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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 ad i5h  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 w;r -TLf  
y(6&90cr  
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建模任务 <NT/+>:2  
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概述 a,lH6lDk  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 2ORWdR.b  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ^_)CQ%W?  
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光线追迹仿真 N-K.#5  
$T]1<3\G  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 |~v($c  
•单击go! J>XaQfzwU  
•获得了3D光线追迹结果。 %#ms`"H  
cGOE$nL  
R/<  /g=  
P]r"E  
光线追迹仿真 B:+}^=  
My_fm?n  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 @YWfq$23  
•单击go! 9c#9KCmc  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。  /=[M  
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场追迹仿真 gjyg`%  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !Me%W3  
•单击go! ot(|t4^  
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场追迹仿真(相机探测器) 69yTGUG3  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 .9 nsW?  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 =p&6A^  
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场追迹仿真(电磁场探测器) SL@Vk(  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #J^p,6  
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NF&\<2kX  
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场追迹仿真(电磁场探测器) p c-'+7Dh>  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 GXJ3E"_.  
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文件信息 s#* mn  
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QQ:2987619807 ~Ycz(h'(  
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