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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 }4ghT(C}$  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 "5DAGMU  
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建模任务 Vv"wf;#  
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概述 <rI$"=7  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。  O,,n  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 *UxB`iA  
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光线追迹仿真 nR'EuI~(}  
?m7"G)  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 s6h Wq&C  
•单击go! `1v!sSR0R  
•获得了3D光线追迹结果。 {3uSg)  
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l@F e(^5E  
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光线追迹仿真 A;nmua-Fv  
Mz. &d:  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Gqc6).tn  
•单击go! TS8E9#1a  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 `.-k%2?/  
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场追迹仿真 j1CD;9i)%  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !! #ale&  
•单击go! R[-:-8  
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场追迹仿真(相机探测器) Kd1\D!#!6  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 !D5`8   
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 H)fo4N4ii  
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场追迹仿真(电磁场探测器) SLB iQd.  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Vta;ibdeqW  
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场追迹仿真(电磁场探测器) r+Cha%&D  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 e(5R8ud  
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文件信息 ;.a)r  
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QQ:2987619807 ]qRz!D%@^  
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