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infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 G>"n6v'^d  
hdWVvN  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 E{[Y8U1n  
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建模任务 Sed 8Q-m  
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概观 ~ S<aIk0l  
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光线追迹仿真 }'tJc $!  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 ]&H"EHC<$  
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•点击Go! #w%-IhP  
•获得3D光线追迹结果。 U"/T`f'H z  
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Mi#i 3y(  
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光线追迹仿真 HI{q#  
|pS]zD  
[K,P)V>K  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 S'^ q  
•单击Go! kJl^,q  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
ML'y`S  
DzMg^Kp  
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场追迹仿真  ?;v\wx  
B-_b.4ND)  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 5,p;b  
•单击Go!
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Ph]b6  
场追迹结果(摄像机探测器) 3QBzyJW f  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 niCK(&z  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 "[P3b"=gW  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 I;"pPJ3G  
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场追迹结果(电磁场探测器) {|>Wwa2e  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 17?YN<  
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QQ:2987619807 P #! N  
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