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用于光学测量的菲索干涉仪
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infotek
2021-06-17 13:10
用于光学测量的菲索干涉仪
摘要
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Lu.C+zgQ
斐索干涉仪是工业中常见的光学计量设备,它们通常用于光学表面质量的高精度测试。 借助VirtualLab Fusion中的非顺序追迹,我们构建了一个菲索干涉仪,并利用它测试了不同的光学表面,例如圆柱形和球形。 可以看出,产生的干涉条纹对表面轮廓具有敏感性。
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