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infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 uvD*]zX  
B8-Y)u1G  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 >&qaT*_g  
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建模任务 7 (i\?  
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概观 6<Zk%[7t  
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光线追迹仿真 s[/)v:  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 ]O68~+6  
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•点击Go! SL% Ec%9Y  
•获得3D光线追迹结果。 3n TpL#  
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光线追迹仿真 Bdf]?s[]  
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•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 Nxt z1  
•单击Go! IQ}YF]I;  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 /H[!v:U  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。  'x\{sv  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) g JMv  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 O_wRI\ !  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 :>otlI<0t  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 'gwh:8Xc  
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场追迹结果(电磁场探测器) %]i("21  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 ^aG=vXK`b  
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QQ:2987619807 [m 3k_;[  
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