首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> FRED,VirtualLab -> 分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 CE I.*Iywu  
wJWofFz  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 $ 3.Y2&$T  
6[a;83  
lMjeq.5nP  
(S63:q&g  
建模任务 p2wDk^$  
>Qs{LEsLb  
}I~)o!N%7  
概述 ,mE}#cyY  
edfb7prfTl  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 \~>7n'd ]  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 AK$i0Rn;pm  
AaDMX,  
(U|WP%IM'  
Lr(My3vF8q  
光线追迹仿真 ]P4?jKI  
B[7Fq[.mh  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 aydf# [F  
•单击go! mFuHZ)iQG  
•获得了3D光线追迹结果。 <s (o?U  
C ?aa)H  
7n'Ww=ttI  
FN D+Ok&  
光线追迹仿真 f2i9UZ$=e!  
_qSVYVJ u  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 6oq/\D$6~  
•单击go! ##yH*{/&  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 3 E!F8GZ  
-b'/}zz  
:eR\0cn  
En YEAjX  
场追迹仿真 f.ws\^v%  
ZtOv'nTD  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ;^so;>F  
•单击go! OCWyp  
|DXi~  
&bCk`]j:  
tjcG^m} _  
场追迹仿真(相机探测器) X;yThb` iI  
Wf-Pa9  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 V6r*fEhrT_  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 O|0,= 5  
LOe l6Ui  
Ihx[S!:  
m~8=?R+m  
场追迹仿真(电磁场探测器) 5DVSaI$ =  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Eyg F,>.4  
c- "#  
UZ7ukn-  
:2AlvjvjZ  
场追迹仿真(电磁场探测器) p1 mY!&e(  
Ew&|!d  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 E[>A# l53  
U/>l>J5  
kwrM3nq  
;~Q`TWC  
文件信息 {6HgKI  
*4[P$k$7  
D]+@pK b  
\qB.>f"%p|  
saVX2j6Y  
QQ:2987619807 (kSb74*g  
查看本帖完整版本: [-- 分析高数值孔径物镜的聚焦特性 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计