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镀膜倾斜光栅
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infotek
2021-04-29 10:12
镀膜倾斜光栅
镀膜倾斜光栅通过
VirtualLab
的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(
Parameter Run
)进行分析。
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K~ ,|~
关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(
Parameter Run
)
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所需工具:
Grating Toolbox Basic
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理想平面波照射
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镀膜倾斜光栅
目标平面
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周期:
10um
dp`xyBQ3
厚度:
10um
ah<1&UG,
倾斜角度:
20
度
rMXIw
9ZvBsG)
光栅的参数
h/~:}Bof
j !^Tw.Ty
—倾斜角度
1
—(光栅)前面的介质
3ThBy'
—填充因子
2
—后面的介质
Y.` {]rC
—膜层厚度
3
—膜层材料
2VmQ%y6e"
—光栅厚度
uD4=1g6[s
aEUC
VD[x}8ei
MuNM)pyxp
kk]f*[Zi5
,M2u (9
设置层数和转折点
dxqVZksg(9
1d/-SxhZ
+|}R^x`z
2
设置层数和转折点以确定膜层
tHNvb\MR$
bwh7.lDAl
n]M1'yU
2
可以通过
Structure Preview
按钮查看
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实现可编程光栅
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参数运行
Parameter Run
(绕
y-
轴旋转)
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参数运行
Parameter Run
(绕
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轴旋转)
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参数运行
Parameter Run
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轴旋转)
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2
双击
Data Series Diagram
WelB+P2
(H *-b4]/
采样结果
gLv|Hu7
4 -)'a} O
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略.
`-zdjc d
9xWC<i
QQ:2284816954 备注:光学
jxwhunu
2021-06-10 08:47
学习了,谢谢
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