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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 o /j*d3  
jrr EAp  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 \MyLc/Gh5  
CyS$|E  
?}wk.gt>  
`[f*Zv w  
建模任务 %j.0G`x9 +  
ULs\+U  
/rWd=~[MO  
概述 b*a#<K$T_  
A P)L:7w'e  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 \pPY37l  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 '@o;-'b  
|2O]R s  
zr-*$1eu  
_ TiuY  
光线追迹仿真 R%{<mno/_  
Y~c|hfL  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 CAfGH!l!  
•单击go! ns9U/ :L  
•获得了3D光线追迹结果。 kZR8a(4D  
C'9Cr}cZ.  
f.D?sHAn  
KaPAa:Q  
光线追迹仿真 Ro\8ZXUQa  
!hJ+Lp_  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 )(bW#-  
•单击go! cS5Pl  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 vx>b^tJKC  
94h]~GqNi  
Fq0i`~L~  
?9!6%]2D  
场追迹仿真 /Lfm&;  
gZN8!#h}B  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 EAT"pxP  
•单击go! 3x`|  
SW H2  
5 h-@|t  
L uq#9(P  
场追迹仿真(相机探测器) k Z?=AXu  
WffQ:L?  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 NSxoF3  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 WJQvB=D&  
S=MEG+Ad  
Njxv4cc  
F}F&T  
场追迹仿真(电磁场探测器) bp* ^z,w  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 {+ ][5<q  
.!Oo|m`V@  
U_M$#i{_  
)F}F_Y  
场追迹仿真(电磁场探测器) Dt}JG6S  
`tB gH_$M  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 caU0\VS  
o*b] p-  
1#C4;3i,  
6"wlg!k8  
文件信息 bLB:MW\%  
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QQ:2987619807 RmI]1S_=  
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