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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 Lz- (1~o  
k DKfJp&a  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 xG%O^  
`)jAdad-s  
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QswFISch  
建模任务 X)Rh&ui  
cMUmJH  
f <DqA/$  
概述 l%cE o`U  
c"'JMq  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ( Q k*B  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Jpe\  
=sXk,I;  
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oFJx8XU  
光线追迹仿真 j&?@:Zg v  
v3/G.B@=  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 J16(d+  
•单击go! 2K(zYv54  
•获得了3D光线追迹结果。 &C E){jC  
Gy[m4n~Z5  
BG20R=p  
>x1?t  
光线追迹仿真 wtro'r3  
XCZNvLG  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 _$qH\>se  
•单击go! GA)t!Xg^  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 7gbu7"Qc  
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%wux#"8  
8DJoQl9  
场追迹仿真 &Sp2['a!  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 7pz #%Hf  
•单击go! }Ias7d?re  
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eN ]9=Y~-K  
k| ,F/:  
场追迹仿真(相机探测器) 39,7N2uY  
nJo6;_MI!  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 w97%5[-T  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 DlbNW& V  
D j@7vM%_  
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qUtlh,4)  
场追迹仿真(电磁场探测器) jAb R[QR1%  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 4brKAqg.  
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?T <2Cl'C  
BO)Q$*G~JD  
场追迹仿真(电磁场探测器) T4x%dg  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 i"o %Gc  
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文件信息 $UGX vCR  
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QQ:2987619807 w4e(p3  
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