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infotek 2021-04-29 10:12

镀膜倾斜光栅

镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 L=Q- r[  
yOGa W~  
关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run qn#\ro1H  
[1'`KJ]  
所需工具:Grating Toolbox Basic 4^VY  
|n3PznV  
相关TutorialsG.001; G.014 TSmuNCR  
建模任务 `,4"[6S  
Z.$ncP0s  
理想平面波照射 ~zFs/(k  
-<a~kVv  
="RDcf/  
0 ]U ;5  
Xvm.Un< N  
)JTh=w4n|z  
镀膜倾斜光栅          目标平面 Nhn5 iN1*  
'i_od|19~h  
周期:10um 5.#r\' Z#  
厚度:10um vV-ATIf ^  
倾斜角度:20 {IJV(%E   
7rc^-!k  
光栅的参数 )h,+>U@  
Lw?4xerLsb  
—倾斜角度                           1—(光栅)前面的介质 x&tad+T  
—填充因子                           2—后面的介质     db:b%1hk:  
—膜层厚度                           3—膜层材料 Mi9A%ZmP  
—光栅厚度 7am._K  
tt,MO)8 VD  
IP$^)t[  
too=+'<N</  
-*k%'Gr  
5[esW  
设置层数和转折点 7_d gQI3y  
{*As-Y:'F  
Vp\BNq_!s  
2       设置层数和转折点以确定膜层 /}r%DND'  
*nluK  
RS#)uC5/%  
2       可以通过Structure Preview 按钮查看 gAC}  
(tP>z+  
0tm%Kd  
实现可编程光栅 NTuS(7m  
z)=D&\HX  
tX cc#!'4C  
wt[MzpRP  
`&b 8wF  
?3kfh R  
参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) ej47'#EY  
b-U LoV  
o8BbSZVu  
参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) n`? j. s  
F*o{dLJ)  
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"X g@X5BG  
uO>$,s  
   FAJ\9  
参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) 5Y#yz>B@ ]  
;FQAL@"Yj  
R8F[ 7&(  
2       双击Data Series Diagram ooref orr  
s\1h=V)!H  
采样结果 bv5,Yk  
:h=];^/E  
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略.
l|^p;z: d  
E< "aUnI  
QQ:2284816954 备注:光学
jxwhunu 2021-06-10 08:47
学习了,谢谢
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