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infotek 2021-06-16 10:49

高效偏振无关透射光栅的分析与设计

摘要 9IMcp~zX  
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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)],  我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 wXnt3)e  
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建模任务 R _%pR_\  
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光栅特性与参数的严格分析 TgLlmU*qMU  
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不同光栅周期下的衍射效率 .nN7*))Fj  
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关于光栅周期选择的考虑 ]n_A~Y r  
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偏振相关的衍射特性 4$rO,W/&0  
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通过参数优化进行光栅设计 7gkHKdJoMA  
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固定周期的2D参数优化 h?b{{  
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2D参数优化–设计1 sgX~4W"J  
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2D参数优化–设计2 2WoB;=  
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制造公差分析–设计2 anbr3L[!  
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变化光栅周期的3D参数优化  : 2?du  
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制造公差分析 q&vr;f B2  
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走进VirtualLab Fusion z)ydQw>  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 uW]n3)7<I  
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pCq{F*;  
•构造光栅结构 0P|WoC X  
通过使用界面来配置光栅结构 milU,!7J  
[用例] .e6:/x~p*  
•分析光栅衍射效率 ]'"$qm:  
光栅级次分析器[用例] mGIS[_dcs  
•使用参数运行搜索初始解决方案 51~:t[N|  
参数运行文档的使用[用例] 4 1Ru@  
•通过参数优化找到最终设计
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VirtualLab Fusion技术 )T^hyi$  
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