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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 [TqX"@4NS  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 tux`-F  
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建模任务 #}~?8/h!  
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概述 nG?Z* n  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。  => Qd  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 0HbCT3g.  
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光线追迹仿真 n? =O@yq  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 R{aqn0M  
•单击go! Kg /,  
•获得了3D光线追迹结果。 BV/ ^S.~  
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光线追迹仿真 +R{~%ZTK  
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•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Wap\J7NY  
•单击go! 8)Vl2z  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 pRsIi_~&  
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场追迹仿真 B_8JwMJu3  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 5s4x%L (~}  
•单击go! I?\P^f  
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场追迹仿真(相机探测器) dg+"G|nr  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 vYo~36  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 c0X1})q$  
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场追迹仿真(电磁场探测器) 'cK{FiIT  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $t5>1G1j7  
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场追迹仿真(电磁场探测器) z$/s` |]  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6aWnj*dF  
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文件信息 ChNT; G<6$  
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QQ:2987619807 nVP|{M  
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