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infotek 2021-06-21 10:11

全场光学相干扫描干涉仪

摘要 ;q ;}2  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 s6F^z\6  
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建模任务 cCWk^lF],  
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仿真干涉条纹 9D+B~8[SQ  
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走进VirtualLab Fusion @x4IxGlUs  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 rF>7 >wq  
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•设置输入场 B?|url6h  
基本光源模型[教程视频] l A1l  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 ex}6(;7)O  
•定义元件的位置和方向 Oj`I=O6  
LPD II:位置和方向[教程视频] 12bt\ h9  
•正确设置通道以进行非序列追迹 EWX!:BKf  
非序列追迹的通道设置[用例] ^@a|s Sb  
•使用参数运行检查影响/变化 `N,q~@gL  
参数运行文档的使用[用例] zK@DQ5  
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VirtualLab Fusion技术 { :~&#D  
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文件信息 .V.x0  
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