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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 #BwOWra  
yQE9S+%M  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 W4$F\y  
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~RRS{\,  
建模任务 AYv7- !Yk  
Jp-6]uW  
lN'b"N  
概述 X][=(l!;w7  
b_']S0$c\  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ky I~  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 KEo?Cy?%ff  
^b6yN\,S  
=O>E>Q  
Ti$_V_  
光线追迹仿真 ~'0W(~Q8  
%a|m[6+O  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Ue(\-b\)  
•单击go! S3ZI C\2  
•获得了3D光线追迹结果。 Ir6g"kwCKq  
l(d3N4iz  
C=&;4In  
Vr hd\  
光线追迹仿真 H0-v^H>^  
q z8Jvgu?  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Ao$|`Lgj=z  
•单击go! Lc_cB`  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 6xoCB/]  
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场追迹仿真 t4<+]]   
{9- n3j}  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 t>h:s3c  
•单击go! qkBCI,X_Y  
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场追迹仿真(相机探测器) jbp?6GW  
o<Qt<*  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 vfdTGM`3  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 d0 ;<Cw~Tl  
v$#l]A_D  
Ch73=V  
mq+<2 S  
场追迹仿真(电磁场探测器) \ {;3'<  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @k)[p+)E  
.q|k459oi  
mb*|$ysPx  
Y=Om0=v  
场追迹仿真(电磁场探测器) ^y[- e9O|  
}70A>JBw  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Wv]ODEd  
*vOk21z77d  
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文件信息 #,9#x]U#v  
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QQ:2987619807 qO[_8's8  
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