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infotek 2021-06-21 10:11

全场光学相干扫描干涉仪

摘要 xr Jg\to{i  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 8^1 Te m  
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建模任务 yjJ5>cg  
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仿真干涉条纹 xdt- ;w|  
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走进VirtualLab Fusion A]oV"`f  
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7.j?U  
6 V=9M:  
VirtualLab Fusion中的工作流程 D'Df JwA  
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•设置输入场 .[OUI  
基本光源模型[教程视频] U$A]8NZ$S  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 Z=o2H Bm7  
•定义元件的位置和方向 (iX+{a%"  
LPD II:位置和方向[教程视频] qfm|@v|De5  
•正确设置通道以进行非序列追迹 y??XIsF  
非序列追迹的通道设置[用例] WP'!*[z  
•使用参数运行检查影响/变化 dcN22A3  
参数运行文档的使用[用例] dkTX  
+\ .Lp 5  
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VirtualLab Fusion技术 0 /U{p,r6`  
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文件信息 i<Zc"v;  
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QQ:2987619807 ~=l;=7 T  
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