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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 IIR?@/q  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 JWn{nJ$]  
`i:0dVs  
FXSDN268  
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建模任务 f:Ja  
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1*jL2P]D  
概述 ?^!dLW  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 z0UO<Y?9  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 eJA{]^Zf  
[;2:lbPx  
>>8w(PdTn%  
JS:lysu  
光线追迹仿真 H'`(|$:|  
3"hR:'ts  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 :58'U|  
•单击go! bOdv]nQ1  
•获得了3D光线追迹结果。 "$'~=' [  
.0-m=3mp2  
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4|L@oTzx  
光线追迹仿真 {.OoOqq9  
_Kj.  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Iz8 ^? >X  
•单击go! M^f1D&A  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 DnFl*T>  
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4~Pto f@  
场追迹仿真 11T\2&Q  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 I}v#r8'!  
•单击go! !dH&IEP~  
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场追迹仿真(相机探测器) uPXqTkod  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 mX?{2[  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 }_22 wjm~  
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场追迹仿真(电磁场探测器) rM=A"  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 g0OS<,:  
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场追迹仿真(电磁场探测器) y;Ln ao7i  
2H+DT-hK  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ;Hb[gvl   
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文件信息 73ljW  
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QQ:2987619807 5l/l]  
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