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infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 @sb00ad2q  
7llEB*dSA  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 8 uhB&qxB  
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建模任务 m4@w M?  
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概观 j2|!h%{nI  
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光线追迹仿真 Pi|oO-M  
\it<]BN  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 7dU7cc  
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•点击Go! 0CO6-&F9n  
•获得3D光线追迹结果。 |tS~\_O/  
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光线追迹仿真 l+V5dZ8W  
}"?K Hy  
>(HUW^T/9z  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 !P26$US%P  
•单击Go! L:F:ZOM6`  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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Q-N.23\1  
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场追迹仿真  0-+`{j  
v)2@;Q  
7e"(]NC84  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 gB@Wv9 1  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) }a_: oR  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 ~ +$l9~`{  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 U-s6h;^ O  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 2h6F j&  
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)V}u1C-N  
`"CF/X^  
场追迹结果(电磁场探测器) V*'9yk"  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
2s6Hr;^w.1  
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文件信息 6CU8BDN  
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xI~\15PhG  
r/O(EW#=8  
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QQ:2987619807 D_9/|:N:  
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