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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 ).KA0-  
V.Hv6  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 ` o)KG,  
3Gs\Q{O:  
$>)0t@[f  
'!m6^*m|c  
建模任务 GDLw_usV  
SVU>q:ab  
vr;`h/  
概述 12 p`ZD=  
%+*=Vr  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Lc!2'Do;  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 :^7w  
B&cIx~+  
|k.'w<6mb9  
"L3mW=!*  
光线追迹仿真 3)G~ud  
Odwe1q&  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 w)dnmrKDZg  
•单击go! 2yA)SGri  
•获得了3D光线追迹结果。 a_Y<daRO  
`n&:\Ib  
&%OY"Y~bI!  
jOGdq;|  
光线追迹仿真 z0[@O)Sj  
REW[`MBQ  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 z+MH co"  
•单击go! K<P d.:  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 fJS:46  
a=2.Y?  
wI@87&  
=|oi0  
场追迹仿真 3U<m\A1  
4!dc/K  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 c}(H*VY2n  
•单击go! I=dG(?#7%  
-8l<5g7  
01A{\O1$j  
R'Jrbe|  
场追迹仿真(相机探测器) kY)Vr3uGA  
?[JP[ qS  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 {SV/AN  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 rUI?{CV  
Y-ao yoNS  
Q ^b&   
wv9HiHz8gD  
场追迹仿真(电磁场探测器) 7P1Pk?pxy  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Vuz.b.,i`  
&N^j }^ Z  
V,-we|"  
*2h%dT:,%  
场追迹仿真(电磁场探测器) n3iiW \  
@j\:K<sk  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -Q20af-  
G^.N$wcv  
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文件信息 `;85Mo:qJ  
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QQ:2987619807 L;3%8F\-.  
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