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infotek 2021-04-15 10:55

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 0c-QIr}m  
c_[ JjG^?P  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ;_w MWl0F  
Cea"qNq=k  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 NB3/A"}"02  
kEx8+2s=M  
所需工具箱子:光栅工具箱 hX %s]"  
78^Y;2 P]W  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 /;b.-v&  
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建模任务 ^U" q|[qy  
S{Rh'x\B  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 Mf#2.TR  
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@],Z 2  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。  s"#CkG  
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*j/ uihY  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 YlG; A\]k  
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M2a}x+5'  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
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J,6!7a  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 Z<w,UvJa  
D1"1MUSod  
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堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 'et(:}i  
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X线偏振光模拟结果:
I4A ;  
zkuv\kY/Z  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 "<7$2!  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 UU*0dSWr  
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Y线偏光模拟结果 ;D6x=v=2  
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对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 \CP*i_:"  
结论: %?U"[F1  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 9)8*FahW  
QQ:2284816954 备注:光学
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