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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 V{$(#r  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 s9~W( Wi  
RqXcL,,9  
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建模任务 ~kYUp5f  
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6~0S%Hz   
概述 9cWl/7;zXO  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 - P1OD)B  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 K/+5$SjF  
bec n$R  
z6B/H2  
S$+vRX7  
光线追迹仿真 CwTx7 ^qa  
.Hl]xI$;+  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 (X,Ua+{  
•单击go! 234 OJ?  
•获得了3D光线追迹结果。 (i1FMd}G  
.rD@Q{e50  
#!OCEiT_  
0V"r$7(}  
光线追迹仿真 3)T'&HKQ  
dfiA- h  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 vmvk  
•单击go! E08FUAth]#  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 [95(%&k.Q  
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dZIAotHN:  
"8&pT^  
场追迹仿真 ixw3Z D(>+  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。  >zFe)  
•单击go! ~jH@3\ ?-  
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场追迹仿真(相机探测器) ,u#uk7V  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ]U!vZY@\  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 |o6 h:g  
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~.u}v~ F  
场追迹仿真(电磁场探测器) A`T VV  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 bvuoGG*  
@H= d8$  
TUIj-HSe  
K19/M1~  
场追迹仿真(电磁场探测器) nW3-)Q89  
KiT>W~  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 hF s:9  
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文件信息 G+stt(k:  
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QQ:2987619807 l Q]&:%^\  
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