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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 7l+:gD  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 *SmR|Qy  
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建模任务 "\~d!"n|2  
}m -A #4.  
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概述 9Qb6ek  
FoW|BGA~  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 KsDovy<  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 4/N{~  
PKg>|]Rf.  
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光线追迹仿真 =K;M\_k%y  
@c -| Sl  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 eJy}W /  
•单击go! "nA~/t=  
•获得了3D光线追迹结果。 gWGh:.*T  
F@ld#O  
CQns:.`$`  
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光线追迹仿真 s= bP@[Gj  
%0_}usrsk  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 >9+h2B  
•单击go! vUR@P  -  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 VUUE2k;^  
oU/{<gs  
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场追迹仿真 w!rw%  
9#:B_?e=  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ^US ol/  
•单击go! 1a tQ9  
r:U/a=V  
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DR(/|?k+  
场追迹仿真(相机探测器) a^7HI,  
$g!iy'4n*  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 q^ eLbivVE  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 h1+y.4  
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6=p!`DOd  
Zo#c[9IaC  
场追迹仿真(电磁场探测器) %fIYWu`X  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 =3EE-%eF!  
6){nu rDBG  
c+ukVn`r  
G<>h>c1>z  
场追迹仿真(电磁场探测器) )ml#2XP!f  
j_0xE;g"]  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >^GAfvW  
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文件信息 Gg y7xb  
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QQ:2987619807 p?O6|q  
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