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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 u~s'<c+8_  
)sV# b  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 ,dVCbAS@  
J+IW  
@0 -B&w  
C9=f=sGL  
建模任务 e<9nt [  
m/eGnv;!  
J~_p2TZJ\3  
概述 .qK=lHxT  
r`;C9#jZ  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 7Ck;LF}>0  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 k2t?e:)3zr  
`n5c|`6  
5)nv  
NWAF4i&$  
光线追迹仿真 \B}W(^\wg;  
(Wx)YI  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 h5f>'l z  
•单击go! @\"*Z&]8z0  
•获得了3D光线追迹结果。 tjd"05"@:  
q#p)E=$  
:.35pp,0  
N"T8 Pt  
光线追迹仿真 . \d0lJSr  
tLvli>y@  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 &)X<yd0  
•单击go! rmabm\QY  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 lwY{rWo  
KPR{5  
dt \O7Rjw8  
vlPE8U=  
场追迹仿真 }oN(nPxv9  
J.nVEqLZ  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 gMGg9U$@  
•单击go! N Dg]s2T  
'D/AL\1{p(  
O ,>&w5   
mCE})S  
场追迹仿真(相机探测器) UpIf t=@P  
WuNu}Ibl}m  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 8@A[ `5  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 YSwD#jO0  
DA wzXsx  
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场追迹仿真(电磁场探测器) &*y ve}su  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 -of= Lp  
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|M?HdxPa  
# _7c>gn  
场追迹仿真(电磁场探测器) qnS7z%H8  
z8!u6odu %  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 i4pJIb  
f2u2Ns0Ym  
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文件信息 d5=xOEv; :  
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QQ:2987619807 z K(5&u  
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