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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 ~@#s<a,%;  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 8\F|{vt#  
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建模任务 r}:D g fn  
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概述 ZU$QwI8  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 J``5;%TJp  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 L)i6UAo  
V~_6t{L  
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光线追迹仿真 !q~f;&rg  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 2Akh/pb  
•单击go! },=ORIB B:  
•获得了3D光线追迹结果。 )gx*;z@  
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光线追迹仿真 d(j g "@  
&lo<sbd.  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 } rX)A\ g6  
•单击go! 0h kZ  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 aA -j  
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场追迹仿真 th{ie2$  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ^jXKM!}-E  
•单击go! Vp1Q^`a{G  
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场追迹仿真(相机探测器) 5s%FHa  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 r3Kx  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 rM4Ri}bS  
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场追迹仿真(电磁场探测器) _7R6%^  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 y#P _ }Kfo  
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场追迹仿真(电磁场探测器) /GO((v+J  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 + jN)$Y3Ya  
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文件信息 MM~4D  
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QQ:2987619807 `uc`vkVZ  
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