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infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 41P4?"O  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 @1/Q  
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建模任务 CnM+HN30o  
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概述 'iMHAP;N  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 GapX$Jb,p  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 >cvE_g"?C  
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l}U~I 3}).  
光线追迹仿真 xfbK eS8  
0KWy?6 X  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ;EE{ ~  
•单击go! O2V6UX@&<w  
•获得了3D光线追迹结果。 o|b[(t$;O  
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~Q.8 U3"  
光线追迹仿真 0ECO/EuCg  
ovo?lE-a0  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 1FXzAc(c!  
•单击go! sWojQ-8}  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 2@=cqD7x  
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场追迹仿真 -.+KCt G$+  
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•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 gMoyy  
•单击go! TnMVHO-  
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场追迹仿真(相机探测器) s%S_K  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 &K}(A{  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 >%jEo'0;_  
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场追迹仿真(电磁场探测器) R4Gg|Bh  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >? A `C!i  
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场追迹仿真(电磁场探测器) F] dd>#  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 TGt1d  
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文件信息 QB.*R?A  
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QQ:2987619807 k1LtqV  
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