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2021-06-22 09:51 |
白光迈克尔逊干涉仪
1. 摘要 5z(>4 d! p7=^m>Z6 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 d`q)^ ;x0 KaFk
e#eO`bT '/qe#S 2. 建模任务 m$y$wo<K[7 ~JmxW;|_x)
r1[T:B' *y\tns U 3. 干涉条纹的变化 0& | |