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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 Kr+#)S  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 yn.[-  
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建模任务 S]Aaf-X_  
40 zO4  
~gg&G~ ET  
概述 #j"GS/y"  
Nwk^r75lq  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Qki? >j"  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 V9wL3*  
T2|os{U  
i\=I` Yn+  
x|g2H.n  
光线追迹仿真 o 9d|XY_  
`)TgGny01  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 yh.WTgcW  
•单击go! vILgM\or  
•获得了3D光线追迹结果。 'a"Uw"/p[  
q XB E3  
W?n/>DML  
kA9k^uR/  
光线追迹仿真 $dug"[  
*T:jR  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 =]1g*~%  
•单击go! JY3!jtv  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 7t+H94KG7  
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k;r[m ,$  
X,D ]S@  
场追迹仿真 V OT9cP^6  
Mo4c8wp&SM  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 A>\3FeU>UC  
•单击go! 9fsc>9  
V6'k\5|_  
Q+Eqaz`  
D!i|KI/  
场追迹仿真(相机探测器) juxAyds  
"tu*(>'~5  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 5[~ C!t;  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 Sp]ov:]%f  
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场追迹仿真(电磁场探测器) 8yM8O #S  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &"Fz)}  
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(@S 9>z4s  
4v2JrC;  
场追迹仿真(电磁场探测器) 'Y]<1M>.g  
v+CW([zAx#  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 a~zh5==QD  
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文件信息 ^[v>B@p*{  
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QQ:2987619807 !k#N] 9D3  
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