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infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 ],wzZhA  
~SEIIq  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 Z3iX^  
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建模任务 ~s[Yu!(  
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概观 ML X: S?  
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光线追迹仿真 b*< *,Ds/G  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 ||4++84{  
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•点击Go! l" H/PB<.  
•获得3D光线追迹结果。 s06R~P4  
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3. g-V  
光线追迹仿真 ?^: xNRE$j  
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.eDI ZX  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 }5ONDg(I~  
•单击Go! [m]O^Hp{{  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 H3o Um1  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 f.u[!T  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) n!\&X9%[8  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 KRP)y{~o  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 uY=}w"Db  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 9Vv&\m!0  
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场追迹结果(电磁场探测器) 2qUC@d<K  
o@G <[X|ke  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 [.`#N1-@M  
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^ $t7p 1  
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QQ:2987619807 `ynD-_fTN  
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