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infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 t.]c44RY  
h| ]BA}D  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。  !#Hca  
K$Yc!4M  
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建模任务 CJ 9tO#R  
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概观 _=oNQ  
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光线追迹仿真 ?$\y0lHw/7  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 k.CHMl]  
S&m5]h!D  
•点击Go! /DQcM.3  
•获得3D光线追迹结果。 2\1\Jn#q  
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dk9nhS+faJ  
C},$(2>0+  
光线追迹仿真 _ Oe|ZQ  
m K@a7fF?  
|~3$L\X  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 k&>l#oH  
•单击Go! kg_f;uk+  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 H9Pe,eHs  
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K-}'Fiq  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 "yCek  
•单击Go!
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Y; eJo  
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场追迹结果(摄像机探测器) m'%Z53&  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 I({ 7a i  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 %KmB>9  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 q[3b i!Q  
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场追迹结果(电磁场探测器) ab 1\nzpd  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 A{E0 a:v  
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QQ:2987619807 FK#>E[[  
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