首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> FRED,VirtualLab -> 高NA物镜聚焦的分析 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 Q /\Hc  
:YZMR JL  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 aG\B?pn-  
bga2{<VF  
tMy@'nj  
b%,`;hy{  
建模任务 ;q$O^r~  
v<Ux+-  
o,RLaS,BK'  
概观 uJ$!lyJ6L  
>j$CM:w  
JEes'H}Y  
光线追迹仿真 Gwkp(9d  
89)rss  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 ?Yp: h  
"GofQ5,|  
•点击Go! -.E<~(fad  
•获得3D光线追迹结果。 $Mp#tH28  
^T|~L<A3  
qcfLA~y  
vQ}llA h  
光线追迹仿真 Ofg-gCF8  
!(Y23w*  
,9p 4(jjX  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 IPnbR)[%  
•单击Go! wy$9QN  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
f+huhJS5e  
cf0D q~G  
_`zj^*%  
>2~q{e  
场追迹仿真 ( Qw"^lE3  
I%whM~M1+  
/wL}+  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 3B|o   
•单击Go!
/ %U+kW  
~V"D|U;i +  
``}EbOMG  
6nRD:CH)X  
场追迹结果(摄像机探测器) *eytr#0B-  
<gKT7ONtg  
fG5U' Vw  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 Pz1pEyuL  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 ,!3G  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 p/xxoU  
/AP@Bhm  
A|8(3PiP  
=x~HcsJ8!R  
场追迹结果(电磁场探测器) _{6QvD3kg.  
kQ~*iY  
gfs?H#  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
#|34(ML  
W@1Nit-R  
ucyz>TL0  
文件信息 5 d S5,  
A5zT^!`[  
[dL4u^]{  
^'~+w3M@  
Bls\)$  
QQ:2987619807 WLEjRx  
查看本帖完整版本: [-- 高NA物镜聚焦的分析 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计