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infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 !G>(j   
'Aet{A=9  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 VS%@)sI|Z  
C&oxi$J:p+  
)+k[uokj  
+DxifXtB  
建模任务 -_w~JCx  
YiBOi?h9  
* S{\#s  
概观 8tC+ lc  
y8D 8Y8B  
!r2}59 J  
光线追迹仿真 kFnUJM$r  
&}O8w77  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 -MUQ \pZ  
B*BHF95!  
•点击Go! K wQXA'  
•获得3D光线追迹结果。 : (RL8  
FcY$k%;'Q  
i!y\WaCp  
y!BB7cK6  
光线追迹仿真 Do(P dF6A  
xz="|HD);  
WY3_7k8u  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 @ikUM+A {  
•单击Go! P)4x   
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
@!,D%]8"  
 ,&4zKm  
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@s3aR*ny$  
场追迹仿真 ,%.:g65%  
Kl!DKeF  
/S/tE  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 |\rSa^:5  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) ,WzG.3^m  
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;}n|,g>  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 PV?1g|tYv  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 4;",@}  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 Qs~d_;  
C8! 8u?k  
AfuXu@UZ_/  
i#Ne'q;T  
场追迹结果(电磁场探测器) 5F% h>tqh  
qZ `nZi  
M ,Zm|3L  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
[BJ$|[11  
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文件信息 M9g~lKs'  
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TW'E99wG  
+e&m#d  
QQ:2987619807 )er?*^9Z  
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