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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 ,67"C2Y  
fB f 4]^  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 KA5~">l  
aN^]bs?R  
h`wMi}q'D  
m,W) N9 M  
建模任务 F_A%8)N  
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{fGd:2dh  
概述 mR{CVU  
@4IW=V  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 _BZ1Vnv  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 &8[ZN$Xe"  
fD1?z"lo  
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K0w<[CO  
光线追迹仿真 g M4Pj[W  
)E'Fke  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 /y}"M  
•单击go! -PNi^ K_  
•获得了3D光线追迹结果。 Q~Ay8L+  
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V ]79vC  
9T(L"9r-e  
光线追迹仿真 Vy-28icZ`  
j|:dYt`WM  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 4p.^'2m  
•单击go! 8zhBA9Y#~  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 nz4<pvC,*  
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场追迹仿真 AY#wVy  
9<yAQ?7 L  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 = 96G8hlT  
•单击go! "\e:h| .G  
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场追迹仿真(相机探测器) 9B /s  
A (Bk@;  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 cv}aS_`f  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 3KSpB;HX  
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场追迹仿真(电磁场探测器) \[yr=X  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |^R*4;Phe  
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场追迹仿真(电磁场探测器) H@GE)I>^@  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 *ZaaO^!  
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文件信息 gH[,Xx?BN!  
F@Q^?WV  
F$Hx`hoy  
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QQ:2987619807 3X;{vO\a1  
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