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2021-04-15 10:55 |
镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟
案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ,"XiI$Le \7"|'fz 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 'A3skznX{ $|.8@
nj 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 kFV, Fg \6JOBR 所需工具箱子:光栅工具箱 y!.jpF'uI [nP s 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 .\glNH1d 6/Xs}[iJ 建模任务 kuV7nsXiQ DQm%=ON7 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 =@?[.` %kjG[C
,0q1Id 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 ow.!4kx{ d gJ'pwSA $t(v `, 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 4]ni-u0* rUj\F9*5# }:
HG)V 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 .t5.(0Xk[A EN2SI+ UI+6\ 3 I/MY4?(T 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 *}d N.IL, r~j
[Qm"CJ <ak[`] 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 czuIs|_K* _>Raw Aj4 a-vd. X线偏振光模拟结果: E,}{ iqAb _9
]:0bDUo 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 |JxVfX8^ 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 )hXTgUZa +*]$PVAFA pOc2V Y线偏光模拟结果 t?4H9~iH gHrs|6q9 dm4Q'u 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ~Ld5WEp k3 结论: ;7QXs39S 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 _SAM8!q4, QQ:2284816954 备注:光学
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