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infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 (DIMt-wz  
gAudL)X  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 3wYhDxY1  
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建模任务 zhC#<  
APJVD-  
(y^svXU}a  
概观 On~w`  
S4Q fx6:~h  
yC:C  
光线追迹仿真 L^FQ|?*  
r`\6+Ntb.  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 Q)/oU\  
1CR)1H  
•点击Go! 4=nh' U38  
•获得3D光线追迹结果。 8C=8Wjm  
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光线追迹仿真 X:>,3[hx|  
Z#t}yC%^d  
BhzcimC)  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 ?:Sqh1-z  
•单击Go! =c ;.cW  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
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D~zk2  
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场追迹仿真 gSk0#Jt  
X/f?=U  
mhgvN-? "h  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 Rn$TYCO  
•单击Go!
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场追迹结果(摄像机探测器) <u}[_  
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•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 qQwf#&  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 X?$"dqA  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 Gm[XnUR7V  
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场追迹结果(电磁场探测器) ew&"n2r  
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,: Ij@u>)  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
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文件信息 ] Jnrs  
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QQ:2987619807 bl-D{)X  
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