首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
FRED,VirtualLab
->
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2021-06-23 11:22
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
摘要
~@#s<a,%;
5Lm-KohT'
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。
8\F|{vt#
`#*`hH8
btOx\y}
Xv+!)j<
建模任务
r}:Dg fn
vs^)=
qP[_!C.
概述
ZU$QwI8
w1EB>!<;tj
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。
J``5;%TJp
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
L)i6UAo
V~_6t{L
CZ!gu Y=
_WGWU7h
光线追迹仿真
!q~f;&rg
^S`N\X
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。
2Akh/pb
•单击go!
},=ORIB B:
•获得了3D光线追迹结果。
)gx*;z@
n5 <B*
au E8 ^|
gj7'43 ?W
光线追迹仿真
d(j g "@
&lo<sbd.
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。
} rX)A\ g6
•单击go!
0h kZ
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。
aA -j
A 4*D3\>%u
\=[38?QOY
%(S!/(LWW
场追迹仿真
th{ie2$
nf-6[dg
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
^jXKM!}-E
•单击go!
Vp1 Q^`a{G
_&N:%;9uD
_}j6Pw'
</B:Zjn
场追迹仿真(相机探测器)
5s%FHa
= Qn8Y`U
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
r3Kx
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。
rM4Ri}bS
xouBBb=
/eBcPu"[Vb
5Z(q|nn7P
场追迹仿真(电磁场探测器)
_7R6%^
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
y#P_ }Kfo
"AlR%:]24~
Pz|}[Cx-
mC$ te
场追迹仿真(电磁场探测器)
/GO((v+J
H? %I((+
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
+jN)$Y3Ya
5! ]T%.rM
Va4AE)[/*
.G}$jO}
文件信息
MM~4D
wuhL r(
#bb$Icmtk
<899r \
]>0$l _V
QQ:2987619807
`uc`vkVZ
查看本帖完整版本: [--
分析高数值孔径物镜的聚焦特性
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2026
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计