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2021-05-19 10:06 |
高NA物镜聚焦的分析
摘要 _HkB+D0v @dp1bkU 高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
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(8/Qt\3jv 9dXtugp| 建模任务 {ei,>5K #3o]Qo[Sc
*,=WaODO % 概观 2e @zd\ %xWscA%^u
%*wOJx 光线追迹仿真 KV$J*B Y IfGQeynj •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 lj o^ 2 H<6/i@ly •点击Go! *|DIG{ •获得3D光线追迹结果。 =#c?g Wb56 !^*I?9P
VT&R1)c d^<a)>5h 光线追迹仿真 c(<,qWH :,^pL At (iZE}qf7g •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 }uE8o"q
•单击Go! ,lly=OhKb •结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。 {%;KkC8=R
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%Pb 5PIk4 ~CB6+t> 场追迹仿真
ToHCS/J59 d#9"_{P ]8X Y"2b •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 *0,?QS-a •单击Go! i-EFq@xl |,ZmRW^2K
=*YK6 $I7/FZP 场追迹结果(摄像机探测器) *QF3l0& *L9s7RR 5M{DJ/q •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 ReCmv/AE •下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 Hop$w Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 &!{wbm@ [z:bnS~yiD
dsP1Zq A2b
C5lA 场追迹结果(电磁场探测器) $e|G#mMd- 7FVu[Qu Yp`6305f •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。 nr>g0_%m Oifu ?f<r
/AR;O4X+ 文件信息
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