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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 $C;i}q#  
ea"X$<s>-  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 'EiCT l  
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建模任务 K2zln_W  
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概述 l.o/H|  
Ks P2./N  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 T0tX%_6`  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 2L~Vr4eHG  
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ICN>kJ\;M  
光线追迹仿真 G0UaE1n  
D<6$@ZJ  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 X$>F78e*  
•单击go! E:x@O8F  
•获得了3D光线追迹结果。 v:P]o9Oj8  
N l@G\_  
m"n74 cxS  
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光线追迹仿真 [t?tLUg|6  
o~~;I  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 R.rc h2  
•单击go! %^@l5h.lqB  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 ] zol?  
ed,A'S= d  
_u[tv,  
=7<JD}G  
场追迹仿真 >[;W ~*  
KEOk%'c,  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ,a{85HLr]  
•单击go! 1%+-}yo<  
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tn5%zJ#+  
Kz"3ba}KH  
场追迹仿真(相机探测器) z$?F^3>  
rtuaU=U  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ]%E h"   
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 e]RzvWq  
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场追迹仿真(电磁场探测器) 61S;M8tNv  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 eA4D.7HDK  
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Z\nDR|3  
场追迹仿真(电磁场探测器) 5bLNQz\WJ  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 msmW2Zc  
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文件信息 KR>)Ek  
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QQ:2987619807 1p}Wj*mc  
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