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二维周期光栅结构的配置
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infotek
2021-04-20 11:10
二维周期光栅结构的配置
摘要
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8]mRX~
复杂光学光栅结构被广泛用于多种应用,如光谱仪、近眼显示系统等。利用傅里叶模态法(FMM,或称RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一种用于任意光栅结构严格分析的简单方法。利用图形用户界面,用户可以设置堆栈的几何形状,从而产生复杂的光栅结构。本案例主要集中于具有二维周期光栅结构的配置。
-AN5LE9-
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1. 本案例主要说明
:
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如何在光栅工具箱中配置二维光栅结构,通过:
UD=[::##
- 基于介质的定义类型
2HO2
- 基于表面的定义类型
[y~kF?a
计算前如何改变高级选型并检查定义的结构。
S!rVq,| d
注意:在VirtualLab中,具有二维周期性的光栅结构称作3D光栅。因此,层状光栅(一维光栅)被称为2D光栅。
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2. 光栅工具箱初始化
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初始化
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- 开始→
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光栅→
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一般光栅光路图(3D光栅)
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uFA}w:Fm
MOPHu O{^
注意:对于特殊类型的光栅,如柱状光栅,可以直接选择特定的光路图。
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%(|-+cLW+
3. 光栅结构配置
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首先,必须先定义基底的厚度与材料
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在VirtualLab中,光栅结构有一个所谓的堆栈进行定义
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堆栈可以附属在基底的一侧或两侧。
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例如,堆栈选择附属在第一表面。
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基于介质的定义类型
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(例如:柱状光栅)
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