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infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 C511 hbF  
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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 cv G*p||  
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建模任务 }}i'8  
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1m#.f=u{R  
概观 b $J S|  
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光线追迹仿真 o +7)cI  
^ nI2<P  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 (zsv!U  
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•点击Go! y.c6r> }  
•获得3D光线追迹结果。 P^Owgr=Y  
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光线追迹仿真 bd~m'cob>  
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•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 QA*<$v  
•单击Go! BdF/(Pg  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 *LU/3H|}  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 )Wr_*>xj  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) |w}j!}u  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 XhHgXVVGG<  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 R`Z"ey@C  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 +tT"  
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M|mfkIk0MB  
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场追迹结果(电磁场探测器) TZ5TkE;1  
ZBK0`7#&EH  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 gVfFEF.  
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QQ:2987619807 QQ.?A(U7  
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