首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> FRED,VirtualLab -> 高NA物镜聚焦的分析 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 uD?Rs`  
"Hk7s+%  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 $)eS Gslz  
H*P[tyz$  
+{#L,0t  
7GvMKtuSK  
建模任务 *c>B-Fo/D  
{rwT4]4  
Qff.QI,  
概观 ";;!c.!^  
N@Q_5t0bk  
\&l@rMD3s  
光线追迹仿真 ^zW=s$\Fo  
B1A:}#  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 ~9PZ/( '  
u@;e`-@  
•点击Go! I_ AFHrj  
•获得3D光线追迹结果。 91-[[<  
LLKYcy  
_'4S1  
K $WMrp  
光线追迹仿真 (I#mo2  
*I[tIO\  
G+2 ,x0(  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 ROXa/  
•单击Go! ]V)*WP#a  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
^wD`sj<Qg  
Z6-ZAS(>m  
l"7#(a  
5,4m_fBoW  
场追迹仿真 sm;kg=  
+* j8[sz  
?\)h2oi!F5  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 a`[9<AM1#  
•单击Go!
\._|_+HiW  
do*aE  
:[CEHRc7x  
h#c7v !g  
场追迹结果(摄像机探测器) J"Fp),  
Qm=iCZ|E^!  
WEJ-K<A(  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 'F#dv[N  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 l|{[vZpT  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 ]1pB7XL  
O"/Sv'|H#  
1 +Ue m  
IA{W-RRb  
场追迹结果(电磁场探测器) N:okt)q:%  
T"aE]4_  
#a2gRg  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
tj*/%G{Y  
?z <-Ww  
rL&Mq}7QK  
文件信息 ktS^^!,l%  
74a@/'WbE  
G%, RD}D  
+jK-k_  
2gZ nrU  
QQ:2987619807 n I&p.i6  
查看本帖完整版本: [-- 高NA物镜聚焦的分析 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计