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infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 5efxEt>U  
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高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 24Z]%+b*E  
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建模任务 *?yJkJ"  
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概观 hJ5z/5aE;  
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光线追迹仿真 .bf<<+'o  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 kC$&:\Rh  
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•点击Go! Ip}Vb6}  
•获得3D光线追迹结果。 _SZ5P>GIU  
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Bn]K+h\E  
光线追迹仿真 IGFGa@C  
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•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 {OT:3SS7  
•单击Go! 1u]P4Gf=  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 ^T4Ay=~{  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 TrE3S'EU#R  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) Cd#E"dY6  
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#~?kYCtC)  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 3+OsjZ  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 (UEXxUdQ_Q  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 =G-N` 39  
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场追迹结果(电磁场探测器) Az*KsY{/r  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 Ar, 9U9  
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p5 ]_}I`+2  
es.CLkuD7Y  
QQ:2987619807 e(\I_  
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