首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> FRED,VirtualLab -> 高NA物镜聚焦的分析 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2021-05-19 10:06

高NA物镜聚焦的分析

摘要 z#srgyLt  
$_u)~O4$  
高NA物镜广泛用于光学光刻,显微镜等。因此,在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,可以让用户深入了解矢量效应。 (+.R8  
+Y440Tz  
gYa (-o  
 B"Ttr+  
建模任务 +{&++^(}a  
6;}W)S  
a q]bF%7  
概观 wGx*Xy1n<  
X8   
'zx1kq1  
光线追迹仿真 j.g9O]pi  
h~.z[  
•首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为仿真引擎。 MY z\ R \  
'n7Ld6%1  
•点击Go! `j(-y`fo  
•获得3D光线追迹结果。 e-YMFJtoK}  
|BE`ASW;  
Q|nGY:98  
)C#b83  
光线追迹仿真 u\}"l2 r  
 kSU]~x  
!WQS.&  
•然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为仿真引擎。 8i?:aN[.1b  
•单击Go! u|M_O5^  
•结果,获得点列图(2D光线追迹结果)。
S0p[Kt  
~|=goHmm[  
5c6?$v /  
f _*F&-L  
场追迹仿真 :eW`El  
c>yqq'  
nQ^ c{Bm:  
•切换到场追迹并选择“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为仿真引擎。 ^ub@ Jwe  
•单击Go!
bv4G!21]*;  
^Z:qlYZ  
FKk.BA957h  
 ^#&:-4/  
场追迹结果(摄像机探测器) .WT ar9e#  
{|/y/xYgy'  
Ce!xa\  
•上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 &bT \4  
•下图显示整合了Ex,Ey和Ez分量的强度。 yDe#,|-p  
Ez分量:由于在高NA情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。 z3Q#Wmv2  
rnS&^  
N9gbj%+  
@0U={qX  
场追迹结果(电磁场探测器) fHR^?\VVp  
)~H&YINhn  
3.<E{E!F  
•所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。
0iTh |K0  
>}6V=r3[+  
b]xE^zM-I`  
文件信息 Tt\G y  
=p 7eP  
b*W01ist  
<5:`tC2  
Zsx\GeE%:  
QQ:2987619807 8AuOe7D9A  
查看本帖完整版本: [-- 高NA物镜聚焦的分析 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2026 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计