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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 A]SB c2   
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 9J;H.:WH  
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建模任务 bU4+P A@$  
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概述 0.Ol@fO  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 MTITIecw=  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 : .w'gU_  
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光线追迹仿真 +zdq+<9X  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Y)j,(9  
•单击go! IO&#)Ft  
•获得了3D光线追迹结果。 v!'@NW_  
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J0WXH/:  
光线追迹仿真 e/% ;  
z Q|x>3   
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 eNC5' Z  
•单击go! pu)9"Ad[ G  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 }?qnwx.  
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+U/"F|M  
场追迹仿真 \utH*;J|x  
k#r7&Y  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 FivaCNA  
•单击go! -I-& <+7v  
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场追迹仿真(相机探测器) .-26 N6S  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 A`/7>'k/q[  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 :pjK\  
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场追迹仿真(电磁场探测器) kuud0VWJ  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 MGC0^voe  
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`V_/Cz_}D  
,H(vD,54g  
场追迹仿真(电磁场探测器) MmX[xk  
i@j ?<  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 i&Cqw~.H  
nMoF;AdKm  
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文件信息 ^[z\KmUqt  
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5.HztNL  
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B=/=U7T  
QQ:2987619807 00wH#_fm  
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