首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> FRED,VirtualLab -> 高NA物镜聚焦的分析 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 l|[8'*]r!  
o >=YoG  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。  'S f  
7b_Ihv   
nx(O]R,Sw  
hwmpiyu   
建模任务 I499 Rrw#E  
G}tq'#]E{z  
2 AZ[gr@c  
概观 (YjY=F  
[`^x;*C  
a$c7d~p$I  
光线追迹仿真 i6[,m*q~2x  
LDL#*g  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 T x_n$ &  
Fc;)p88[  
•点击Go! 6 m5\f  
•获得3D光线追迹结果。 )T6+}   
JF>mybB  
wovWEtVBU  
0;Y_@UVj  
光线追迹仿真 OC'cP[$ _  
9-+6Ed^2  
46'EZ@#s  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 ~9qDmt,i  
•单击Go! a$I; L  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
Llf>C,)  
?K7m:Dx  
:~ 3/  
35yhe:$nf  
场追迹仿真 ;o\0:fzr  
^/HE_keY  
%@U<|9 %ua  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 apUV6h-v  
•单击Go!
5:f}bW*  
>Lanuv)O  
nTj Q4y  
(jCE&'?}  
场追迹结果(摄像机探测器) M`umfw T  
=,I,K=+_x  
L iJ;A*  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 LX j Tqp'  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 Zx<s-J4o=w  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 K/Axojo  
~s{$&N  
yPm)r2Ck  
l\5qa_{z  
场追迹结果(电磁场探测器) }6eWdm!B  
3Nw9o6`U  
:$[m[y7i  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
bdqo2ZO  
v}-'L#6  
@ky5X V  
文件信息 #(CI/7 -  
8Md*9E#J("  
+(r8SnRX  
CN: 36  
Jx_ OT C  
QQ:2987619807 &cDnZ3Q;  
查看本帖完整版本: [-- 高NA物镜聚焦的分析 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计