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infotek 2021-04-15 10:55

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 sQLjb8!7  
WO[O0!X  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 !qug^F  
6-f-/$B  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 y`J8hawp  
B1b9 JS(>  
所需工具箱子:光栅工具箱 mD;ioaE  
m tVoA8(6  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 *)s^+F 0  
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建模任务 q)OCY}QA  
YGOhUT |  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 Ui`#B  
QNGp+xUHJ9  
`a9iq>   
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 Ceew~n{  
 !xEGN@  
wnHfjF  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 W'R^GIHs  
YZ6" s-  
pg{cZ1/  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
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kQO-V4z!  
=kBN&v_(!  
Mt&n|']`8  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 5.QY{ +k  
K<M WiB&  
DY1"t7 9E  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 B{>x  
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UvuA N:'  
X线偏振光模拟结果:
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0e(4+:0  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 3(_:"?xA  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 Uz%2{HB@{  
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piXL6V@c  
Y线偏光模拟结果 3;3 cTXR?=  
3 5/ s\  
8LUl@!4b  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 z&CBjlh  
结论: Op:$7hv  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 %]N|?9L"=  
QQ:2284816954 备注:光学
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