huang8215 |
2007-03-07 21:39 |
ZZSX-800 真空镀膜机使用方法
一、电控柜的操作 a\\B88iRRZ 5M{N-L_eC 1. 开水泵、气源 Tk9*@kqv bCk_ZA 2. 开总电源 C8cB Lsa[J j3VM!/ 3. 开维持泵、真空计电源,真空计档位置V1位置,等待其值小于10后,再进入下一步操作。约需5分钟。 _> .TB\ cD8.rRyD 4. 开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源、启动,真空计开关换到V2位置,抽到小于2为止,约需20分钟。 !&TbE@Xk &-+qB
>SK> 5. 观察涡轮分子泵读数到达250以后,关予抽,开前机和高阀继续抽真空,抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头,观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子枪电源。 {o7ibw=E) *}3e'0` 二、DEF-6B电子枪电源柜的操作 C81+nR T1;yw1/m5\ 1. 总电源 ;C-5R U
V 3=)/-l 2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源:按电子枪控制Ⅰ电源、延时开关,延时、电源及保护灯亮,三分钟后延时及保护灯灭,若后门未关好或水流继电器有故障,保护灯会常亮。 673v -B$oq8)n* 3. 开高压,高压会达到10KV以上,调节束流可到200mA左右,帘栅为20V/100mA, <\?ySto SY["(vP%# 灯丝电流1.2A,偏转电流在1~1.7之间摆动。 +Bv{A3E9 |!dyk<}oIu 三、关机顺序 &qFdP'E;$ pq*b"Jku1 1. 关高真空表头、关分子泵。 \P!v9LX( 9x&,`95O 2. 待分子泵显示到50时,依次关高阀、前级、机械泵,这期间约需40分钟。 jgYUS@} *-Y77p7u 3. 到50以下时,再关维持泵。 <8!mmOK1 HGB96,o f9 }_0?S0<# Ka2U@fK" ZZSX-800 真空镀膜机 北京仪器厂 2000年7月 WW@/q`h 'Y6{89 y 镀膜室尺寸:¢800mm×1000mm NaG1j+LN R+gh 2
6e 极限压力:5×10-4 Pa o&g=Z4jj< ):&A\nb 抽气时间:从大气压抽至2×10-3 Pa,<15min
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