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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 ~e^)q>Lb7(  
cjY@Ot*i$  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 IwRQL%  
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建模任务 {PmzkT}LF  
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概述 8p,>y(o  
,.7vBt6 p  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ?N _)>&b  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 vU 9ek:.l  
gV`S%   
ua:9`+Dff  
{X]9^=O"  
光线追迹仿真 iiN?\OO^~  
gvr]]}h:O  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 c}cG<F  
•单击go! 3N3*`?5c<  
•获得了3D光线追迹结果。 ]ut?&&*  
hXnw..0"  
Rk{$S"8S_  
eoL0^cZj  
光线追迹仿真 ZIy(<0  
|VYr=hjo  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 S5/p=H:  
•单击go! H<z30r/-w  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 GZ,j?@  
w= B  
#:I^&~:  
4K'|DO|dH  
场追迹仿真 C=s((q*  
-s33m]a;  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 iz(m3k:w  
•单击go! ,i;9[4QMX  
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场追迹仿真(相机探测器) ^@Y9!G=  
/O_0=MLp  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 %cd]xQpCp  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 d4V 2[TX  
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NC;T( @  
Z{ %Uw;d  
场追迹仿真(电磁场探测器) Bd QQ9$@5  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ho>p ^p  
VrudR#q  
Ipg\9*c`  
y]MWd#U  
场追迹仿真(电磁场探测器) C~:b*X   
tRkrV]K  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~V!EtZG$  
O${r^6Hh  
c.\:peDk  
01-p `H+  
文件信息 H]U "+52h  
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QQ:2987619807 ,,XS;X?  
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