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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 7C~g?1  
0w6"p>s>c  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 YF)c.Q0  
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I:] Pd  
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建模任务 Nkk+*(Z  
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s<8|_Dt  
概述 gV-A+;u  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 W"5VqN6v  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 FivqyT7i  
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光线追迹仿真 Bv^5L>JZ/  
x#'v}(v  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 F?4&qbdD  
•单击go! f}Uf* Bp  
•获得了3D光线追迹结果。 W<Asr@  
o#V{mm,{Pm  
B\quXE)  
AL[,&_&uV  
光线追迹仿真 :a)`iJnb  
+<sv/gEt  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 %"AB\lL.  
•单击go! N?c!uO|h|  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 y2>AbrJ  
R(GL{Dh}L  
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场追迹仿真 m@g9+7  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 2E@y0[C?  
•单击go! i0&W}Bb'  
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场追迹仿真(相机探测器) Z \;{e'#o  
XM:\N$tg  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 v=E(U4v9e  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 c{})Z=  
Z4D[nPm$  
mh,a}bX{  
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场追迹仿真(电磁场探测器) o|y1m7X  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 X`fer%`  
G@o\D-$  
]eo%eaA   
)^j62uv  
场追迹仿真(电磁场探测器) 8l >Xbz  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 GyQvodqD  
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# 2?3B  
文件信息 9rgvwko  
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QQ:2987619807 LMI7Ih;  
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