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infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 _HkB+D0v  
@dp1bkU  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 ,1g*0W^  
_I}rQfPJ  
(8/Qt\3jv  
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建模任务 {ei,>5K  
#3o]Qo[Sc  
*,=WaODO%  
概观 2e @zd\  
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%*wOJx  
光线追迹仿真 KV$J*B Y  
IfGQeynj  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 ljo^ 2  
H<6/i@ly  
•点击Go! *|DIG{  
•获得3D光线追迹结果。 =#c?g Wb56  
!^*I?9P  
VT&R1)c  
d^<a)>5h  
光线追迹仿真 c(<,qWH  
:,^pLAt  
(iZE}qf7 g  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 }uE8o"q  
•单击Go! ,lly=OhKb  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 ToHCS/J59  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 *0,?QS-a  
•单击Go!
i-EFq@xl  
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$I7/FZP  
场追迹结果(摄像机探测器) * QF3l0&  
*L9s7RR  
5M{ DJ/q  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 ReCmv/AE  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 Hop$w  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 &!{wbm@  
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A2b C5lA  
场追迹结果(电磁场探测器) $e|G#mMd-  
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Yp`6305f  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 0O>8DX  
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QQ:2987619807 EO,;^RtB  
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