首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> FRED,VirtualLab -> 分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2021-06-23 11:22

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要  qX{+oy5  
(!WD1w   
高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。  =7eV/3  
~]2K ^bh8&  
sXPe/fWo  
26h21Z16q  
建模任务 F)eelPZ+,  
5$k:t  
rey!{3U  
概述 evmeqQG=  
> ~O.@|  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 9%9#_?RW  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ?Ir:g=RP*  
WNtW|I V  
\9T7A&  
nu%*'.  
光线追迹仿真 OneY_<*a<  
~t~|"u"P  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 WpvhTX  
•单击go! &};zvo~P.  
•获得了3D光线追迹结果。 +ZP7{%  
t?FBG4  
K[YyBE id  
BI@[\aRLQ  
光线追迹仿真 |FRg\#kf%  
$XH^~i;  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 h<QY5=S F  
•单击go! ~k5W@`"W  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 $6IJ P\  
)^hbsMhO  
fk-RV>yr  
JBZ@'8eqi]  
场追迹仿真 d<Tc7vg4|U  
m1AJ{cs  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 I> $&-i  
•单击go! aN3;`~{9  
Aos+dP5h,8  
owv[M6lbD  
B9S@(/"7  
场追迹仿真(相机探测器) dPRra{  
R4d=S4 i  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 (QB2T2x  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 (/] J3  
K*dCc}:`  
<1!O1ab  
klhtKp_p  
场追迹仿真(电磁场探测器) \_fv7Fdp{  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `Q,H|hp;k;  
d#wVLmKZ  
],].zlN  
Eh4= ZEX  
场追迹仿真(电磁场探测器) 3Zh)]^  
;dhQN }7  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 zbPqYhJzA  
\l3h0R  
32 =z)]FZ  
9N3eN  
文件信息 #X"@<l4F  
+"VP-s0  
ovV'VcUs  
+ck}l2&#  
*8XEYZa  
QQ:2987619807 |Q>IrT  
查看本帖完整版本: [-- 分析高数值孔径物镜的聚焦特性 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计