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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 D/gw .XYL  
n38p!oS  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 ?zMHP#i  
Ml{,  
$)i")=Hy  
05#1w#i  
建模任务 |^I0dR/w:  
 qA7>vi%  
:S83vE81WK  
概述 W(Fv l  
Q8tL[>Xt  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Jt<_zn_FG  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 HRCT }  
W\,s:6iqz  
-0 a/$h  
\)904W5R  
光线追迹仿真 =o(5_S.u;  
%(#y 5yJ]  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 I*{ nP)^9  
•单击go! %XDc,AR[  
•获得了3D光线追迹结果。 /t57!&  
D/xbF`  
#Y`~(K47  
_/$Bpr{R  
光线追迹仿真 6<SAa#@ey  
xh,qNnGGi  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 CyFrb`%  
•单击go! <z&/L/bl"  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 t#})Awy^R  
]@c+]{  
P6`u._mX  
zT.7  
场追迹仿真 D,*3w'X!K  
85$m[+md  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 {X+3;&@  
•单击go! iRbT/cc{  
KeB"D!={;  
n1t*sk/J  
FaSf7D`C  
场追迹仿真(相机探测器) ]=I@1B;_m  
'~<m~UXvD#  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 d#Y^>"|$.  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 . B9iLI  
yCR?UH;  
O2E/jj  
3?9IJ5p  
场追迹仿真(电磁场探测器) RDi]2  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 t;Sb/3  
F?*-4I-  
^WgX Qtn  
^7U G$A  
场追迹仿真(电磁场探测器) m|n%$$S&  
]EBxl=C}D  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ZR B)uA)5=  
Y@vTaE^w3  
Y|f[bw  
@7]yl&LZ  
文件信息 u@UMP@"#  
eS\Vib  
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QQ:2987619807 C.yQ=\U2  
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