首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> FRED,VirtualLab -> 高NA物镜聚焦的分析 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 kJG0X%+w  
'"o&BmF  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 @DA.$zn&  
s!F` 0=J^  
1JSKK.LuJV  
.z&,d&E  
建模任务 t{Xf3.  
\XT~5N6  
I\:(`)"r  
概观 Vo:Gp  
v* /}s :a  
|sklY0?l(  
光线追迹仿真 k1Thjt  
"qvJ-Y  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 ;$$.L bb8  
X*Cvh|  
•点击Go! UfAN)SE"  
•获得3D光线追迹结果。 J}37 9  
JN:EcVuy  
3lD1G~  
qJf=f3  
光线追迹仿真 Fy-N U  
OXCf  
<\C/;  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 B$@fE}  
•单击Go! <m!(eLm+B  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
E{B=%ZNnm  
w,v~  
U|}Bk/0.  
5zR9N>!c  
场追迹仿真 Jt}0%C3d  
Dhy@!EOS  
yCLDJ%8  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 "J(W)\  
•单击Go!
'2BE"e  
iF1E 5{dH  
OD\F*Ry~  
&]mZp&  
场追迹结果(摄像机探测器) 3iC$ "9!p  
/,m!S RJ  
s GdlS&08(  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 g8^YDrH  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 DEcsFC/SK  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 }HC6m{vH(  
Gcz@z1a=n  
C/L+gU&  
Fv(1A_~IS  
场追迹结果(电磁场探测器) i1E~F  
~xSAR;8  
2IGoAt>V  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
Bw;LGEHi|  
quEP"  
E=9xiS  
文件信息 2Yt+[T*  
V<%eWT)x7C  
bm:"&U*tu'  
jR[3{ Reo  
6*]g~)7`Q~  
QQ:2987619807 sWc_,[b  
查看本帖完整版本: [-- 高NA物镜聚焦的分析 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计