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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 ef!I |.FW  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 >"`:w  
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建模任务 [FC%_R&&  
(MxLw:AV  
J~c]9t  
概述 %>JqwMK  
\u)s Zh  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 q07rWPM "e  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。  t%FS 5  
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dF FB\|e;0  
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光线追迹仿真 c)E'',-J_2  
#p_ ~L4iW  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 i uN8gHx  
•单击go! 2V~Yb1P  
•获得了3D光线追迹结果。 ):.]4n{L  
$"_D"/*  
lJU[9)Q_  
'4O1Y0K  
光线追迹仿真 V}aXS;(r%  
A#8/:t1AW  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 =)y=M!T2  
•单击go! =Wl CE_  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 hwC3['  
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T1e}WJbFE  
RrRCT.+E  
场追迹仿真 <X;y 4lPZ  
OSq"q-Q  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 2QBq  
•单击go! v"bOv"!al  
H"n"Q:Yp  
p\!+j@H:  
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场追迹仿真(相机探测器) =o5hD,>e  
U` bvv'38#  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 zIm$S/Qe*  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 5HJ6[.HO  
{@C+Js5  
e`C'5`d]  
<k^h&1J#g  
场追迹仿真(电磁场探测器) J6f;dF^  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .}z&$:U9[  
3RGVH,  
?)JW}3<.  
Dj %jrtT  
场追迹仿真(电磁场探测器) thUs%F.5?  
MMcHzRF  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ZT|E1[Q  
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文件信息 R%b,RH#  
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QQ:2987619807 Bz ]64/  
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