首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
FRED,VirtualLab
->
高NA物镜聚焦的分析
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2021-05-19 10:06
高NA物镜聚焦的分析
摘要
(DIMt-wz
gAudL)X
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
3wYhDxY1
C8Oh]JF4d
@<TC+M5!
yI{4h $c
建模任务
zhC#<
APJVD-
(y^svXU}a
概观
On~w`
S4Q fx6:~h
yC:C
光线追迹仿真
L^FQ|?*
r`\6+ Ntb.
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
Q)/oU\
1CR)1H
•点击Go!
4=nh' U38
•获得3D光线追迹结果。
8C=8Wjm
y$K[ArqX
#rI4\K
oazY?E]}3
光线追迹仿真
X:>,3[hx|
Z#t}yC%^d
BhzcimC)
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
?:Sqh1-z
•单击Go!
=c;.cW
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
)i^S:2
D~zk2
+zg3/C4 S
0: Nw8J
场追迹仿真
gSk0#Jt
X/f?=U
mhgvN-? "h
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
Rn $TYCO
•单击Go!
r>lo@e0G
ZA7b;{o [
^2`*1el
7Tc^}Q
场追迹结果(摄像机探测器)
<u}[_
tiPZ.a~k
#G]g
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。
qQwf#&
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。
X?$"dqA
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
Gm[XnUR7V
BC)1FxsGf
':7gYP*v
|Sv}/P-
场追迹结果(电磁场探测器)
ew&"n2r
7n[0)XR>
,: Ij@u>)
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
V X.9mt
4C }#lW9
S@@#L
文件信息
]Jnrs
fp?/Dg"49.
X- j@#Qb
y[';@t7CC
(H;,E-
QQ:2987619807
bl-D{)X
查看本帖完整版本: [--
高NA物镜聚焦的分析
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2025
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计