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2021-05-11 10:35 |
JCMSuite应用--线型光栅
E>l#0Zw 这是一个一维周期线光栅的简单例子。周期单元包含了光栅的2D横截面。在这种情况下,线型的横截面具有梯形形状,它位于衬底上并被背景材料包围。示例中的材质选择为铬(线)、玻璃(衬底)和空气(背景)。 Q>SPV8s C;58z5*, 光栅由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite计算近场分布。下图显示了从衬底一侧以193 nm波长垂直入射的结构内的近场强度。 %9~kA5Qj
S偏振照明的近场强度 %T&&x2p^=?
P偏振照明的近场强度 nK?k< 傅立叶变换后处理计算透射衍射级的振幅。 fw(j6:p (x1"uy7_ 参数扫描 }6uV]V{ 323yAF Matlab®脚本data_analysis/run_can_illlightation.m提供对入射角度的扫描。 =\Tud-1Z k2_6<v
Z 它会生成以下曲线图,显示反射和透射衍射级的强度: ?vht~5' +s+PnZ%0V 在脚本data_analysis/run_can_width.m中,线条的宽度在150 nm到250 nm之间变化,照明角度固定。 np'M4^E;
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