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| huang8215 | 2007-03-07 21:39 |  
| ZZSX-800 真空镀膜机使用方法
一、电控柜的操作 .&|Ivz6 vR;?~^{*s
 1.       开水泵、气源 AHa%?wb
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 2.       开总电源 $?voQ&
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 3.       开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。 2@&|/O6_\h
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 4.       开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。 5X8GR5P
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 5.       观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。 EMe3Xb 
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 二、DEF-6B电子枪电源柜的操作 8oAr<:.=
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 1.       总电源 iR_j
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 2.       同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。 ar+  j`QIe
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 3.       开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA, (4;m*'X
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 灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。 j=&]=0F
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 三、关机顺序 |$hBYw
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 1.       关高真空表头、关分子泵。 %s|`1`c
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 2.       待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。 U04TVQn`
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 3.       到50以下时,再关维持泵。 p,(gv])ie
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 ZZSX-800 真空镀膜机 北京仪器厂 2000年7月 df85g
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 镀膜室尺寸:¢800mm×1000mm r)4GH%+?fv
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 极限压力:5×10-4 Pa \B72	#NR
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 抽气时间:从大气压抽至2×10-3 Pa,<15min
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