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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 2VzYP~Jg  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。  TJ1h[  
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建模任务 R0%M9;>1  
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概述 9:P]{}  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 AJm$(3?/D  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 w@<II-9L)<  
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光线追迹仿真 z_N";Rn  
2?SbkU/3|P  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 k/D{&(F ~  
•单击go! 2;u i'B  
•获得了3D光线追迹结果。 le]~Cy0  
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P#7=h:.522  
- Z`RKR8C  
光线追迹仿真 y pyKRsx  
#=={h?UDT  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 [orL.D]  
•单击go! "i\#L`TkzX  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 %4f.<gz~r|  
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N@L{9ak1  
场追迹仿真 |/vJ+aKq  
E^zfI9R  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 >W;NMcN~  
•单击go! )9:5?,SO  
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场追迹仿真(相机探测器) q+y\pdhdO  
9&5<ZC-D  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 uO`MA% z<  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 >a,D8M?  
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场追迹仿真(电磁场探测器) z8'1R6nq  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Iz5NA0[=2  
> :IWRc2  
{VL@U$'oI  
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场追迹仿真(电磁场探测器) hU8Y&R)=9  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ylKK!vRHT  
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文件信息 Z0jgUq`r  
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QQ:2987619807 pW(rNAJ!  
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