首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
FRED,VirtualLab
->
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2021-06-23 11:22
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要
^_W40/c3
mp1ttGUtM
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
:$%>4+l
(` c G
TH:W#Ot
Z9[+'ZWt
建模任务
)/>A6A:
^2C>L}
u-:Ic.ZV
概述
n_23EcSy
o\!qcoE2W
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。
l'"'o~MC
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
(s&&>M]r_
>bIF>9T
s`;f2B/|
E ]f)Os$
光线追迹仿真
WD.U"YI8y
v* ~3Z1
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。
^B]@Lr E^
•单击go!
izuF !9
•获得了3D光线追迹结果。
>2lwWXA
3+U]?7t
Ll}yJ#3,
yWb4Ify
光线追迹仿真
2*AG7
D*2\{W/
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
rLv;Y
•单击go!
v("wKHWTI@
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。
y{=>$C[
J^ G
D$q'FZH
goZ V.,w
场追迹仿真
"pvH0"Q*
[Qj;/
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
5o0Ch
•单击go!
mYv(R!37'
lm0N5(XP
Jp~zX lu
sWqM?2g
场追迹仿真(相机探测器)
7wVH8^|
j.|U=)E
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
lFq{O;q7}
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
(S/F)?
c0rk<V%5+
|J>WC}g@n
|yY`s6Uq
场追迹仿真(电磁场探测器)
g0R[xOS|
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
C+N k"l9
{hdPhL
B\CN<<N>dD
lpmJLH.F
场追迹仿真(电磁场探测器)
\ |!\V
))T>jh
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
zT9JBMNE:
wkb$^mU
BmBz}:xMez
Ng=ONh
文件信息
I 3$dVls}
fiDl8=~@
!0}\&<8/m
s8mr''
^J/)6/TMXm
QQ:2987619807
3$/ 4wH^
查看本帖完整版本: [--
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2026
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计