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infotek 2021-05-11 10:35

JCMSuite应用--线型光栅

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这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下,线型的横截面具有梯形形状,它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。 i2U/RXu  
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光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。 1V\1]J/  
S偏振照明的近场强度
T#/11M$uQ  
P偏振照明的近场强度 XJ _%!  
傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 @M9_j{A  
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参数扫描 b2W;|  
"|\94  
Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 &#%D.@L  
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它会生成以下曲线图,显示反射和透射衍射级的强度: !Am =v=>  
R<t&F\>  
在脚本data_analysis/run_can_width.m中,线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化,照明角度固定。 l2r>|CGQ[  
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QQ:2987619807
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