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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 H!4!1J.=xw  
n*CH,fih:  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 ,IA0n79  
T.d+@ZV<#  
+Qt=N6>  
]7O)iq%  
建模任务 { > {|3  
<oI{:KH  
*I`Sc|A  
概述 UAnq|NJO  
gZ%B9i:  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 l] WV gu  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ^6#FqK+{u  
skR/Wf9DH  
<>A:Oi3^  
JHwkLAuz  
光线追迹仿真 w}G2m)(  
C#emmg!a\  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 O}MY:6Pe  
•单击go! XPd>DH(Yc  
•获得了3D光线追迹结果。 e-,U@_B  
p H5IBIf'  
r7c(/P^$G  
/[VafR!  
光线追迹仿真 ?xGxr|+a  
w8wF;:>  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Vg#s  
•单击go! pNcNU[c  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 eQx9 Vnb  
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wA+J49  
k.rP}76  
场追迹仿真 Z=sy~6m+v  
;/N[tO?Q  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 mk~i (Ee  
•单击go! `FH Hh  
)@Z J3l.  
S]KcAz(fX  
ME[Wg\  
场追迹仿真(相机探测器) ::g"dRS<v  
Dn) =V.  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 E8T4Nh_  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 W'E!5T^  
t LdBnf  
C?#if;c  
<P'^olQ  
场追迹仿真(电磁场探测器) K$\az%NE  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?cG+rC%  
;DL|%-%;$r  
5@tpJ8E8$  
J#L-Slav%  
场追迹仿真(电磁场探测器) fGcAkEstT!  
p>Ju)o  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Bz_['7D  
3I^KJ/)A  
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文件信息 X"(!\{ySI;  
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QQ:2987619807 !3DWz6u  
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