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全场光学相干扫描干涉仪
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infotek
2021-06-21 10:11
全场光学相干扫描干涉仪
摘要
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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建模任务
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仿真干涉条纹
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走进VirtualLab Fusion
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VirtualLab Fusion中的工作流程
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•设置输入场
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基本光源模型
[教程视频]
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•使用导入的数据自定义表面轮廓
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•定义元件的位置和方向
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LPD II:位置和方向
[教程视频]
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•正确设置通道以进行非序列追迹
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−
非序列追迹的通道设置
[用例]
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•使用参数运行检查影响/变化
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参数运行文档的使用
[用例]
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VirtualLab Fusion技术
bb#F2r4
8,p nm
文件信息
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QQ:2987619807
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