  Y3g<%6  
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?/}-&A"  
场追迹仿真(电磁场探测器) A7R [~  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 46D _K  
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文件信息 0?*":o30  
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QQ:2987619807 JZ)w  
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