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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 6VtN4c .Q  
O|nLIfT  
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 4 'DEdx,&f  
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建模任务 n#5S-z1KNw  
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概述 I uC7Hx`z  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 wg4Ol*y'  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 oL7F^34;  
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光线追迹仿真 }"&Ye  
+*IRI/KUD  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 3 TRG] 5  
•单击go! B%WkM\\!^  
•获得了3D光线追迹结果。 VsDY,=Ww  
3i#'osq  
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光线追迹仿真 oS~;>]W  
(K('@W%\?  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 G1Vn[[%k  
•单击go! k3T374t1b  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 Mzw:c#  
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场追迹仿真 7M~/[f7Z{  
abp\Ih^b  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 =imJ0V~RW  
•单击go! pjma<^|F  
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场追迹仿真(相机探测器) ^I{/j 'b&  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ]_`ICS  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 VI-6t"l  
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场追迹仿真(电磁场探测器) B}J0 d  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @aP1[(m  
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HM#|&_gV  
场追迹仿真(电磁场探测器) :x3xeVt Y  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 P-DW@drxF  
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文件信息 !JBj%|!  
 $ Tal.  
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QQ:2987619807 &Mz]y?k'  
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