首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
FRED,VirtualLab
->
高NA物镜聚焦的分析
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2021-05-19 10:06
高NA物镜聚焦的分析
摘要
]5} =r
)ll}hGS
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
#%x4^A9 q
) .#,1
9m8`4%y=
,. E:mm
建模任务
esxU44
zf^!Zqn[8z
##FN0|e&
概观
(?~F}u v
X3q'x}{
gBrIqM i5
光线追迹仿真
`< VoZ/v
/LJ?JwAvg5
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
>yT:eG
*S;v406
•点击Go!
dmf~w_(7
•获得3D光线追迹结果。
.*v8*8OJ&
%1e`R*I
8;+t.{
r$*k-c9Bf
光线追迹仿真
ydBoZ3 }
\alRBH qE
9B<y w.
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
Q:tW LVE#0
•单击Go!
o.sa?*
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
A*@!tz<
.-nA#/2-
>6(nW:I0y
RN!oflb
场追迹仿真
haB$W 4x
Kx#G_N@
Km-lWreTH
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
e}7qZ^
•单击Go!
h/PWi<R i
5$N4<Lo7
-O -_F6p'D
{T=I~#LjMI
场追迹结果(摄像机探测器)
'0w'||#1
r@wWGbQ|L
]`+>{Sx 1
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。
@{~x:P5g
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。
u},<On
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
Z\TH=UA
#&&^5r-b-
KWU#Swa`
XnV|{X%]U
场追迹结果(电磁场探测器)
(\M&/X~q
<L:v2 8c
RYmk6w!w
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
O8n\>p kI
1\_4# @')
i7*4hYY
文件信息
m<r.sq&;
Z'!jZF~4p
aS:17+!
>|H=25N>;
^'[Rb!Q8
QQ:2987619807
@;Yb6&I;
查看本帖完整版本: [--
高NA物镜聚焦的分析
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2025
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计