首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> FRED,VirtualLab -> 高NA物镜聚焦的分析 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 .Vnb+o  
n:/!{.  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 l+P!I{n  
.-M5.1mo\(  
CE96e y  
i56Rdb  
建模任务 8CUtY9.  
iD|~$<9o  
Y=G`~2Pr=  
概观 upaP,ik}~  
dLb$3!3  
&(Fm@ksh\  
光线追迹仿真 qK d ="PR}  
t :YZua  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 EMO {u  
 EG`AkWy  
•点击Go! "J+L]IC?AD  
•获得3D光线追迹结果。 9AhA"+?  
77[TqRLf  
7afG4 (<k  
n5UUoBv  
光线追迹仿真 )2ShoFF  
AP,ZMpw  
Ya\:C]   
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 xJ{r9~  
•单击Go! [>a3` 0M  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
5Z; 5?\g  
LJPJENtFIs  
TCRTC0_}k  
NN'pBU R  
场追迹仿真 {v]L|e%{  
B <r0y  
ef '?O  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 : H;S"D  
•单击Go!
|}z5ST%  
duEXp]f!  
^P~,bO&H.Z  
K\%\p$ZD  
场追迹结果(摄像机探测器) &t<g K D  
5?`4qSUz  
 hO$Gx*e$  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 5|~g2Zz{;  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 "Tser*i )  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 /+%aSPQ  
K% FK  
'9WTz(0?  
"}xIt)n%;  
场追迹结果(电磁场探测器) `K+%/|!  
O-V] I0  
Q<AOc\oO  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
H ;=^ W  
bi+M28m  
?sdSi--  
文件信息 td%J.&K_*'  
)-5eIy  
)cizd^{  
AYY(<b  
zo@vuB.  
QQ:2987619807 P ah@d!%A  
查看本帖完整版本: [-- 高NA物镜聚焦的分析 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计