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infotek 2021-04-15 10:55

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 :? s{@7  
nX\mCO4T  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 r`pf%9k  
13 %: 3W(  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 .@ZrmO o]]  
p=\Q7<Z6d,  
所需工具箱子:光栅工具箱 r7^v@  
RRQIlI<  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 zN=s]b=/  
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建模任务 C;%dZ  
a}iP +#;  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 / <%EKu5  
w"W;PdH)  
YI`BA`BQ8  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 .Hk.'>YR  
>nvnU`\  
6Kw?  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 yE~D0%Umq  
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~,Yd.?.TI  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
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c&Eva  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 jeB"j  
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 d^zuo  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 JcMl*k  
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X线偏振光模拟结果:
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Vol}wc  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 Z$B%V t  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 y7R=zkd C9  
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A-J#$B  
Y线偏光模拟结果 _'<FBlIN  
[)kuu  
BR_fOIDc  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 LFr$h`_D5  
结论: ]h=5d09z  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 $~VIx% h  
QQ:2284816954 备注:光学
eKo=g|D  
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