首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
FRED,VirtualLab
->
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2021-06-23 11:22
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要
}4ghT(C}$
'krMVC-
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
"5DAGMU
aFm]?75
:phD?\!w8t
m ?tnk?oX
建模任务
Vv"wf;#
=$z$VbBv
zinl.8Uk
概述
<rI$"=7
<TROs!x$a
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。
O,,n
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
*UxB`iA
GB0b|9(6D"
3g "xm
3jdB8a]T_
光线追迹仿真
nR'EuI~(}
?m7" G)
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。
s6hWq&C
•单击go!
`1v!sSR0R
•获得了3D光线追迹结果。
{3uSg)
X@4d~6k?
l@F e(^5E
oK1[_ko|
光线追迹仿真
A;nmua-Fv
Mz.&d:
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
Gqc6).tn
•单击go!
T S8E9#1a
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。
`.-k%2?/
|]3);^0
4<>:]
y#0Z[[I0
场追迹仿真
j1CD;9i)%
aC]l({-0
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
!!#ale&
•单击go!
R[-:-8
&rWJg6/
nt`l6b
T.dO0$,Q@$
场追迹仿真(相机探测器)
Kd1\D!#!6
`B0*/ml
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
!D5`8
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
H)fo4N4ii
z ate%y
&t:MWb;
7B2Og{P
场追迹仿真(电磁场探测器)
SLB iQd.
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
Vta;ibdeqW
s'=]a-l~
XdVC>6
rz7b%WY
场追迹仿真(电磁场探测器)
r+Cha%&D
3A1kH` X^q
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
e(5R8ud
oh~Dbu=%
jC8BLyGE_
xT>V;aa\
文件信息
;.a)r
Kg67cmj)f
=#fvdj
w2V E_
u[qtuM?&
QQ:2987619807
]qRz!D%@^
查看本帖完整版本: [--
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2026
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计