首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
FRED,VirtualLab
->
高NA物镜聚焦的分析
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2021-05-19 10:06
高NA物镜聚焦的分析
摘要
'F$l{iR
T QSzx%i2
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
#7q7PYG4
LS88.w\=S@
#>mr[
E~gyy]8&
建模任务
wT:b\km:!
Ft;^g3N
j{9D{
概观
[`rba'
h >s!K9
h?8]C#6^
光线追迹仿真
h9Y%{v
,~OwLWi-|X
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
Ko&>C_N
o\3L}Y
•点击Go!
MgNU``
•获得3D光线追迹结果。
D(H>R&b!
<F=xtyl7
5&q8g;XiEM
Ju :CMkv
光线追迹仿真
P:aJ#
@qnD=mE
e[/dv)J
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
L"j tf78
•单击Go!
30.@g[~
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
iMP]W_
Y~(Md@!0S
M #=] k
26k LhFS
场追迹仿真
/O^RF }
(Yis:%c\!
q11>f
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
t{WzKy
•单击Go!
rjP L+T_
2U:H545]]
bdibaN-h
*?Kr*]dnLl
场追迹结果(摄像机探测器)
T<w5vqFDu
tP2qK_\e=
$W9{P;
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。
7e#?e+5+A
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。
JZD[N Z<
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
j.L-{6_s>~
H+ 0$tHi
de;GrPLAi
0Emr<n
场追迹结果(电磁场探测器)
=UJ:t Sr
QZ:8+[oy
>ey\jDr#O
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
kLni{IYN7
0;:.B j
75T7+:p
文件信息
@g$Gti
:SGF45>B@
mqAWL:VvQ7
v{jQek4
}c`fW&
QQ:2987619807
SOi*SwQ8
查看本帖完整版本: [--
高NA物镜聚焦的分析
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2025
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计