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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 G}-.xj]  
eq+o_R}CS  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 (rG1_lUDu  
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建模任务 ,?`1ve_K<  
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概述 N39nJqo>"  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 a!:8`X~[/$  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ye|a#a9N  
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光线追迹仿真 8T)zB6ng  
bQy%$7UmX,  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 KY`96~z  
•单击go! --twkD  
•获得了3D光线追迹结果。 <s >/< kW:  
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光线追迹仿真 b H?qijrC  
Dw=Z_+J  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 1bJ]3\  
•单击go! &7w>K6p  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 d `kM0C  
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GWInN8.5  
场追迹仿真 bez'[Y{  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 bfJ`}xl(8  
•单击go! K`,d$  
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场追迹仿真(相机探测器) N+M&d3H`  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 `MsYgd  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 LBkcs4+  
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场追迹仿真(电磁场探测器) +F o$o  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ok>(>K<r  
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场追迹仿真(电磁场探测器) 'dc+M9u)_q  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %A62xnX  
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文件信息 Y#lk!#\Y  
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QQ:2987619807 icPp8EwH  
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