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infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 'F$l{iR  
T QSzx%i2  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 #7 q7PYG4  
LS88.w\=S@  
#>mr[   
E~gyy]8&  
建模任务 wT:b\km:!  
Ft;^g3N  
j{9D{  
概观 [`rba'  
h >s!K9  
h?8]C#6^  
光线追迹仿真 h9Y%{v  
,~OwLWi-|X  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 Ko&>C_N  
o\3L}Y  
•点击Go! MgNU``  
•获得3D光线追迹结果。 D(H>R&b!  
<F=xtyl7  
5&q8g;XiEM  
Ju :CMkv  
光线追迹仿真 P:aJ#  
@qnD=mE  
e[ /dv)J  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 L"j tf78  
•单击Go! 30.@g[~  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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场追迹仿真 /O^RF}  
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•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 t{WzKy  
•单击Go!
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2U:H545]]  
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场追迹结果(摄像机探测器) T<w5vqFDu  
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 $W9{P;  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 7e#?e+5+A  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 JZD[NZ<  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 j.L-{6_s>~  
H+ 0$tHi  
de;GrPLAi  
0 Emr<n  
场追迹结果(电磁场探测器) =UJ:tSr  
QZ:8+[oy  
>ey\jDr#O  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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0;:.B j  
75T7+:p  
文件信息 @g$Gti  
:SGF45>B@  
mqAWL:VvQ7  
v {jQek4  
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QQ:2987619807 SOi*SwQ8  
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