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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 $coO~qvU  
z5>I9R^q;  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 %**f`L%jN  
HK@ij,px  
un{ZysmtB6  
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建模任务 $T'!??|IF  
f O*jCl  
S#/%#k103  
概述 X]0>0=^  
C 0w+ j  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 I.<c{4K5  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 P6:C/B  
7;'33Bm*  
^J'_CA  
Jz@~$L  
光线追迹仿真 xA] L0h]  
[0H0%z#tU&  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 =6%oW2E\  
•单击go! Fhoyji4  
•获得了3D光线追迹结果。 4.RQ3SoDa  
!gsvF\XDM  
,^(]zZh  
)#=J<OpG  
光线追迹仿真 ?e7]U*jEU  
8K 3dwoT  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 wKV4-uyr  
•单击go! 0 'QWa{dS\  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 Uzu6>yT  
bF'rK'',  
cnv>&6a)  
ccD+AGM.  
场追迹仿真 S{@}ECla  
TCtZ2 <'  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 :{lwz#9V  
•单击go! *H>rvE.K?  
K2   
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场追迹仿真(相机探测器) xO~ ElzGm  
0#q=-M/?`  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 qe~x?FO_>  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 wj|Zn+{"nF  
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MK$u }G  
Cy/&KWLenf  
场追迹仿真(电磁场探测器) Tkbao D  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 M6Fo.eeK3  
JKfG/z|  
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gv#\}/->4  
场追迹仿真(电磁场探测器) Jd2.j?P=  
6*OL.~WE  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $o^Z$VmL  
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C@rGa7  
文件信息 Yo-}uTkw  
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QQ:2987619807 I<SgKva;c  
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