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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 J7{D6@yLS  
ak:f4dEd  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 Wy6a4oY  
q$v0sTk0Y  
'Tqusr>lPY  
.HY,'oC.  
建模任务 X04LAYY_u  
67T.qX2I$  
8#A4B2  
概述 jc:=Pe!E  
_hJ+8B^`  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 N,9~J"z  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 INk|NEX  
A\7sP =  
RlvvO  
L)7{_s  
光线追迹仿真 +Gy9K  
Kt]vTn7!9  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 L?8OWLjRy  
•单击go! Fpn'0&~-fi  
•获得了3D光线追迹结果。 a ge8I$*`@  
&dw=jHt  
9$[MM*r  
,:-^O#  
光线追迹仿真 ]-X\n  
gV:0&g\v  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 IJPyCi)  
•单击go!  v1?G  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 5?(dI9A"K  
# E8?2]  
q:jv9eL.O  
!](Mt?e  
场追迹仿真 zh?B-"O=5  
qnd] UUA^  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 "<&o ;x<  
•单击go! r}|)oG,=  
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XCn;<$3w  
场追迹仿真(相机探测器) :m'(8s8  
|D'!.$7%  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 }VH2G94Ll  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 0T$`;~  
}+[!h=Bx  
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场追迹仿真(电磁场探测器) {JKG-0)z?  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 & }"I!  
\ sz](X  
!#olG}#[  
EjEXev<]  
场追迹仿真(电磁场探测器) ^ 6t"A  
Ia^/^>  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `C6,**`R$k  
kAx J#RG  
 1&=2"  
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文件信息 'P&r^V\~(/  
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VF7H0XR/k5  
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QQ:2987619807 +$^ [ r  
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