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2021-06-08 10:29 |
用于微结构晶片检测的光学系统
摘要 )POU58$ LQXMGgp 在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。 EKf! j3 ;kR+jC( cs7K^D;.V 建模任务 {I]>!V0j! p%ZAVd*|#V KSxZ4Y 结果 `=19iAp. cxc-|Xori (65|QA 结果 a|kEza,] }-T
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