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huang8215 2007-03-07 21:39

ZZSX-800 真空镀膜机使用方法

一、电控柜的操作 a\\B88iRRZ  
5M{N-L_eC  
1.      开水泵、气源 Tk9*@kqv  
bCk_ZA  
2.      开总电源 C8cB Lsa[J  
j3VM !/  
3.      开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。 _> .TB\  
cD8.rRyD  
4.      开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。 !&TbE@Xk  
&-+qB >SK>  
5.      观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。 {o7ibw=E)  
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二、DEF-6B电子枪电源柜的操作 C81+nR  
T1;yw1/m5\  
1.      总电源 ;C-5R U V  
3=) /-l  
2.      同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。 673v  
-B$oq8)n*  
3.      开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA, <\?ySto  
SY["(vP%#  
灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。 +Bv{A3E9  
|!dyk<}oIu  
三、关机顺序 &qFdP'E;$  
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1.      关高真空表头、关分子泵。 \P!v9LX(  
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2.      待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。 jgYUS@}  
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3.      到50以下时,再关维持泵。 <8!mmOK1  
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Ka2U@fK"  
ZZSX-800 真空镀膜机 北京仪器厂 2000年7月 WW@/q`h  
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镀膜室尺寸:¢800mm×1000mm NaG1j+LN  
R+gh 2 6e  
极限压力:5×10-4 Pa o&g=Z4jj<  
):&A\nb  
抽气时间:从大气压抽至2×10-3 Pa,<15min
huang8215 2007-03-07 21:44
自己先给自己顶起来~~希望对大家有所帮助
银河系 2007-03-07 23:13
谢谢我曾经用过真空镀膜机 &pK1S>t  
操作基本一样!
孙莽 2007-03-08 12:43
曾经用过真空镀膜机
yixiangren 2007-06-12 10:58
太麻烦了!开惯了进口机,真怕有一天遇到国产机可能会不会开。
yufe16 2007-07-05 21:18
是啊,有段时间不操作就要忘!
wushi 2007-09-21 10:16
是蒸度还是溅射镀?
随即激光 2015-04-22 13:44
感谢分享
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