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infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 ]5} =r  
)ll}hGS  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 #%x4^A9 q  
 ) .#,1  
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建模任务 esxU44  
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##FN0|e&  
概观 (?~F}u v  
X3q'x}{  
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光线追迹仿真 `< VoZ/v  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 >yT:eG  
*S ;v406  
•点击Go! dmf~w_(7  
•获得3D光线追迹结果。 .*v8*8OJ&  
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光线追迹仿真 ydBoZ3}  
\alRBHqE  
9B<y w.  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 Q:tW LVE#0  
•单击Go! o.sa ?*  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
A*@!tz<  
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RN!oflb  
场追迹仿真 haB$W 4x  
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Km-lWreTH  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 e}7qZ^  
•单击Go!
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5$N4< Lo7  
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{T=I~#LjMI  
场追迹结果(摄像机探测器) '0w'||#1  
r@wWGbQ|L  
]`+>{Sx 1  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 @{~x:P5g  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 u},<On  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 Z\TH=UA  
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KWU#Swa`  
XnV|{X%]U  
场追迹结果(电磁场探测器) (\M&/X~q  
<L:v28c  
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•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 m<r.sq&;  
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QQ:2987619807 @;Yb6&I;  
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