首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
FRED,VirtualLab
->
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2021-06-23 11:22
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要
<L}@p8Lq
&o:5lxR{
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
gQnr.
n Bu!2c
fM=o?w6v
^m\o(R
建模任务
1/DtF
wi2`5G6|z
(v]%kXy/G
概述
v:O{"s
h]4xS?6O
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。
GBJLB
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
9CDei~
h<.5:a
8lyIL^
)2f#@0SVL
光线追迹仿真
E_,/)U8
)GP;KUVae
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。
"j>X^vn
•单击go!
T;w:^XW
•获得了3D光线追迹结果。
#:)'D?,
5KCQvv\
rj4@
E7uIur=g!
光线追迹仿真
4_#$k{
g"-j/ c
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
~f<']zXv
•单击go!
pbMANZU[
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。
UHl3/m7g
{lI}a8DP
-#\ T
Yh<F-WOo2
场追迹仿真
~ #jQFyOh
>y%H2][
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
EP>u% ]#
•单击go!
:V/".K-:J
N[{rsUBd
dSDZMB sd
w{ja*F6
场追迹仿真(相机探测器)
J8'"vc} =
zIa={tU
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
9q;O`&
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
+Mj6.X
j0l,1=^>l
;,{_=n>
S_lGrk\j
场追迹仿真(电磁场探测器)
,np=m17
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
;&d#)&O"e
3vrVX<_
[S6u:;7
}7.A~h
场追迹仿真(电磁场探测器)
ne#dEUD
Q 3WD!Z8y
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
J*@ pM
HUKrp*Hv
aCZ0-X?c
u]ms~rO
文件信息
f)sy-o!
BMp'.9Qgm
_c>iux;
n_kwtWX(
z}vT8qoX
QQ:2987619807
f2gtz{r
查看本帖完整版本: [--
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2026
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计