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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 !UBO_X%dz  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 ZDLMMX x>  
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建模任务 ")#<y@Rv  
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概述 v@ C,RP9  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 zi]%Zp  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 m 40m<@  
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光线追迹仿真 8pZ< 9t'  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 XH4d<?qu  
•单击go! PK6iY7Qp)  
•获得了3D光线追迹结果。 ?^!,vh  
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光线追迹仿真 4n( E;!s  
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•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ]Tp U"JD  
•单击go! PBqy F  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 c-]fKj7  
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场追迹仿真 'A{h iY  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 w_-+o^  
•单击go! X~U >LLr  
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场追迹仿真(相机探测器) :KE/!]z  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 GlYly5F  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 j+ ::y) $  
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场追迹仿真(电磁场探测器) kEN#u  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 c$M%G)P  
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场追迹仿真(电磁场探测器) b[^{)$(  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ? 5|/ C  
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文件信息 4YA./j%'  
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QQ:2987619807 7XAvd-  
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