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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 nxH=Ut7{  
P!yE{_%  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 0g% `L_e_  
u 0KVp6`  
x5\C MWW  
--E_s /   
建模任务 GkqKIs  
EjLj5Z/q  
27q 9zi!Q  
概述 fsqK(io28  
zr%2oFeX,  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 E O^j,x g  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 !mhV$2&r  
W/COrgbW  
$(pzh:|  
ig Fz~  
光线追迹仿真 !4zSE,1  
V'(yrz!   
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 #7/;d=  
•单击go! C5mq@$6  
•获得了3D光线追迹结果。 ``?] 13XjK  
p^PAbCP'|3  
b4%sOn,  
\k\ {S2SU  
光线追迹仿真 =Tv;?U C  
X5i?B b.  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ZN75ON L  
•单击go! u|prVzm\m  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 *aF#on{  
C}grY5 :  
';"W0  
#(6^1S%  
场追迹仿真 `8^4,  
:%ms6j/B&V  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ?;NC(Z,  
•单击go! #~]S  
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E`68Z/%  
场追迹仿真(相机探测器) JL0>-kg  
c*LB=;npI  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 A2 'W  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 5~GHAi  
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G&qO{" Js  
Y*0AS|r!  
场追迹仿真(电磁场探测器) c^$_epc*  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +u+|9@  
GG0l\! 2)  
R+vago:  
jI})\5<R  
场追迹仿真(电磁场探测器) :&*Y Io  
yV`H_iC  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^5j+O.zgN  
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N.r8dC  
s|*0cK!K^  
文件信息 Wtl/xA_  
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QQ:2987619807 8:*   
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