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infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 >sQf{uL  
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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 vhzz(UPUt  
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建模任务 5"bg 8hL  
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概观 y5XFJj  
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光线追迹仿真 t"OP*  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 .g94|P  
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•点击Go! ErFt5%FN.O  
•获得3D光线追迹结果。 QcX&q%*0  
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光线追迹仿真 :w)9 (5  
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•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 _Ud!tK*H  
•单击Go! ?1r<`o3l\  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 OzR<jCOS  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 nWh f  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) Z$%!H7w  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 f8G<5_!K_  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 4~8-^^  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 ?y__ Vrw  
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场追迹结果(电磁场探测器) ^ > ?C  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 nB]mj _)R^  
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QQ:2987619807 O[z6W.  
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