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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 <L}@p8Lq  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 gQnr.  
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建模任务 1/DtF  
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概述 v:O{"s  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 GBJL B  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 9CD ei~  
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光线追迹仿真 E_,/)U8  
)G P;KUVae  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 "j>X^vn  
•单击go! T;w:^XW  
•获得了3D光线追迹结果。 #:)'D?,  
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光线追迹仿真 4_#$k{  
g"-j/ c   
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ~f<'] zXv  
•单击go! pbMANZU[  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 UHl3/m7g  
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场追迹仿真 ~ #jQFyOh  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 EP>u%]#  
•单击go! :V/".K-:J  
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场追迹仿真(相机探测器) J8'"vc}=  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。  9q;O`&  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 +M j 6.X  
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场追迹仿真(电磁场探测器) ,np=m17  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ;&d#)&O"e  
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场追迹仿真(电磁场探测器) ne#dEUD  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 J*@pM  
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文件信息 f) sy-o!  
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QQ:2987619807 f2g tz{r  
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