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2021-06-08 10:19 |
从薄膜原理、设计到工艺
时间地点: ZfgJ.<< #~l(]h@
) &qr;IL7' 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司(微信公众号:infotek);常熟黉论教育咨询有限公司(微信公众号:honglun-seminary) _J?
Dq 授课时间:2021 年10月22(五)-24(日) AM 9:00 - PM 16:00 B3
5E8/ 授课地点:上海市嘉定区南翔银翔路819号南翔财富中心中暨大厦18楼 s!}ne"&0
课程讲师:讯技光电工程师&资深顾问 "0cID3A$ 课程费用:4500RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费用) 6w(6}m.L^ Yo("U8:XX nY`RRC 课程简介: s8#X3Rp 当收到需求者的光学规格及非光学规格如环境测试要求时,既可以着手选用所需的基板,镀膜材料及膜数与厚度设计。设计开始可以从标准膜系着手,例如高反射镜不管波宽大小,开始我们一定是以四分之一波膜堆为设计基础,倘若是截止滤光片,则应以对称膜堆为设计基础。当初始设计无法满足要求时,我们需要考虑商业软件或自行设计电脑软件来参与合成或优化,设计好之后,即刻进行制造成功率分析,亦看膜层厚度的误差值的容许度,若是镀膜机的精密度做不到,则要修改设计,重新分析直达合格为止。 }t%!9hr5D DFd%9*N ~;&m*2
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透明塑料基板质轻价廉,而且容易成型为非球面透镜,被广泛采用在光学系统中,如眼睛镜片、相机透镜、手机镜头、及显示器面板,如OLED,近眼显示应用。但塑性及软性基板的低密度致使其具有吸水性,从而使薄膜与基板的附着性不佳。再者这些塑料基板比较柔软、容易刮伤、需要镀上硬膜保护。因此塑料透镜的镀膜除了抗反射,还要兼具免受刮伤的保护。本课程会从这些方面重点阐述塑料基底的镀制工艺及其物理特性。 t[oT-r 课程大纲: dOoK Lry 1. Essential Macleod软件介绍 3
"Q=Vl" 1.1 介绍软件 LM-J !44 1.2 运行程序 70;Jl).\{ 1.3 创建一个简单的设计 Y5FbU 1.4 绘图和制表来表示性能 `/ q|@B7 1.5 3D绘图-用两个变量绘图表示性能 ;F~LqC$ 1.6 创建一个默认设计 Bxfc}vC. 1.7 文件位置 d~`x )B( 1.8 通过剪贴板和文件导入导出数据 XoCC/ 1.9 约定-程序中使用的各种术语的定义 ,eZ1uBI? 1.10厚度(物理厚度,光学厚度[FWOT,QWOT],几何厚度) nCj2N,mT 1.11 单位定义 `P8Vh+7u 1.12 软件如何进行数据插值
X~<(" 1.13 可用的材料模型(Sellmeier, Cauchy, Drude, Lorentz, Drude-Lorentz, Hartmann) /Ya_>+oo 1.14 特定设计的公式技术 P5#r,:zL 1.15 交互式绘图 /s[l-1zW 2. 光学薄膜理论基础 .D:Z{|.1 2.1 介质和波 cgm~> 2.2 垂直入射时的界面和薄膜特性计算 WeQk<y 2.3 倾斜入射时的界面和薄膜特性计算 R%qGPO5Z\c 2.4 后表面对光学薄膜特性的影响 q&/Yg,p\ 2.5 光学薄膜设计理论 ]):<ZsT 3. 理论技术 qLT>Mz)$% 3.1 参考波长与g zOqn<Y@ 3.2 四分之一规则 n1&% e6XhO 3.3 导纳与导纳图 v%s`~~u%^ 3.4 斜入射光学导纳 i]|Yg$ 3.5 对称周期 tdSfi<y5I 4. 光学薄膜设计 UF<uU-C" 4.1 光学薄膜设计的进展 {6c2{@ 4.2 光学薄膜设计中的一些实际问题 2GWMlI 4.3 光学薄膜设计技巧 ;r>snJ=M 4.4 特殊光学薄膜的设计方法 L.2/*H#
4.5 Macleod软件的设计与优化功能 *WIj4G.d 4.5.1 优化目标设置
}f8Uc+ 4.5.2 优化方法(单一优化,合成优化,模拟退火法,共轭梯度法,准牛顿法,针形优化,差分演化法) 00SbH$SU 4.5.3 膜层锁定和链接 vt;{9\Y 5. 常规光学薄膜系统设计与分析 ALNc'MW! 5.1 减反射薄膜 AQ+]|XYo_ 5.2 分光膜 M5*{ 5.3 高反射膜 C_n9T{k 5.4 干涉截止滤光片 MwR0@S}* 5.5 窄带滤光片 bV8!"{ 5.6 负滤光片 N#Zhxu,g! 5.7 非均匀膜与Rugate滤光片 E !a|Xp 5.8 Vstack薄膜设计示例 -#2)?NkeE 5.9 Stack应用范例说明 ld^=#]g 6. VR、AR及HUD用光学薄膜 USVqB\# 6.1 背景介绍 p"FW&Q=PN 6.2 产品特性 E2"q3_,, 6.3 典型VR系统光学薄膜设计分析 FFH_d <q 6.4 典型AR系统光学薄膜设计分析 E7CH^]x 6.5 典型HUD系统光学薄膜设计分析 LwK+:4$ 7. 防雾薄膜 "ajjJ"x A 7.1自清洁效应 &s$(g~ 4gC 7.2 超亲水薄膜 ltgc:&=|@ 7.3 超疏水薄膜 #ceaZn|@m 7.4 防雾薄膜的制备 #DN0T' B 7.5 防雾薄膜的性能测试 *+\SyO 8. 材料管理 P#_sg0oJF 8.1 光学薄膜材料性能及应用评述 lNL6M%e$Q 8.2 金属与介质薄膜 kH4Ai3#g 8.3 材料模型 05spovO/' 8.4 介质薄膜光学常数的提取 Z7_ zMM 8.5 金属薄膜光学常数的提取 98WZ){+,m 8.6 基板光学常数的提取 wQiX<)O 8.7 光学常数导出遇到的问题及解决思路 e][B7wZ 9. 薄膜制备技术 qOUqs'7/] 9.1 常见薄膜制备技术 -,+q#F 9.2 光学薄膜制备流程 AN24Sf'` 9.3 淀积技术 :^fcC[$K 9.4 工艺因素 raCi 8 10. 误差、容差与光学薄膜监控技术 UY <e&Npo 10.1 光学薄膜监控技术 Ojt`^r !V 10.2 误差分析与监控决策 g=]u^& 10.3 Runsheet 与 Simulator应用技巧 :sP!p`dl 10.4 膜系灵敏度分析 s7l;\XBy 10.5 膜系容差分析 sPps q 10.6 误差分析工具 13+<Q \ 11. 反演工程 \N4
y< 11.1 镀膜过程中两种主要的误差(系统误差和随机误差) _^'I 11.2 使用反演工程来控制对设计的搜索 4lM8\Lr 12. 应力、张力、温度和均匀性工具 >NKe'q<)3 12.1 光学性质的热致偏移 qKE:3g35 12.2 应力工具 <TE%Prd}` 12.3 均匀性误差(圆锥工具、波前问题) wo3wtx 13. Function功能扩展 VB?Ohk]< 13.1 如何在Function中编写操作数 Y=
]dvc 13.2 如何在Function中编写脚本 KMV=%o 14. 光学薄膜特性测量 (&P9+Tl 14.1 薄膜光学常数的测量 ]a!xUg!S 14.2 薄膜堆积密度的测量 PZm:T+5H 14.3 薄膜微观结构分析 3 HIz9F( 14.4 薄膜成分分析 c=
x,ijY
" 14.5 薄膜硬度、附着性及耐摩擦性的测量 IZm(`b;t^ 14.6 薄膜表面粗糙度的测量 8> .J1C 15. 项目管理与应用实例 BA:yQ 15.1 项目管理 !j\" w p 15.2 光学薄膜项目开发过程 }->.k/vc 15.3 客户需求分析 sj8~?O 15.4 文档管理与报表生成 LS5vW|]w 15.5 【案例分析】Macleod 软件在太阳能薄膜中的应用 XgxX.`H7 15.6 【案例分析】Macleod 软件在激光薄膜设计分析中的应用 H> '>3]G 15.7 【案例分析】Macleod 软件在光电功能薄膜中的应用 9XHz-+bQ 15.8 仿生蛾眼结构在显示技术上的应用 t2V0lyeL 15.9 OLED薄膜及微腔效应 ncX/L[L 15.10 金属线栅偏振器 Sje wuIi1 16. Q&A *5wu
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