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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 rz|T2K  
@&*TGU  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 KXWcg#zFY  
F8%^Ed~@  
Dl!0Hl  
xW"O|x$6  
建模任务 VwR\"8r3  
l+;S$evY  
MWwqon|  
概述 V9[_aP;  
B)q}]Qn  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 9SC1A-nF  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 <$A,|m  
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W6?=9].gc  
P2'c{],3V  
光线追迹仿真 dv. 77q  
,ei9 ?9J1  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 \>$zxC_  
•单击go! M^ * ~?9  
•获得了3D光线追迹结果。 ww|fqx?  
t[|rp&xG  
l>*X+TpA,  
zlLZ8b+  
光线追迹仿真 U&"L9o`2  
/ `cy4<  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 F2YBkwI  
•单击go! P$'PB*5d|  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 gj;gl ="3  
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J>X@g;  
R&1>\t  
场追迹仿真 WrP+n  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 :V(C+bm *  
•单击go! /5 z+N(RFC  
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i, ^-9  
zd$'8/Cq  
场追迹仿真(相机探测器) J@_M%eN  
&zYQ H@  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 J5a8U&A  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 "1|g eO|  
c Lyf[z)W  
km>ZhsqD  
FqyxvL.  
场追迹仿真(电磁场探测器) jJ"(O-<)D  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 d/GSG%zB  
@ws&W=NQ  
a[ ;L+  
\= ({T_j4  
场追迹仿真(电磁场探测器) t<Sa ;[+  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (tO4UI5!  
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文件信息 +M.BMS2A<l  
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b4:{PD~Mh  
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QQ:2987619807 HH6n3c!:mm  
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