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2021-05-11 10:54 |
使用界面配置光栅结构
摘要 K_;?Sr= Moi>Dp 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 ]
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CUft 本用例展示了...... ?5EMDawt •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: X@/wsW(kM\ - 矩形光栅界面 c0_512 - 过渡点列表界面 [Kb)Q{=) - 锯齿光栅界面 YllW2g: - 正弦光栅界面 ?\<Kb|Q •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 '*`1uomeo 5!57<n 光栅工具箱初始化 f%P#. •初始化 <2LUq@Pg - 开始 {+gK\Nz 光栅 RF~c/en 通用光栅光路图 ?9T,sX: •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, ;0Ih:YY6 可直接选择特定的光路图。 0OnqKgf n8q%>.i7
Y+EwBg)co _+Uf5,.5yU 光栅结构设置 7p{2&YhB •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 ,8DjQz0ZPo
\=(U tro •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 }!WuJz" •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 X1Kze I@1VX5
/1hcw|cfC #qEUGD` •例如,选择第一个界面上的堆栈。 N`vPt?@ Pb7-pu5X 堆栈编辑器 1NAtg*` •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 A8ClkLC;I •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 l HZ4N{n )-i (%;,*e
"&\]1A}Z-x HzZX=c 矩形光栅界面 ei[, ug' NRs%q}lX •一种可能的界面是矩形光栅界面。 JNI&]3[C>? •此类界面适用于简单二元结构的配置。 '=UsN_@ •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 =05jjR1 •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 //#]CsFiP •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 xz}=C:s tU-jtJ
rWp+kV[Ec> O5JG!bGE_F 矩形光栅界面 |W SvAM3 •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 &qm:36Y7Xg •所选界面在视图中以红色突出显示。 - ysd`&
mvyOwM •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 {dvsZJj •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 ?cD_\~
g7K<"Z {M •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 D Z=OZ.v •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 gv,%5r0YOw •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 D ~NWP%H fBPJ8VY
-B:O0;f ^ E3 HY@j
}vW3<|z 'uLYah 矩形光栅界面参数 V&d?4i4/Q •矩形光栅界面由以下参数定义 Rm@F9D[, - 狭缝宽度(绝对或相对) f'u[G?C - 光栅周期 q94*2@KV - 调制深度 ,u •可以选择设置横向移位和旋转。 I!~3xZ B_0]$D0
^
'>% c@C[ )GJlQ1x 高级选项和信息 sV`XJ9e| •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 D^w<V%]. •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 !jN$U%/,%. •可以设置总级次数或衰逝波级次数 9<*<-x{A17 (evanescent orders)。 4$4n9`odE •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 /O$)m[ •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 dkOERVRe 7 '7a`-W
*
Vymb jq+:&8!8(e •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 {ALOs^_- •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 @C5%`{\ •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 )h;zH,DA[3 •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 21\?FQrz d6"B_,*b
15!b]': =L}$#Y8? 过渡点列表界面 Ijs=4f •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 *q(HW •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 L9 H.DNA •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 tOw[
ZmJHLn[B 20mZ{_% 过渡点列表参数 ^r~R]stE^ •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 uszMzO~ •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 8?k.4{? hFt ~7R
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xp _ 4+=S)$ •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 :,=Z)e •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 7>|p_o`e •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 u5dyhx7 IR*:i{
4(\7Or('' |n.ydyu` 高级选项及信息 tqK}KL •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 ^ px)W,O $a+)v#?,
&E8fd/s=k y1hJVYE2 正弦光栅界面 7)au#K6 •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 .t9zF-jk •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 }@wXm •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: [{9&KjI0K - 脊的材料:基板的材料 lpeo^Y}N - 凹槽材料:光栅前面的材料 `z3"zso @7<m.?A!
`G.:G/b%H GE.@*W 正弦光栅界面参数 UHUO9h - 正弦光栅界面也由以下参数定义: 6 0Obek` •光栅周期 NbW5a3= •调制深度 Y{ 2xokJ N - 可以选择设置横向移位和旋转。 b1qli5 - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 zs@[!?A, <x2 F5$@
$Uxg$p qO J'y*>dW 高级选项和信息 quw:4W> •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 -2Azpeh s
*1%I$=@
wH[}@ w dbLxm!;( 高级选项及信息 6 _\j_$ •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 ~j2=hkS
7?JcB?G4
A?829< 锯齿光栅界面 1
+'HKT} •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 8?7:sfc •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 4\yKd8I •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: +,$"%C - 脊的材料:基板的材料 ,W/D 0 - 凹槽材料:光栅前面的材料 >#\&%0OZw in6iJ*E@'
MhpR^VM'. l?%U*~* 锯齿光栅界面参数 D`^9
u
K •锯齿光栅界面也由以下参数定义: L&nGjC+Lr - 光栅周期 \W6|un - 调制深度 ZVek`Cc2 •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 XP-4=0 zd •可以选择设置横向移位和旋转。 9jwo f}OU •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 /aB9pD+% 5&r2 | |