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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 d]QCk &XU  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 y7Y g$)sL  
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建模任务 $nW^Gqwj]1  
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概述 Ems0"e  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 hS +R /7  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 uM('R;<^  
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光线追迹仿真 wv_<be[?*  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 {]dH+J7  
•单击go! };@J)}  
•获得了3D光线追迹结果。 odC}RdN  
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光线追迹仿真 LjMhPzCp  
"N*i!h  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 c %.vI  
•单击go! r&c31k]E  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 lM-*{<B  
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场追迹仿真 &%`Y>\@f  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ZMI vzQYI  
•单击go! <<.%Gk  
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场追迹仿真(相机探测器) Wg ?P"  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Z* L{;  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 k=):>}  
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场追迹仿真(电磁场探测器) nH % 1lD?:  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Du."O]syD  
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场追迹仿真(电磁场探测器) /l@h[}g+d-  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 JDy;Jb  
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文件信息 O9tgS@*Tv  
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QQ:2987619807 |U4t 8  
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