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infotek 2021-06-21 10:11

全场光学相干扫描干涉仪

摘要 !_:|mu'  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 -<5H8P-  
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jE$]Z(Ab  
M-5zsN  
建模任务 Lw{'mtm  
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仿真干涉条纹 zQx7qx  
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h{Y#. j~aS  
走进VirtualLab Fusion B=2f-o  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 [M:BJ%*  
,:3Di (  
•设置输入场 "cX*GTNi8  
基本光源模型[教程视频] nB , &m&  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 y &%2  
•定义元件的位置和方向 gx6$:j;   
LPD II:位置和方向[教程视频] iLkP@OYgQ  
•正确设置通道以进行非序列追迹 2ZFp(e^%  
非序列追迹的通道设置[用例] M{~KT3c  
•使用参数运行检查影响/变化 2<+9lk  
参数运行文档的使用[用例] 2d-C}&}L\  
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VirtualLab Fusion技术 zI3Bb?4.  
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文件信息 (B;rjpK  
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QQ:2987619807 XDq*nA8#5B  
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