首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> FRED,VirtualLab -> 高NA物镜聚焦的分析 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 ){~.jP=-#  
xOlkG*3c  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 lB-7.  
AJ mzg  
!T)>q%@ai  
5**xU+&  
建模任务 JZ [&:  
25r=Xv  
^=j$~*(LmX  
概观 U$}]zaB  
y-mmc}B>N  
+Gko[<  
光线追迹仿真 fz*6 B NJ  
2NM} u\%c/  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 5ZLH=8L  
B=7L+6  
•点击Go! c-F&4V  
•获得3D光线追迹结果。 nYHk~<a  
FgxQ}VvlH  
[sBD|P;M  
`4MPXfoBL  
光线追迹仿真 RD^o&VXO  
(;N_lF0  
vjb{h'v  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。  <_~`)t  
•单击Go! Nbda P{{  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
Ue7~rPdlR  
?(z3/ "g]  
Qa=;Elp:[  
bZ)Jgz  
场追迹仿真 F`l1I=;  
R0>L[1o  
BshS@"8r  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 %PpB$  
•单击Go!
<Ip}uy[Y  
6m9Z5:xG  
.Kx5Kh {  
Rs dACP   
场追迹结果(摄像机探测器) >}iYZ[ V  
ZHT.+X:_  
Kf*+Ilq%L  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 Lqt]  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 hikun 2  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 ;]gph)2cd  
+q1@,LxN  
\*7Tj-#  
\K=Jd#9c  
场追迹结果(电磁场探测器) .._wTOSq  
ev>: 3_ s  
"2)T=vHi#  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
^U52 *6  
nxG vh4'i8  
E4P P& '  
文件信息 F~m tE8B:  
+XsY*$O  
vR-/c  
~o+u:]  
1.+MX(w  
QQ:2987619807 qVf~\H@  
查看本帖完整版本: [-- 高NA物镜聚焦的分析 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计