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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 MRiETd"  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 >0f5Mjug  
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建模任务 a1s=t_wT  
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概述 \n/_ Px  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 br0gB3 r  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 \b' <q  
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光线追迹仿真 ; zs4>>^>  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 lPx4I  
•单击go! YKj7~yK?  
•获得了3D光线追迹结果。 {N>VK*  
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光线追迹仿真 ][D<J0  
y|c]r!A  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 /SZsXaC '  
•单击go! tV%M2 DxS  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 rjfQ\W;}U  
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E@t^IGD r  
场追迹仿真 -<qci3Ba}  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 1)M3*h3  
•单击go! qksN {t  
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场追迹仿真(相机探测器) O /aC%%  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 [O9(sWL'  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 q1Ah!9B  
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场追迹仿真(电磁场探测器) 8%2*RKj  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <?QY\wyikz  
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;,4Z5+  
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场追迹仿真(电磁场探测器) <#LH L  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 NhXTt!S6C  
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文件信息 U*1rA/"n  
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QQ:2987619807 74xI#`E  
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