infotek |
2021-05-11 10:35 |
JCMSuite应用--线型光栅
Y7L1`<SC 这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下,线型的横截面具有梯形形状,它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。 ^CtA@4 XSDudL 光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。 d#OE) ,`
S偏振照明的近场强度 v_s(
P偏振照明的近场强度 =yy7P[D 傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 .V.x0 MNzWTn@ 参数扫描 {YoK63b$ }vGWlNd#g Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 NZh\{! S.$/uDwo 它会生成以下曲线图,显示反射和透射衍射级的强度: b+rn:R ]=EYju@ 在脚本data_analysis/run_can_width.m中,线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化,照明角度固定。 mO1r~-~AJ
2&+Nr+P
QQ:2987619807
|
|