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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 P( hGkY=(  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 hq)1YO  
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建模任务 }(oeNP M8  
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概述 !cwZ*eM  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 `7CK;NeT  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 p49]{2GXb  
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光线追迹仿真 # z|Q $  
5 % 2A[B  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 K#0TD( "  
•单击go! CkT(\6B-  
•获得了3D光线追迹结果。 5E&#Kh(I  
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光线追迹仿真 Y;"k5 + q  
CD$#}Id  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ~HZdIPcC  
•单击go! 0!T`.UMI  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 @^P^- B  
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场追迹仿真 /Mqhx_)>A  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 WsI`!ez;D  
•单击go! 3Q=^&o0fl  
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场追迹仿真(相机探测器) }LzBo\  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 (_T{Z>C/J  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 i"^>sk  
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场追迹仿真(电磁场探测器) *g/klK  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (|gQ i{8  
p/.8})c1r  
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|>.Q U3  
场追迹仿真(电磁场探测器) dY*q[N/pO  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (WM3(US|  
d#k(>+%=Q  
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文件信息 ,,H"?VO  
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QQ:2987619807 64s;EC  
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