首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
FRED,VirtualLab
->
高NA物镜聚焦的分析
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2021-05-19 10:06
高NA物镜聚焦的分析
摘要
TBrAYEk
i+Ob1B@w
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
mL18FR N
.eK1xwhJ
Xdq2 .:\
b(;"p-^
建模任务
;7tOFsV
w v9s{I{P
!ny;YV
概观
$-M1<?5
XuoI19V[
[M@i,d-;A
光线追迹仿真
92+({ fgW
g^}X3NUn
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
eem.lVVD
V1xpJ
•点击Go!
hSp[BsF`,
•获得3D光线追迹结果。
Dn<2.!ZKQ
"*kWM
NAx( Qi3
<4C`^p
光线追迹仿真
*G'zES0x
<kPU*P,
R:0Fv9bwS
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
;# {XNq<1
•单击Go!
_ nS';48
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
[q9TTJ@2
f*2V
i3rvDch
0*B_$E06
场追迹仿真
1nBE8 N
D'|#5>G
84e)huAs
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
F{bET
•单击Go!
}Jjq] lW
!COaPrg
u9N?B* &{
YAC=V?U-#
场追迹结果(摄像机探测器)
Fr/8q:m&
azF"tke
HEht^/pJ
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。
?n? Ep [D
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。
J@(*(oQb
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
5p U(A6RtS
fHlmy[V+M
Rj^bZ%t
{LR?#.
场追迹结果(电磁场探测器)
g#9KG
lv&<kYWY
u2 -%~Rlo
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
m-*du(
-t:yy:4
?!Rlp/
文件信息
A~h.,<+"
%mtW-drv>
sBZKf8 @/
x4.-7%VV%
y9Yh%M(
QQ:2987619807
3::DURkjf
查看本帖完整版本: [--
高NA物镜聚焦的分析
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2025
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计