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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 h?vt6t9  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 er2#h  
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建模任务 28lor&Cc  
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概述 ov|pXi<e  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 <p#+('N`  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 k}e~xbh-y  
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光线追迹仿真 >'&|{s[m  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 OsgjSJrf  
•单击go! {0\9HI@  
•获得了3D光线追迹结果。 ZY8:7Q@P>  
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光线追迹仿真 ?PU7xO;_  
*^p^tK  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 =dY!-#yg!  
•单击go! Gg5+Ap D  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 luCwP  
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场追迹仿真 /vw$3,*z  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 v}Kj+9h  
•单击go! {,e-; 2q  
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场追迹仿真(相机探测器) ,y[8Vz?:  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 oGz5ZDa#  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 Up\ k67  
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场追迹仿真(电磁场探测器) N)  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?I ;PJj  
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场追迹仿真(电磁场探测器) &L r~x#Wx  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 =!DpWVsQ  
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文件信息 )8_MkFQe  
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QQ:2987619807 N@V:nCl  
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