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infotek 2021-05-11 10:35

JCMSuite应用--线型光栅

Y7L1`<SC  
这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下,线型的横截面具有梯形形状,它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。 ^CtA@4  
XSDudL  
光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。 d#OE) ,`  
S偏振照明的近场强度
v_s(  
P偏振照明的近场强度 =yy7P[D  
傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 .V.x0  
MNzWTn@  
参数扫描 {YoK63b$  
}vGW lNd#g  
Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 NZh\{!  
S.$/uDwo  
它会生成以下曲线图,显示反射和透射衍射级的强度: b+rn:R  
]= EYju@  
在脚本data_analysis/run_can_width.m中,线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化,照明角度固定。 mO1r~-~AJ  
2 &+Nr+P  
QQ:2987619807
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