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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 NBwxN  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 T ]hVO'z  
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PTWP7A[  
建模任务 s {p-cV  
~,WG284  
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概述 {`2! 3= "  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Hm!ffqO_  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ON.C%-T-  
`w` f[dU-  
u9ObFm$7  
"SJp9s3  
光线追迹仿真 h+<vWo}H  
S.pL^Ru  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 n!z7N3Ak>  
•单击go! SR)G!9z_/  
•获得了3D光线追迹结果。 Ri=:=oF(  
|T\`wcP`q  
OJ^kESrm8  
HX%lL }E  
光线追迹仿真 X|zQZ<CO  
?~X*\  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 yB0xa%  
•单击go! _;L%? -2c  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 un([3r  
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(k/[/`3ST  
 mo+zq~,M  
场追迹仿真 UKX9C"-5v  
m}ZkNWH  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 o81RD#>E)  
•单击go! $;7,T~{  
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@`R#t3)8JP  
场追迹仿真(相机探测器) ^/@Z4(E  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 e.-+zkQ8EI  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 eajctkzj  
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c=d` DJ  
场追迹仿真(电磁场探测器) v~E\u  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 LX f r  
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场追迹仿真(电磁场探测器) s/Ne,v  
V /i~IG`h/  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7`eg;s^  
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文件信息 oF'_x,0  
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