| huang8215 |
2007-03-07 21:39 |
ZZSX-800 真空镀膜机使用方法
一、电控柜的操作 5 Vm
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1. 开水泵、气源 U4#[>*
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2. 开总电源 s(7'*`G"h
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3. 开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。 H3 _7a 9
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4. 开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。 OT7F#:2`
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5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。 t#|E.G:=
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二、DEF-6B电子枪电源柜的操作 '3uj6 Wq2
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1. 总电源 Y_ `D5c:
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2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关，延时、电源及保护灯亮，三分钟后延时及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。 :=04_5 z
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3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA， uK]@! gz
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灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。 Yfy6o6*:
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三、关机顺序 R~b9)
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1. 关高真空表头、关分子泵。 @1P1n8mH]
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2. 待分子泵显示到50时，依次关高阀、前级、机械泵，这期间约需40分钟。 #;juZ*I
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3. 到50以下时，再关维持泵。 W0$G 7 s
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ZZSX-800 真空镀膜机 北京仪器厂 2000年7月 49
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镀膜室尺寸：￠800mm×1000mm ;:*o
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极限压力：5×10-4 Pa M@Q= !!tQ(
6K P!o
抽气时间：从大气压抽至2×10-3 Pa，<15min
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