首页
->
登录
->
注册
->
回复主题
->
发表主题
光行天下
->
FRED,VirtualLab
->
高NA物镜聚焦的分析
[点此返回论坛查看本帖完整版本]
[打印本页]
infotek
2021-05-19 10:06
高NA物镜聚焦的分析
摘要
uidoz f2}
-RI&uFqOI
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。
Be;l!]i
D4Z7j\3a
jEMnre3/
6v?tZ&, G
建模任务
[[s^rC<d
5J~@jPU
P1_6:USBM
概观
JCjV,
<g$b M;6%
>1BDt:G36
光线追迹仿真
Sc14F Fs
x~?|bnM#3
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。
b?,''t
eNDc220b
•点击Go!
P" aw--f(
•获得3D光线追迹结果。
Esdv+f}4;
JD)wxoeg
+8}8b_bgH
M~U>"kX
光线追迹仿真
\*mKctpz]6
V~7Oa2'#B
a(_3271
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。
8;i'dF:)
•单击Go!
uoq|l
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
>p29|TFbV
ZMEYF!jN
LIRL`xU7
Wb#ON|.2
场追迹仿真
%GigRA@no
xJ^pqb
w|U7pUz
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。
b6^#{))"
•单击Go!
)U+&XjK
rT'<6]`
2{01i)2 y
K7},X01^
场追迹结果(摄像机探测器)
&ER,;^H`6
V4. }wz_Y
`aM8L
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。
A}CpyRVCn
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。
l j %k/u
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
&!?qSi~V
xeSv+I-b
0E`6g6xMS
H8$";T(I
场追迹结果(电磁场探测器)
Ip*[H#h
trg&^{D<
HE*P0Yf=
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
^ =RSoR
baib_-$
(^= Hq'D
文件信息
0@2pw2{Ru
G2hBJTW
\?NT,t=3J
* TR~>|
,E8~^\HV
QQ:2987619807
bn8?-
查看本帖完整版本: [--
高NA物镜聚焦的分析
--] [--
top
--]
Copyright © 2005-2025
光行天下
蜀ICP备06003254号-1
网站统计