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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 $|-Lw!)D  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 ?J2A1iuq3  
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建模任务 $G9LaD#;M  
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概述 .i RKuBM/  
Op ar+|p\  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 4@@Sh`E:  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 M/=36{,w-  
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!Ud'(iGa  
光线追迹仿真 C6;2Dd]"N  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 @F<{/|P  
•单击go! <J&S[`U!  
•获得了3D光线追迹结果。 s Z[[ymu8  
U.Mfu9}#:  
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5;/n`Bd  
光线追迹仿真 7z4k5d<^_  
pY"WW0p"C  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 51q|-d  
•单击go! iQgg[ )  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 <bzzbR[F  
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场追迹仿真 Ds">eNq  
e Wux  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Z v@nK%#J  
•单击go! 2CzhaO  
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场追迹仿真(相机探测器) q*&R&K;q  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Food<(!.>  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 :25LQf^nz  
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场追迹仿真(电磁场探测器) vV}w>Ap[  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 %qoS(iO`h  
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场追迹仿真(电磁场探测器)  arYq$~U  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 *S.U8;*Xj  
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文件信息 Za:j;u Y  
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QQ:2987619807 &xnQLz:#  
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