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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 *Ta {  
\= 6dF,V  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 Ux);~P`/o  
7CU<R9Kl  
0CeBU(U+|R  
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建模任务 tTq2 AR|  
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概述 G`v(4`tA  
2j^8{Agz  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 /z1-4:^`A[  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ;k1VY Ie}  
R,hwn2@B  
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W1}d6Sbg  
光线追迹仿真 +nFC&~q  
& @ $D(  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 0VgsV;  
•单击go! GKXd"8z]  
•获得了3D光线追迹结果。 bhjJH,%_>  
n7#}i2:  
H"JzTo8u  
 N,ihQB5  
光线追迹仿真 F{17K$y  
ti ic>j\D  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 G{'`L)~3N  
•单击go! v00w GOpW  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 eeUEqM$7EX  
K{G\=yJ((  
c_6~zb?k+m  
# i|pi'I j  
场追迹仿真 F$,i_7Z&6  
/n9,XD&)  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 35#"]l"  
•单击go! C/z0/mk  
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;0 9~#Wop  
场追迹仿真(相机探测器) Tml>>O  
JW=P} h  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 tb'O:/  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 X./7b{Pax  
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&Ht5!zuW,  
场追迹仿真(电磁场探测器) ET=-r  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^s3SzB@  
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[G}l;  
-*0U&]T  
场追迹仿真(电磁场探测器) -* piC(  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~&8bVA= .  
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文件信息 {b]V e/\  
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QQ:2987619807 b#{[Pk,w9  
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