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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 E' `;  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 _L~ 3h  
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建模任务 E%D.a=UX,  
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概述 e<1Ewml(]  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 9XDSL[[  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 gM;m{gXYK  
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9^n0<(99b  
光线追迹仿真 e_|<tYx><  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 fUWrR1  
•单击go! 8M,o)oH  
•获得了3D光线追迹结果。 WLj]EsA.  
Fs4shrt  
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光线追迹仿真 l\V1c90m  
 {p/Yz#  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 -['& aey}a  
•单击go!  NnHaHX  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 }MMKOr(  
S{&%tj~U  
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场追迹仿真 `!I/6d?A  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 N]iarYc  
•单击go! |?^qs nB  
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场追迹仿真(相机探测器) Pm2LB<qS  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 v8 =#1YB;  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 9<3}zwJ  
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场追迹仿真(电磁场探测器) /P9fcNP{y  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .,qh,m\Fo  
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ZoJq JWsd  
场追迹仿真(电磁场探测器) ;g#nGs>  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .kuNn-$  
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文件信息 AHuIA{AdUR  
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QQ:2987619807 j ]%XY+e  
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