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infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 \C>vj+!cJ  
LH_ U#P`E  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 o F_r C[  
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k5Q1.;fW76  
建模任务 -jrAk  
E vY^]M_U  
1#AxFdm1  
概观 %2\Pe 2Z  
l(F\5Ys  
>X:!Y[N  
光线追迹仿真 <rui\/4NJ  
Ijz*wq\s;  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 Sj/v:  
Z1$U[Tsd  
•点击Go! jRDvVV/-wr  
•获得3D光线追迹结果。 o >yXEg  
k*,+ag*j  
NN+;I^NqW&  
Q]K$yo  
光线追迹仿真 &{qKoI]  
{wz_ngQ  
{=gJGP/}_  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 :1bDkoK  
•单击Go! [C;Neslo  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 kv?DE4=;  
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o#z$LT1dY  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 >YF=6zq.`  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) K@Q%NK,  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 YvP62c \  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 sD{Wc%5  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 [)0^*A2  
nf&5oE^  
5U]@ Y?  
?(Plb&kR  
场追迹结果(电磁场探测器) zA3r&stN+  
2:nI4S  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 :!?Fq/!  
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QQ:2987619807 X*5N&AJ  
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