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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 w:ASB>,!  
3oV2Ek<d  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 3Ww 37V>h  
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建模任务 Z7I\\M  
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概述 J:@yG1VIp  
(+SL1O P  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 kN6 jX  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 = |E8z u%  
kt |j]:  
,/&|:PkS  
DOOF--ua  
光线追迹仿真 k2(k0HFR  
mWU d-|Ul  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 )q`.tsR>  
•单击go! tt|P-p-  
•获得了3D光线追迹结果。 7K1_$vd  
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MnlD87x@X  
fmD~f  
光线追迹仿真 y t7>,  
jO9! :L>b`  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 G#ELQ/Q  
•单击go! NkoyEa/^[  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 raZkH8  
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uw/N`u  
(b.4&P"0  
场追迹仿真 N,UUM|?9_  
zK>m4+)~  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 P 5.@LN  
•单击go! ]^8CtgC  
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场追迹仿真(相机探测器) Gqj(2.AY  
>cpv4Pgm  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 QNXoAx%I  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 ?XeaoD/  
~dzD7lG6  
e.^?hwl  
xel|,|*Yq  
场追迹仿真(电磁场探测器) 5$Kd<ky  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `+0dz,  
KoA+Vv9  
Yf/e(nV  
l*{Bz5hc  
场追迹仿真(电磁场探测器) p2< 927z  
+ )z5ai0m  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 =M}tet }  
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文件信息 59p'U/|  
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QQ:2987619807 Vf.*!`UH  
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