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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 U n2xZ[4  
KSuP'.l  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 '+Dn~8Y+9  
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建模任务 09eS&J<R  
<[?oP[ j  
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概述 4*l ShkL  
xg'z_W  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 tk<dp7y7  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 u=jF\W9  
F^IYx~:  
0(Z ER sP  
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光线追迹仿真 Tm_AoZH  
[U]*OQH`e  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 wQ*vcbQX*  
•单击go! q>%KIBh(  
•获得了3D光线追迹结果。 $/5Jc[Ow  
HW"|Hm$Y(  
,!|/|4vh  
g[44YrRD  
光线追迹仿真 II)\rVP5  
m7^aa@^m  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 z6B/H2  
•单击go! S$+vRX7  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 6/wAvPB$  
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-B9C2  
za1MSR  
场追迹仿真 4VSlgoz  
1@P/h#_Vr  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 jB:$+k|~.  
•单击go!  ^vYH"2  
Cv>|>Ob#  
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h$ DFp  
场追迹仿真(相机探测器) EJ.oq*W!*J  
VThcG( NF  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 @T._   
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 I0(BKMp&  
gV):3mWC  
2w'Q9&1~  
4cRF3$a md  
场追迹仿真(电磁场探测器) 36*"oD=@  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @R_a'v-  
KF|+# qCN  
CuR\JKdRo  
3DV';  
场追迹仿真(电磁场探测器) |[CsLn;  
}BKEz[G(  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 }\:3}'S.$  
II3)Cz}xRG  
X,IjM&o"Y  
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文件信息 GRB/N1=  
L$cNxz0$  
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@HxEp;*NH"  
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QQ:2987619807 oN)l/"%C7/  
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