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infotek 2021-04-16 10:38

光栅起偏器的参数优化

案例315.01:光栅起偏器的参数优化 .^=I&X/P  
Jy}~ZY  
这个案例说明了对于一个用于VIS光起偏的亚波长光栅的参数优化过程。 $#n9C79Z@  
%>+lr%B  
关键词:参数优化,光栅,起偏器,亚波长 x^)?V7[t  
^GM3nx$  
所需工具箱:高级光栅工具箱 `T+>E0H(f  
GFPrK9T  
相关案例:100.01,101.01 Mx, 5  
C TG^lms  
相关教程和技术说明:Tutorial 101.01, TN.021 Wf "$  
'+$r7?dKP  
建模任务: +pT;; 9  
p<dw  C"z  
平面波入射周期为200nm的镀铬线性矩形光栅,基底为融石英,产生TE模的起偏。 +-;v+{  
0$`pYW]  
J&'*N :d  
优化目标: {ST8'hY  
Gev\bQa  
—TE模偏振光的透过率最大化 ~.^:?yCA  
cu?6\@cD  
—TM模偏振光的透过率最小化 }*9F`=%F  
rU9")4sQ  
优化函数: um$U3'0e  
1t/c@YUTy  
—最小化TE的透过率 Y9f7~w^s  
<?KgzIq2  
—最小化偏振度(要求>50:1) sx+k V A  
rN#9p+t$  
c%,ky$'18  
   9:RV5Dt  
—使用力优先级使TE透过率的均匀误差最小化 y=\&z&3$  
4Yok,<  
GNmP_N  
6@# =z  
优化的自由变量为: T;Kv<G;  
}T}c%p  
—缝宽:10—190mm +fozE?  
*$VeR(QN  
—光栅深度:20—200nm ]5*H/8Ke7  
 7Tr '<(A  
优化算法: 6w3[PNd  
)N^fSenFBn  
—使用Parameter run 进行一个全波长的全局搜索使得TE透过率的最大值最小同时使得偏振对比度的最大值最低。全局搜索不是强制的,但是它帮助确定在几个最大值和最小值之间确定优化参数的起始点。 9fbo  
—参数优化使用下山简法(局部优化)和模拟退火法(全局优化)。参数优化使得找到在偏振对比度和TE透过率之间的一种平衡。 2.);OFk+  
|]q{ qsy  
光路流程图和偏振分析器: :+9. v  
S]fkA6v  
偏振光栅的光路流程图存储在文件“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_01”中。 l#ct;KZ  
&=%M("IlD  
对于给定的波长范围,偏振分析器被用来计算相关偏振方向的最大和最小值。并可以计算 和 的反射或透射的最大和最小值。像偏振对比度这样高级的优化函数也可以被计算出来。 SLkgIb~'X  
f9_Pn'"I  
Parameter Run 的全局搜索: _z]v;Q  
mg70%=qM0f  
Parameter Run文件存储在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_02”中。 fOSJdX0e|Q  
L28wT)D-  
Parameter Run 设置 dwvc;f-  
Xeis_  
缝宽:10—19nm 步长10nm; *}HDq(/>w  
Gz\wmH&rVz  
规划深度:20——200nm 步长10nm; )knK'H(  
KTo}xLT  
使用扫描模块进行所有参数的整合研究。 9@M;\ @&g  
""V\hHdp  
在自由参数模块中选择深度和缝宽。 e5FF'~A%]  
BB1_EdoG  
使用扫描模块进行参数联合调查。 j}@LiH'Q  
优化函数依据迭代次数进行显示: Vfq-H/+  
a&mL Dh/  
左图显示了最小化TE透过率,右图显示了最小化偏振对比度。 kJ .7C  
fE|"g'  
TE透过率和偏振对比度对于不同参数设置已经达到了最大化。 YyYp-0#  
Rdj3dg'<  
参数构成: 7S= ]@*  
Wa?\W&  
缝宽50nm,规划深度200nm;最小TE透过率72.7%;最小偏振对比度62;TE透过率均匀误差7%; W1M Bk[:Q  
HuA4eJ(2  
  
-DZ5nx  
局部参数优化: ;L],i<F  
}DvT6  
使用局部参数优化的参数优化文件存储在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_03”中。  HsG3s?*  
0"sZP\<p  
起始值为:缝宽:50nm,规划深度200nm; ,*L3  
2B6y1"B  
参数和优化函数被严格定义,以便在TE透过率,偏振对比度和TE透过率均匀误差之间找到平衡。 j6*e^ B  
&u2m6 r>W  
]REF1<)4z  
~-yq,x  
参数定义: 33"!K>wC  
+WxD=|p;  
规划深度为20-200nm,权重1e20 sA"B/C|(g  
C1YH\ X(r  
缝宽10—190nm权重1e20 loyhNT=  
>n&+<06  
优化函数定义: Q`=d5Uvw  
6%c]{eTd9  
——TE效率最小值被最大化(全波段) 1NN#-U  
7;#o?6!7  
——偏振对比度大于50(全波段) M;.:YkrUH  
)5diX + k  
——均匀误差最小化,但对于通用优化函数只具有较低影响。 [;C*9Nl  
D|C!KF (  
gHH[QLD=I  
选择下山简法进行局部优化。 w/ID y Q  
; jJ%<  
左图显示了最小化TE透过率,右图显示了最小化偏振对比度。 '_n$xfH  
~P-^An^  
   *M~BN}.  
优化好的光路流程图存储在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_04”中。 NdI~1kemr  
@7?L+.r$9  
优化过的参数为: z_$F)*PL  
a0wpsl iF  
缝宽:46nm;规划深度200nm;最小化偏振对比度50;TE透过率的均匀误差7% 7*Gg#XQ>(  
ukee.:{  
结论: Is  ( Ji  
 (=Lx9-u  
偏振分析器允许评估偏振光栅的波长和角独立性。 ML1/1GK*i+  
Jj+Hj[(@  
Parameter Run允许对参数空间进行全局搜索找到局部参数优化的合适起始点。 >\1j`/ :ZI  
7  nawnS  
最后使用下山简法进行偏振光栅的局部参数优化。 {9./-  
QQ:2284816954 备注:光学
$)j f  
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