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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 ~ZEmULKkR  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 .my0|4CQ#@  
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建模任务 ?$^2Umt 0  
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D+z?wuXk  
概述 YWe"zz  
O#k6' LN?  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 5>j)kx=J9  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 )Es"LP]  
J}+6UlD  
DRgTe&+  
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光线追迹仿真 i2(1ki/|O  
;YX4:OBqr  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 U,q\em R  
•单击go! i Ae<&Ms  
•获得了3D光线追迹结果。 {v2|g  
?zVL;gVWA  
?yR&/a  
1ilBz9x*!  
光线追迹仿真 3G~@H>j  
M9@ri^x  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ;b(p=\i  
•单击go! K7W6ZH9;  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 *2Ht &  
rJ{O(n]j  
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0B@Jity#!  
场追迹仿真 4^Q :  
fKeT~z{~  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Kt|1&Gk  
•单击go! ANSFdc  
G\r?f&  
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FE! lok  
场追迹仿真(相机探测器) LLXVNO@e+  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 1u(.T0j7f  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 Ej>g.vp8I  
m"jV}@agX  
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Za8#$`zq  
场追迹仿真(电磁场探测器) J8)#PY[i4  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 09kt[  
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% v7[[U{T  
uDSxTz{  
场追迹仿真(电磁场探测器) G 0;XaL:  
qt^T6+faaQ  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 | j a-  
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文件信息 z7Eg5rm|QZ  
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QQ:2987619807 BQ2wnGc  
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