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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 &g|[/~dIr  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。  9q"kM  
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建模任务 "\wMs  
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概述 </[.1&S+\  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。  qb? <u  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 .!3e$mhV  
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光线追迹仿真 ) H,Xkex  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ZDW9H6ux  
•单击go! httywa^  
•获得了3D光线追迹结果。 @j\:K<sk  
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光线追迹仿真 $cSUB  
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•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 R /=rNUe  
•单击go! gH//@`6  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 iVFOOsJ@  
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场追迹仿真 FCt<h/  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 av'm$I|O  
•单击go! NzT &K7v  
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场追迹仿真(相机探测器) gWr7^u&q@|  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 DZqPCMz)^  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 Qj^Uz+b  
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场追迹仿真(电磁场探测器) c5^HGIe1  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 [QnN1k  
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场追迹仿真(电磁场探测器) ov+{<0Q  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^("b~-cJ  
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QQ:2987619807 5|rBb[  
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