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infotek 2021-04-15 10:55

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 K/8TwB?I  
Jl ?_GX}ZY  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 {6>$w/+~  
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关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 3lN@1jlh  
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所需工具箱子:光栅工具箱 lO HW9Z  
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相关案例:G.001a,Scenario 104.01 rg I Z  
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建模任务 ^O&&QRH~w  
wM! dz&  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ]aYuBoj  
(SByN7[g b  
G'{&*]Z\:  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 G}@a]EGm  
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&a'LOq+r'  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 @ 6H7  
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选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
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选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 ]N:Wt2  
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堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 KIY9?B=+  
Q|G|5X  
/`j2%8^N  
X线偏振光模拟结果:
\+k~p:d_8  
AsI.8"  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 C#L|7M??;  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 fP llN8n  
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Y线偏光模拟结果 )#sN#ZR$  
sY?sQ'E2]  
gwFW+*h  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ."`||@|  
结论: fr&p0)85>B  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 h7AO5"6  
QQ:2284816954 备注:光学
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