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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 5<h7+ %?t9  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 $'Z\'<k[  
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建模任务 QII-9 RxX"  
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概述 t;X  !+  
M ^gva?{  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 46`(u"RP  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 '| (#^jAj  
Zn{,j0;  
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光线追迹仿真 l]tda(  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 sk* AlSlM  
•单击go! W$&{jr-p  
•获得了3D光线追迹结果。 <NRW^#g<x  
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光线追迹仿真 $&D$Uc`U>  
K??(>0Qr}r  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 e$!01Y$HI  
•单击go! 'u"r^o?  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 F?"#1j e  
O#[+= ^  
2^Y@e=^A  
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场追迹仿真 =)tU]kp  
g Mhn\  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 \X&LrneR"t  
•单击go! jm~(OLg  
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场追迹仿真(相机探测器) _g{*;?mS  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 >v1E;-ZA  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 uh,~Cv XU]  
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场追迹仿真(电磁场探测器) .4I "[$?Q  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 s Yp?V\Y"  
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场追迹仿真(电磁场探测器) `8 Q3=^)3  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 =lyP &u  
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文件信息 SM3qPlsF  
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QQ:2987619807 kqyV UfX$3  
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