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镀膜倾斜光栅
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infotek
2021-04-29 10:12
镀膜倾斜光栅
镀膜倾斜光栅通过
VirtualLab
的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(
Parameter Run
)进行分析。
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@Hspg^
关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(
Parameter Run
)
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所需工具:
Grating Toolbox Basic
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镀膜倾斜光栅
目标平面
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周期:
10um
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厚度:
10um
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倾斜角度:
20
度
Eu`2w%qz
cW81
光栅的参数
J^ +_8
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—倾斜角度
1
—(光栅)前面的介质
TRs[ ~K)n
—填充因子
2
—后面的介质
'L>&ZgLy
—膜层厚度
3
—膜层材料
86;+r'3p.
—光栅厚度
h.4qlx|
5 `4}A%@&
6)=](VmNL`
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Qa,NGP.
Gt^|+[gD
设置层数和转折点
8BYIxHHz
egZyng pB
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2
设置层数和转折点以确定膜层
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可以通过
Structure Preview
按钮查看
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实现可编程光栅
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参数运行
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参数运行
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双击
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采样结果
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可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略.
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QQ:2284816954 备注:光学
jxwhunu
2021-06-10 08:47
学习了,谢谢
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