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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 b9RHsr]V  
s`_EkFw>Gl  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 aL4^ po  
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建模任务 :31_WJ^  
JI[8n$pr]  
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概述 n2bhCd]j<b  
'RV96lX<  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 wn5OgXxG<  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Yi%lWbr  
Q?i_Nl/|  
SjB"#E)  
@  W>@6E  
光线追迹仿真 l.o/H|  
Ks P2./N  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 N:)x67,  
•单击go! j|[rT^b@  
•获得了3D光线追迹结果。 7P+1W \  
ZPmqoR[  
QQS*r}>  
-/pz3n  
光线追迹仿真 fA6IW(_bi  
%xlpOR4  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 4{YA['  
•单击go! Nn[*ox#i  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 bgi_QB#k\  
K<e #y!  
v1,#7s AW'  
9jTBLp-i#N  
场追迹仿真 t2o{=!$WH  
x#EE_i/W  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 $&as5z8  
•单击go! |reA`&<q  
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O`~#X w  
场追迹仿真(相机探测器) EfEgY|V0  
LeLUt<4~  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ,a{85HLr]  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 1%+-}yo<  
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场追迹仿真(电磁场探测器) <Q~N9W  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @:}c(j  
1,wcf,  
V'&;r'#O  
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场追迹仿真(电磁场探测器) ^v; )6a2  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 y0d=  
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文件信息 "U}kp#)  
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QQ:2987619807 q 6>eb  
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