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infotek 2021-04-29 10:12

镀膜倾斜光栅

镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 z?Qt%1q  
fC!+"g55  
关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） {WN??eys,  
Xv?'*2J  
所需工具：Grating Toolbox Basic 8% `Jf`  
<jtu/U]78|  
相关Tutorials：G.001; G.014 mW_ N-z  
建模任务 P{o/ /M  
IW- BY =C  
理想平面波照射 'v_VyK*w  
N.|uPq$R  
2[Vs@X  
[ h~#5x  
o;7_*=i  
Ap9 %5:]  
镀膜倾斜光栅          目标平面 ^3w >:4m  
_kJW/3eE  
周期：10um 4'U #<8  
厚度：10um o :_'R5  
倾斜角度：20度 LLW xzu!<  
\,yX3R3}.~  
光栅的参数 ^y3snuLtE  
/|aD,JVN"  
—倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 4%,E;fB?=  
—填充因子                           2—后面的介质     pXq5|,aC  
—膜层厚度                           3—膜层材料 UN7J6$!Cx7  
—光栅厚度 7N I~47s|v  
`T~~yM)q  
ky |Py  
VXIB9 /*i  
 Yp8GW1@  
J?84WS  
设置层数和转折点 H<bB@(i  
zua=E2  
K*fh`Kz  
2       设置层数和转折点以确定膜层 yfCdK-9+B  
o%$'-N  
H?W8_XiN  
2       可以通过Structure Preview 按钮查看 PxiJ R[a  
E6mwvrm8  
Pq)C(Z  
实现可编程光栅 LFT)_DG7(  
,pMH`  
fKjUEMRK  
|% xgob  
 KL6FmL)HH  
)H`1CcT  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 89X`U)Ws  
)TV{n#n  
X!ad~bt  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 8^ezqd`  
<zhN7="  
#JIh-h@  
v35=4>Y  
'+*{u]\  
   Kzz]ZO*3  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ibIo1i//[  
f*& 4d  
^YwTO/Q|  
2       双击Data Series Diagram C AvyS  
WwBs_OMc  
采样结果 TSHQ>kP  
szW85{<+  
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. ?7"6d p_K  
5$.e5y<&(  
QQ：2284816954 备注：光学
jxwhunu 2021-06-10 08:47
学习了，谢谢
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