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光栅起偏器的参数优化
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infotek
2021-04-16 10:38
光栅起偏器的参数优化
案例315.01:光栅起偏器的参数优化
.^=I&X/P
Jy}~ZY
这个案例说明了对于一个用于VIS光起偏的亚波长光栅的参数优化过程。
$#n9C79Z@
%>+lr%B
关键词:参数优化,光栅,起偏器,亚波长
x^)?V7[t
^GM3nx$
所需工具箱:高级光栅工具箱
`T+>E0H(f
GFPrK9T
相关案例:100.01,101.01
M x,5
C TG^lms
相关教程和技术说明:Tutorial 101.01, TN.021
W f"$
'+$r7?dKP
建模任务:
+pT;; 9
p<dw C"z
平面波入射周期为200nm的镀铬线性矩形光栅,基底为融石英,产生TE模的起偏。
+-;v+{
0$`pYW]
J&'*N:d
优化目标:
{ST8'hY
Gev\bQa
—TE模偏振光的透过率最大化
~.^:?yCA
cu?6\@cD
—TM模偏振光的透过率最小化
}*9F `=%F
rU9")4sQ
优化函数:
um$U3'0e
1t/c@YUTy
—最小化TE的透过率
Y9f7~w^s
<?KgzIq2
—最小化偏振度(要求>50:1)
sx+k V A
rN#9p+t$
c%,ky$'18
9:RV5Dt
—使用力优先级使TE透过率的均匀误差最小化
y=\&z&3$
4Yok,<
GNmP_N
6@#=z
优化的自由变量为:
T;Kv<G;
}T}c%p
—缝宽:10—190mm
+fozE?
*$VeR(QN
—光栅深度:20—200nm
]5*H/8Ke7
7Tr '<(A
优化算法:
6w3[PNd
)N^fSenFBn
—使用Parameter run 进行一个全波长的全局搜索使得TE透过率的最大值最小同时使得偏振对比度的最大值最低。全局搜索不是强制的,但是它帮助确定在几个最大值和最小值之间确定优化参数的起始点。
9fbo
—参数优化使用下山简法(局部优化)和模拟退火法(全局优化)。参数优化使得找到在偏振对比度和TE透过率之间的一种平衡。
2.);OFk+
|]q{qsy
光路流程图和偏振分析器:
:+9. v
S]fkA6v
偏振光栅的光路流程图存储在文件“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_01”中。
l#ct;KZ
&=%M("IlD
对于给定的波长范围,偏振分析器被用来计算相关偏振方向的最大和最小值。并可以计算 和 的反射或透射的最大和最小值。像偏振对比度这样高级的优化函数也可以被计算出来。
SLkgIb~'X
f9_Pn'"I
Parameter Run 的全局搜索:
_z]v;Q
mg70%=qM0f
Parameter Run文件存储在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_02”中。
fOSJdX0e|Q
L28wT)D-
Parameter Run 设置
dwvc;f-
X eis_
缝宽:10—19nm 步长10nm;
*}HDq(/>w
Gz\wmH&rVz
规划深度:20——200nm 步长10nm;
)knK'H (
KTo}xLT
使用扫描模块进行所有参数的整合研究。
9@M;\ @&g
""V\hHdp
在自由参数模块中选择深度和缝宽。
e5FF'~A%]
BB1_EdoG
使用扫描模块进行参数联合调查。
j}@LiH'Q
优化函数依据迭代次数进行显示:
Vfq-H /+
a&mL Dh/
左图显示了最小化TE透过率,右图显示了最小化偏振对比度。
kJ.7C
fE|"g'
TE透过率和偏振对比度对于不同参数设置已经达到了最大化。
YyYp-0#
Rdj3dg'<
参数构成:
7S=]@*
Wa?\W&
缝宽50nm,规划深度200nm;最小TE透过率72.7%;最小偏振对比度62;TE透过率均匀误差7%;
W1M Bk[:Q
HuA4eJ(2
-DZ5nx
局部参数优化:
;L],i<F
}DvT6
使用局部参数优化的参数优化文件存储在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_03”中。
HsG3s?*
0"sZP\<p
起始值为:缝宽:50nm,规划深度200nm;
,*L3
2B6y1" B
参数和优化函数被严格定义,以便在TE透过率,偏振对比度和TE透过率均匀误差之间找到平衡。
j6*e^ B
&u2m6 r>W
]REF1<)4z
~-yq,x
参数定义:
33"!K>wC
+WxD=|p;
规划深度为20-200nm,权重1e20
sA"B/C|(g
C1YH\X(r
缝宽10—190nm权重1e20
loyhNT=
>n&+<06
优化函数定义:
Q`=d5Uvw
6%c]{eTd9
——TE效率最小值被最大化(全波段)
1NN#-U
7;#o?6!7
——偏振对比度大于50(全波段)
M;.:YkrUH
)5diX + k
——均匀误差最小化,但对于通用优化函数只具有较低影响。
[;C*9Nl
D|C!KF (
gHH[QLD=I
选择下山简法进行局部优化。
w/ID yQ
; jJ%<
左图显示了最小化TE透过率,右图显示了最小化偏振对比度。
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~P-^An^
*M~BN}.
优化好的光路流程图存储在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_04”中。
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@7?L+.r$9
优化过的参数为:
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a0wpsl iF
缝宽:46nm;规划深度200nm;最小化偏振对比度50;TE透过率的均匀误差7%
7*Gg#XQ>(
ukee.:{
结论:
Is ( Ji
(=Lx9-u
偏振分析器允许评估偏振光栅的波长和角独立性。
ML1/1GK*i+
Jj+Hj[(@
Parameter Run允许对参数空间进行全局搜索找到局部参数优化的合适起始点。
>\1j`/ :ZI
7nawnS
最后使用下山简法进行偏振光栅的局部参数优化。
{9./-
QQ:2284816954 备注:光学
$)jf
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