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infotek 2021-04-15 10:55

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ?-c|c_|$  
.fzyA5@l  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 8)8~c@  
` 1+*-g^r  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 .eIs$  
!LH;K  
所需工具箱子:光栅工具箱 *N$XQ{o  
YA@?L!F  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 P-ZvW<M  
SlB`ktcfI  
建模任务 1L::Qu%E  
OF<:BaRs/  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 Y[L,rc/j  
AT I=&O`  
sBZn0h@  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 /b # w.>e  
<y?+xZM]#|  
\{<ml n  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 )*}\fmOv{  
m)6 6g]F+  
CL2zZk{u_  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
s;P _LaIp)  
FMCA~N  
x3Cn:F  
oU1N>,  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 'E#L6,&  
,2!7iX  
EB&hgz&_  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 [cDDZ+6  
B> E4,"  
!jl^__ .DR  
X线偏振光模拟结果:
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0(c,J$I]Z!  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 z}J~X%}e  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 Uot(3p!S6  
?W ^`Fa)]o  
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Y线偏光模拟结果 ;PMPXN'z6  
o]p$ w[5  
*8qRdI9  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 axnVAh|}S  
结论: T#rUbi>""  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 ^Vth;!o  
QQ:2284816954 备注:光学
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