首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> FRED,VirtualLab -> 高NA物镜聚焦的分析 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 soRY M  
7K HQ0  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 q@G}Hjn  
i[?VF\Y(  
@Di!~e6  
gyQPQ;"H$2  
建模任务 Hd\. ,2a"  
N%,zME  
67;6nXG0K  
概观 V|hwT^h  
S n<X   
(wFoI}s  
光线追迹仿真 \11+~  
i)]f0F  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 ]H aX.Z<  
g[R4/]K^$  
•点击Go! >=d 5Scix  
•获得3D光线追迹结果。 0x,**6  
7|o!v);uR  
UlWm). b;v  
gAh#H ?MM  
光线追迹仿真 &"?99E>  
yM}3u4FG  
P:_bF>r ?  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 M}j[{wW3  
•单击Go! ,J '_Vi  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
obGhO  
1 +s;a]-C  
!g`I*ZE+e  
73 4t  
场追迹仿真 @U4hq7xzV2  
D66NF;7q  
oeZUd}P  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 UdVf/ PGx  
•单击Go!
[mv!r-=  
LXWI'nxV  
-uu&{$  
d``wx}#Uk  
场追迹结果(摄像机探测器) Fg 8lX9L  
5 HsF#  
piH0_7qr  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 pGfGGY>i%  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 dF09_nw  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 sYo&@~T  
BzzZ.AH~  
ZW9OPwV  
?:M4GY" gV  
场追迹结果(电磁场探测器) Gov.;hy  
[Y$ TVwFwX  
.P`QCH;Ih  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
vBJxhK-  
0{uaSR  
)#8g<]q  
文件信息 xkw=os  
'l`prp3  
zd)QCq  
$qr6LIKGw  
!zm;C@}ln  
QQ:2987619807 Y8^ WuN$  
查看本帖完整版本: [-- 高NA物镜聚焦的分析 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计