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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 &[2Ej|o  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 y}:)cA~o(y  
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建模任务 9,EaN{GM  
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概述 N|Cy!E=d  
4W//Oc@e  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 5?~[|iPv  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 %&=(,;d  
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!$KhL.4P  
光线追迹仿真 :?:j$ =nWN  
v<J;S9u=  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 U)I `:J+A  
•单击go! ?:''VM.  
•获得了3D光线追迹结果。 (HrkUkw  
T m@1q!G  
gHh.|PysW  
&6^W% r  
光线追迹仿真 Dy{`">a  
-C'X4C+  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 FskJyB[  
•单击go! #G , *j  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 Vg,>7?]6h  
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6 XOu~+7  
q[|`&6B  
场追迹仿真 cVHE}0Xd(  
M}oFn}-T9a  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 _9-D3_P[3  
•单击go! UK <DcM~n  
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o? O,nD 6  
场追迹仿真(相机探测器) h^_taAdS`  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 gUszMhHX  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 JJHvj=9'o  
Y\z\{JW  
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`i)ePiE  
场追迹仿真(电磁场探测器) whm tEY  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 g\{! 21M  
b`W'M :$  
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UrcN?  
场追迹仿真(电磁场探测器) nC!^,c  
aCi^^}!  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~B*\k^t`  
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Ee\-q  
文件信息 +j: Ld(  
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QQ:2987619807 ^\kHEM|5v  
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