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infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 {{ *]bGko  
+O$:  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 BCUt`;q ]B  
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建模任务 p&sK\   
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.6ngo0<g   
概观 h!G^dW.  
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光线追迹仿真 mw(c[.*%  
5rmlAq  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 WVWS7N\  
q)V1{B@  
•点击Go! ]oeuIRyQ  
•获得3D光线追迹结果。 Q:kVCm/;  
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TD{=L*{+  
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光线追迹仿真 $xA J9_2P  
Lo9G4Cu  
O~h94 B`  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 b H"}w$!>r  
•单击Go! <r<Dmn|\a  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 7a:*Y"f,~  
,2,SG/BB  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 4`8IFK  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) )X~Pr?52?  
YX ;n6~y  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 (Ffb&GL  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 ?7yQ&p  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 @PQrmn6w  
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场追迹结果(电磁场探测器) 731h ~x!u  
H(15vlOD  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 ^\M dl  
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QQ:2987619807 3sZ,|,ueD  
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