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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 YgimJsm  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 _ECB^s_  
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建模任务 |^Kjz{  
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概述 qm%nIU \*  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 n)RM+g  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 tX?J@+  
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6+PGwCS  
光线追迹仿真 Gru ALx7  
QO,+ps<  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 %?=)!;[  
•单击go! [cpNiw4e  
•获得了3D光线追迹结果。 XTo8,'UaP  
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光线追迹仿真 % wL,v.}  
Xw^X&Pp  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 8&.-]{Z  
•单击go! ea~i-7  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 o;QZe&  
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场追迹仿真 9,WG!4:+W  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 }4h0bI  
•单击go! zYr z08PJ  
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场追迹仿真(相机探测器) `%y5\!X  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 jONjt(&N  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 9L  HuS  
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场追迹仿真(电磁场探测器) sykFSPy`'  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %U?)?iZdL  
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场追迹仿真(电磁场探测器) U~/ID  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \h#9oPy  
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文件信息 ]l&'k23~p  
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QQ:2987619807 fIkT"?  
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