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2021-06-23 11:22 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要 *Ta
{ \= 6dF,V 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 Ux);~P`/o 7CU<R9Kl
0CeBU(U+|R m2% 建模任务 tTq2AR| ]<iD'=a
],<pZ1V; 概述 G`v(4`tA 2j^8{Agz •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 /z1-4:^`A[ •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ;k1VY
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rgv$MnG W1}d6Sbg 光线追迹仿真 +nFC&~q &
@$ D( •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 0VgsV; •单击go! GKXd"8z] •获得了3D光线追迹结果。 bhjJH,%_> n7#}i2:
H"JzTo8u N,ihQB5 光线追迹仿真 F{17K$y tiic>j\D •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 G{'`L)~3N •单击go! v00w
GOpW •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 eeUEqM$7EX K{G\=yJ((
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i|pi'Ij 场追迹仿真 F$,i_7Z&6 /n9,XD&) •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 35#"]l" •单击go! C/z 0/mk u$V@akk
enQev?8% ;0 9~#Wop 场追迹仿真(相机探测器) Tml>>O JW=P}h •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 tb'O:/ •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 X./7b{Pax y}>bJ:
{dNWQE*\c &Ht5!zuW, 场追迹仿真(电磁场探测器) ET=-r •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ^s3 SzB@ 7,D6RP(b
[G}l; -*0U&]T 场追迹仿真(电磁场探测器) -* piC( 8CGjI?j •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~&8bVA= . /HM0p
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