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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 roA1= G\Q  
Qnw$=L:  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 <-?B#  
HUghl2L.<  
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M'HOw)U  
建模任务 YNXk32@j@e  
nx4aGS"F:  
G<z)Ydh_  
概述 f8 ja Mn9o  
H94.E|Q\+  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 5;{Bdvcv  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 \1!k)PZdTW  
Wk|z\OR(  
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! lF^~x  
光线追迹仿真 n1t(ns|  
}*'ha=`J  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 lkm(3y@']A  
•单击go! TH|hrL;:8  
•获得了3D光线追迹结果。 [1*/lt|+p  
m@@QT<  
d.AjH9 jg  
W'jXIO  
光线追迹仿真 E8i:ER $$7  
{X$Mwqhpp;  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 , .I^ekF  
•单击go! MT`gr  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 =5`@:!t7  
q(7D8xG;F  
!_) ^bRd  
^{s0d+@{  
场追迹仿真 =M 5M;  
wDO5Zew!  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 [S:)UvB  
•单击go! F4Uk+|]Bu  
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F 29AjW86  
场追迹仿真(相机探测器) \zU5G#LQ  
6W=:`14  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ]e.+u  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 %B*dj9n^q  
QNXxpoS#  
3(+#^aw  
S=p u  
场追迹仿真(电磁场探测器) (OB8vTRXP  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 YZRB4T9  
}yw;L(3  
h<;[P?z  
LFyceFbm  
场追迹仿真(电磁场探测器) VtiqAh}4  
_M[[vXH  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 rs Uw(K^  
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\.P}`Bpa  
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文件信息 }.UI&UZ-  
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Nu/Qa:H_{  
07Q[L'}y@  
N5s|a5  
QQ:2987619807 t!~YO'<dS  
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