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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 `H:5D5]  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 |)7dh B  
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建模任务 o]#M8)=  
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概述 X/5\L.g2  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 <0Mc\wy  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 xS4B"/  
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光线追迹仿真 {Q&@vbw'  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 9{{|P=  
•单击go! cZ!%#A z  
•获得了3D光线追迹结果。 $6(,/}==0  
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光线追迹仿真 Lq&;`)BJ  
M!{;:m28X!  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 }\9elVt'2  
•单击go! R::0.*FF  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 \Bg;^6U  
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场追迹仿真 ,9(=Iu-?1  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 "Y9PS_u(~  
•单击go! :GXD-6}^|  
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场追迹仿真(相机探测器) ^yO+-A2zC  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 kIm)Um  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 7X Z5CX&  
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场追迹仿真(电磁场探测器) #~&SkIhBE  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?!N@%R>5rN  
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场追迹仿真(电磁场探测器) {,Y?+F  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .RI{\i`  
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文件信息 ^ -s'Ad3  
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