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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 \l_RyMi  
KJ,{w?p~ )  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 B:ddlxT $  
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建模任务 9cFFQM|o  
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概述 n?&G>`u*  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 s \#kqw\x  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 s!Y>\3rMW  
B;N40d*W  
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光线追迹仿真 T_6,o[b8  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 wGd8q xa  
•单击go! )8ctNpQt  
•获得了3D光线追迹结果。 //Ioh (N  
#93;V'b]  
W6&" .2  
Sl^HMO  
光线追迹仿真 !fwLC"QC  
E8jdQS|i  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Cv{rd##Y8  
•单击go! nfy"M),et  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 ^O#,%>1J  
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#$K\:V+ 4  
*ky5SM(NR  
场追迹仿真 BI;in;Ln  
3RscuD&  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 \PU|<Ru.  
•单击go! }pPxN@X  
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场追迹仿真(相机探测器) &kXf)xc<~  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 NJs )2  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 )Y Qtrc\91  
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场追迹仿真(电磁场探测器) lj@c"Yrk  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 s~]Ri:7~  
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p[hA?dXn  
7O;v5k~iQ  
场追迹仿真(电磁场探测器) "1&C\}.7  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^=pn!lK;^  
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文件信息 ;-n+=@]7  
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QQ:2987619807 4ZQX YwfC|  
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