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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 DZ?>9W{  
f(=yC} si  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 1b+ B  
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建模任务 2/RK pl &  
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概述 RX4O1Z0  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 7qt<C LJ  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 )I9AF,K  
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光线追迹仿真 z11;r]VI  
Za}*6N=?*  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 kEf}yTy  
•单击go! @=h%;"  
•获得了3D光线追迹结果。 M7/P&d  
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d?Gf T$1  
nS"K dPM  
光线追迹仿真 GBzC<e#  
7f8%WD)  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 TyD*m$`y  
•单击go! ~0w7E0DE[  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 91r9RG>  
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W:O<9ZbQ_  
场追迹仿真 D QP#h5O  
>&TSz5Q  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 3H%R`ha  
•单击go! Bwjd/id q  
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场追迹仿真(相机探测器) !H{)L@f  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 H$KE*Wwq  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 pP68jL  
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场追迹仿真(电磁场探测器) Ictc '#y  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 1B'i7  
x,E#+ m  
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场追迹仿真(电磁场探测器) O}NR{B0B3&  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 IE$x2==)  
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文件信息 Tr)a6Cf  
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QQ:2987619807 j_&/^-;e  
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