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infotek 2021-04-15 10:55

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 \&`S~cV9  
EQ-r  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ^0R.'XL  
GP<A v1  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 7;) T;X  
=66dxU?}  
所需工具箱子:光栅工具箱 ']4b}F:}  
t Q385en  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 0WaC.C+2i  
eqb8W5h'  
建模任务 s% 2w&Us*  
D kl4 ^}  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 }Ry:})  
U}~SY  
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双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 zp:kdN7!^  
l<>syHCH;L  
SpU+y|\[0  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ] +<[D2f  
I} m\(TS-"  
!1$Q Nxgi  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
{ Iy<iV  
LuM:dJ  
_ [su?C  
Hm!ffqO_  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 ON.C%-T-  
`w` f[dU-  
fb3(9  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 "SJp9s3  
h+<vWo}H  
S.pL^Ru  
X线偏振光模拟结果:
n!z7N3Ak>  
epuN~T  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 Ri=:=oF(  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 |T\`wcP`q  
OJ^kESrm8  
HX%lL }E  
Y线偏光模拟结果 X|zQZ<CO  
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yB0xa%  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 XVr>\T4  
结论: E w#UlA:"v  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 /~~aK2{^X~  
QQ:2284816954 备注:光学
(8T36pt~  
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