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infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 Mk-Rl  
0WjPo  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 85Hb~|0  
FB-_a  
ARD&L$AX  
dsh S+d  
建模任务 IC6}s  
`2M`;$~ 5  
-m.SN>V  
概观 Gg3cY{7  
6] ~g*]T  
FYe(S V(9  
光线追迹仿真 Ris5) *7  
nM)q;9-ni  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 $]G_^ji)K  
%S<0l@=5`l  
•点击Go! 1Ue;hu'q:  
•获得3D光线追迹结果。 PV*U4aP  
u5, \Kz  
0pSqk/  
@GB~rfB[  
光线追迹仿真 kAEm#oz=g  
#sOkD  
0koC;(<n  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 .5',w"R  
•单击Go! #N=!O/Y  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
PN!NB.  
`(r [BV|h}  
3}@!TI  
jORU+g  
场追迹仿真 RE72%w(oM  
n6PXPc  
J~6-}z   
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 c({V[eGY  
•单击Go!
u'o."J^&'  
~f[AEE~,s+  
36<PI'l#~  
p/4\O  
场追迹结果(摄像机探测器) R).?lnS  
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poqcoSL"}  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 a)+;<GZ~  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 ,~@Nhd~k  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 <5s51b <  
iUv#oX H  
ay\e# )  
!^dvtv`K  
场追迹结果(电磁场探测器) Q0)6 2[cMm  
K[%)_KW  
- I$qe Xy  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
~bp^Q| wM  
v'"0Ya  
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文件信息 wt;7+  
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(p2jigP7a[  
QQ:2987619807 #K|:BS  
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