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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 ]n}aePl}oU  
S#kYPe  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 |P@N}P@  
Uo?4o*}  
C~Hhi-Xl)  
BMug7xl"  
建模任务 PzOnS   
>$,P )cB'  
1_WP\@ O  
概述 Qo32oT[DM  
'Fy"|M;2  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 S4\a"WYg  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 I3HO><o f  
,?P<=M  
{7jl) x3l  
x$;RfK2&p  
光线追迹仿真 7r&lW<:>  
p4V*%A&w  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 }y Vx"e)  
•单击go! 47N,jVt4  
•获得了3D光线追迹结果。 auga`*  
(n`] sbx  
DkX^b:D*f  
-L +kt_>  
光线追迹仿真 fLnwA|n=  
rY 6x):sC  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 C$q};7b1N  
•单击go! >TMd1? ,  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。  9u^M{6  
(<YBvpt4>  
/78]u^SW  
r4pX4 7H  
场追迹仿真 KCO.8=y3  
oUwo!n}  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 3_<l`6^Ns/  
•单击go! ]!ox2m_U  
"MU-&**  
qCg<g  
-w*fS,O  
场追迹仿真(相机探测器) [0EWIdT*b  
[I=|"Ic~  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ~5'7u-;  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 1~ W@[D  
gUNhN1=  
/ cb`%"Z  
tPl 4'tW_  
场追迹仿真(电磁场探测器) ulxfxfd  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @4hzNi+  
OKAU*}_  
vP x/&x  
o`QNZN7/}  
场追迹仿真(电磁场探测器) s> m2qSu  
Ly&+m+Gwu  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 kV+^1@"  
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I<O$);DV'  
文件信息 ._^}M<o L  
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QQ:2987619807 h <e  
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