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infotek 2021-06-22 09:51

白光迈克尔逊干涉仪

1. 摘要 O]80";Uv  
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白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。
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2. 建模任务 m4,inA:o  
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3. 干涉条纹的变化 SY$%)(c8kL  
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4. 走进VirtualLab Fusion StU9r0`  
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5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 +l;AL5h  
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  • 输入场设置
  • 定义元件的位置和方向
  • 正确设置非序列追迹通道
  • 使用“参数运行”检查影响/变化
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6. VirtualLab Fusion 技术 MR/gLm(8(  
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7. 文件信息 7uq^TO>9f  
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QQ:2987619807 `u$lSGl  
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