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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 )byQ=-< 1  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 7T4rx53  
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建模任务 @3VL _g:  
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概述 JN|<R%hy  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 7-^df0  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 2"BlV *\lS  
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光线追迹仿真 61jDI^:  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 t{?_]2vl  
•单击go! R L)'m  
•获得了3D光线追迹结果。 _r^&.'q  
QL|Vke:N4  
+X Y}-  
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光线追迹仿真 NA0hQGN}  
ghms-.:b8  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Ch7eUTq A@  
•单击go! h[XGFz  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 K"g[%O<  
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场追迹仿真 j$8 ~M  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 k] f 7 3r  
•单击go! a,}{f]  
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场追迹仿真(相机探测器) 9k$uo_i'  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 E )Hp.  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 ` $zi?A:j  
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场追迹仿真(电磁场探测器) :!r_dmJ  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 A#8/:t1AW  
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Ex<-<tY  
场追迹仿真(电磁场探测器) qbT].,?!U  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 /8GVu7  
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文件信息 cdEZ Y  
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QQ:2987619807 $/pd[H[{  
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