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infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 hx&fV#m  
Xwo+iZ(a  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 s<#BxN  
G \MeJSt*  
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Z]Ud x  
建模任务 J5Zz*'av'  
WvT H+  
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概观 CKZEX*mPC  
4(P<'FK $  
ibZ[U p?  
光线追迹仿真 WO9vOS>  
AN:s%w2  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 U W8yu.`?  
u9v,B$ S  
•点击Go! 0lniu=xmQ-  
•获得3D光线追迹结果。 +u=VO#IA#  
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光线追迹仿真 HLqN=vE6  
1 +-Go}I  
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•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 am3.Dt2\  
•单击Go! xg, 9~f[  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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Ih.)iTs~%  
C.#Ha-@uz  
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场追迹仿真 n_]B5U  
!9HWx_,|Z  
w@R"g%k-  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 Nb3O> &J  
•单击Go!
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9]ZfSn)  
J5jI/P  
X6Z/xb@  
场追迹结果(摄像机探测器) }z/%b<o_  
H1q,w|O9j  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 Lz_.m  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 "2-D[rYZ  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 0[d*Z  
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Z?qLn6y1W  
hP WP6;Z  
场追迹结果(电磁场探测器) JBHPI@Qt%  
4zhh **]B  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
GY@:[u.&  
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文件信息 Oh10X.)i  
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CF-tod  
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2 #yDVN$  
QQ:2987619807 |%|Vlu  
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