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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 "Bkfoi  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 kdiM5l70  
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建模任务 h'llK6_)  
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概述 l:~/<`o  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 6_o*y8s.  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 dl)Y'DI  
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K!%+0)A  
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光线追迹仿真 5DU6rks%  
|*xA 8&/  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ?=msH=N<l  
•单击go! Tk[ $5u*,  
•获得了3D光线追迹结果。 x j)F55e?  
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Wis~$"  
B"w?;EeV.  
光线追迹仿真 ~vhE|f  
05#1w#i  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 gs[uD5oo<  
•单击go! 2zA4vZkbcw  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 iuW[`ou X  
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qr^3R&z!}  
~W'{p  
场追迹仿真 {lDd.Fn  
/Iy]DU8  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 t|\%VC  
•单击go! On:il$MU  
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场追迹仿真(相机探测器) [PM 2\#K  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 .GXBc  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 sqwGsO$#  
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场追迹仿真(电磁场探测器) HYZ5EV  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 'RR~7h  
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@Zu5VpJ  
场追迹仿真(电磁场探测器) gQg"j)  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^WgX Qtn  
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文件信息 u@UMP@"#  
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QQ:2987619807 3>AMII  
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