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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 ^_W40/c3  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 :$ %>4+l  
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建模任务 )/>A6A:  
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概述 n_23EcSy  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 l'"'o~MC  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 (s&&>M]r_  
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E ]f)Os$  
光线追迹仿真 WD.U"YI8y  
v* ~3Z1  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ^B]@Lr E^  
•单击go! izuF !9  
•获得了3D光线追迹结果。 >2lwWXA  
 3+U]?7t  
L l}yJ#3,  
yWb4Ify  
光线追迹仿真 2*AG7  
D*2\{W/  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。  rLv;Y  
•单击go! v("wKHWTI@  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 y{=>$C[  
J ^ G  
D$q'FZH  
goZ V.,w  
场追迹仿真 "pvH0"Q*  
[Qj;/  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 5o 0Ch  
•单击go! mYv(R!37'  
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Jp~zX lu  
sWqM?2g  
场追迹仿真(相机探测器) 7wVH8^|  
j.|U=)E  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 lFq{O;q7}  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 (S /F)?  
c0rk<V%5+  
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场追迹仿真(电磁场探测器) g0R[xOS|  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 C+N k"l9  
{hdPhL  
B\CN<<N>dD  
lpm JLH.F  
场追迹仿真(电磁场探测器) \ |!\V  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 zT9JBMNE:  
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Ng=ONh  
文件信息 I 3$dVls}  
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QQ:2987619807 3$/ 4wH^  
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