首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
FRED,VirtualLab
->
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2021-06-23 11:22
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要
D/gw .XYL
n38p !oS
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
?zMHP#i
Ml{,
$)i")=Hy
05#1w#i
建模任务
|^I0dR/w:
qA7>vi%
:S83vE81WK
概述
W(Fv l
Q8tL[>Xt
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。
Jt<_zn_FG
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
HRCT}
W\,s:6iqz
-0 a/$h
\)904W5R
光线追迹仿真
=o(5_S.u;
%(#y5yJ ]
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。
I*{nP)^9
•单击go!
%XDc,AR[
•获得了3D光线追迹结果。
/t57!&
D/xbF`
#Y`~(K47
_/$Bpr{R
光线追迹仿真
6<SAa#@ey
xh,qNnGGi
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
CyFrb`%
•单击go!
<z&/L/bl"
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。
t#})Awy^R
]@c+]{
P6`u._mX
zT.7
场追迹仿真
D,*3w'X!K
85$m[+md
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
{X+3;&