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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 y5`$Aa4~  
,HtX D~N  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 LV`tnt's  
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+ vO; J  
((mR' A|`  
建模任务 WADAp\&  
JNxrs~}  
ytyB:# J  
概述 eizni\  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 2OsS+6,[x  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 .r\|9 *j<  
r!y3VmJ'm  
dd:vQOF;  
D/bF  
光线追迹仿真 o3(:R0  
b&2 N7%  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 8\Kpc;zb  
•单击go! KK, t!a  
•获得了3D光线追迹结果。 );=0cnr3  
G?<uw RV  
H_>9'(  
,C}s8|@k  
光线追迹仿真 )8*}-z  
W=\45BJ  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 kV@?Oj.&I,  
•单击go! XWag+K  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 AS/z1M_U  
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ky@ZEp=  
usR+ZQaA  
场追迹仿真 P`AW8Y6o  
 EHk$,bM  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 tui5?\  
•单击go! W?<<al*  
Y@ X>ejk"  
#T++5G  
u{LtyDnik  
场追迹仿真(相机探测器) rr]-$]Q  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 l4*vM  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 xiOAj"}~  
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场追迹仿真(电磁场探测器) ?10L *PD@  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 1xjWD30  
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HsKq/Oyk  
E?S  
场追迹仿真(电磁场探测器) m\G45%m  
ng:B;; m  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 pU1miA '  
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文件信息 zE+^WeH|  
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QQ:2987619807 s*R UYx  
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