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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 hiA\~}sl n  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 (c^ {T)  
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建模任务 ~K<h~TNP  
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概述  G +41D  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Ldv,(ZV,<  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ``$$yS~d};  
u~Po5W/i  
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bu_@A^ys  
光线追迹仿真 _X;,,VEV!  
n8_X<jIp3  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 &ZkJ,-  
•单击go! Ka-o$o[^u`  
•获得了3D光线追迹结果。 UI U:^g0  
z uW4gJ  
L[Z^4l_!  
-Fn/=  
光线追迹仿真 I]+ zG  
FK~wr;[  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Y$n+\K  
•单击go! ?hc=w2Ci  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 LmqSxHs0Q  
rA B=H*|6  
YjTr49Af0  
Fs $FR-x  
场追迹仿真 X=)L$Kd7  
__QnzEF  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 vnQFq  
•单击go! SH=S>  
NcF>}f,}\  
hp2E! Cma  
wUr(i*  
场追迹仿真(相机探测器) F)Q[ cai  
JcmMbd&B  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 E Zf|>^N  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 =UK:83R(  
uchQv]VB  
]oSx]R>{f  
4vG-d)"M2  
场追迹仿真(电磁场探测器) FO^6c  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 P (7el  
\ { QH^  
UF5_be,D  
,JK0N_=  
场追迹仿真(电磁场探测器) WK*tXc_[b  
leNX5 sX  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 }[PwA[k'  
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文件信息 '\8YH+%It  
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QQ:2987619807 R||$Rfe  
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