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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 _CImf1  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 Z;M th#  
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建模任务 s9aa _Th  
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概述 YHQvx_0yP  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 gUWW}*\ U  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 "OWW -m  
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光线追迹仿真 -,a@bF:  
l?<DY$H 0  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ;m#_Rj6  
•单击go! j{&$_  
•获得了3D光线追迹结果。 L"Dos +  
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^Gwpx +  
光线追迹仿真 G<M9 6V  
?d' vIpzO!  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 1EAQ ~S!2  
•单击go! WG]`Sy  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 /CXQ&nwY9=  
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Dn[uzY6  
场追迹仿真 -^ R?O  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 zGaqYbQD  
•单击go! Oj8xc!d'  
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场追迹仿真(相机探测器) 3<O=,F  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 aJLc&o 8Yg  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 o3cE.YUF  
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'l $ViNq;  
场追迹仿真(电磁场探测器) $EG9V++b3  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 WP5Vev9*+  
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I(uM`g  
场追迹仿真(电磁场探测器) Nnq r{ub  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 vD76IG jm  
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文件信息 M'nzoRk  
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QQ:2987619807 3,0b<vfSv  
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