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infotek 2021-04-15 10:55

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 yYdow.b!  
d[0 R#2y=  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ;hz;|\ko5  
JX.3b_O  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 3PLYC}Jq  
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所需工具箱子:光栅工具箱 |TQ#[9C0  
iE6?Px9]  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01  ktA5]f;  
%1oh+'ES F  
建模任务 j aU.hASj  
uK6'TJ  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 Z,jR:_ p  
X[e:fW[e)  
Iez`g<r  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 4X}.aZO&b  
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~;V5*t  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 Bu]PNKIi  
prk@uYCa =  
762c`aP_(  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
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M:5K4$>Kx  
6zZT5 Kn  
^uV=|1<%  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 }wIF$v?M  
hy]8t1894  
X21k7 Ls  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 O>KrTK-AV  
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BzXTHFMSy  
X线偏振光模拟结果:
_w.H]`C!X  
)` ^/Dj;  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 9OS~;9YR  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 qlNB\~HCe  
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Y线偏光模拟结果 M669G;w(K  
[.Y]f.D  
G'<Ie@$6l  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 hU~up a<dD  
结论: ?^by3\,VZ  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 @UK%l :L  
QQ:2284816954 备注:光学
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