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2021-05-19 10:06 |
高NA物镜聚焦的分析
摘要 >sQf{uL c3WF!~1r 高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 vhzz(UPUt WBR# Ux
WR_B:%W. JOyM#g9-? 建模任务 5"bg8hL Y=,9 M
8( Q[A 概观 y5 X FJj BZIU@^Q_Y[
0^)~p{Zh 光线追迹仿真 t"OP* jI~$iDdOfs •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 .g94|P 5Rp mR •点击Go! ErFt5%FN.O •获得3D光线追迹结果。 QcX&q%*0 JW"`i
n4.\}%=z `l %,4qR 光线追迹仿真 :w)9(5 x4,[5N"}YK 7jGfQ •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 _Ud! tK*H •单击Go! ?1r<`o3l\ •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 ) )t]5Ys%; 0Qy L}y2
w-C%,1F,/ FI~=A/: 场追迹仿真 OzR<jCOS q
s:TR uo(LZUjPbN •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 nWhf •单击Go! jvpv1>KYV ;wTc_i
x:h)\%Dg< =J]M#6N0 场追迹结果(摄像机探测器) Z$%!H7w /%)(Uz /lhk}
y^ •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 f8G<5_!K_ •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 4~8-^^ Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 ?y__ Vrw ab#z&jg!
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& B>sQcZ: 场追迹结果(电磁场探测器) ^ >
?C \rE] V,,2 cob??|,\m •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 JIqg[Mao `?f<hIJoz
{,?Gj@$ 文件信息 nB]mj_)R^ l}k'ZX 4
8VuLL<\| qEVpkvEq ,?`kYPZ QQ:2987619807 O[z6W.
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