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2021-04-15 10:55 |
镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟
案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [,\i[[< G*Ib^;$u 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 )ys=+Pz DrV0V
.t, 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 t!l/` e%J .='3bQ(UZ4 所需工具箱子:光栅工具箱 >~>{;Wq(p+ |3"NwM> 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 Z3I L8 q1<Fg.-r 建模任务 G#g{3}dcK |Pj9ZG# 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 _H/67dcz, J,`_,T
kYTOldfY2 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 cC'^T6 be_C>v HcDyD0;L. 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ,?;sT`Mh) kYmo7 +0dQORo 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 &,_?>.\[< d{iL?>'?^ widI
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) T:dX4=z 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 dqL-' mC%%)F'Zf K]%N-F>r 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 N!.kq4$. #?A]v>I;C 5_PWGaQa X线偏振光模拟结果: %e(9-M4* .wM:YX'[G 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 nq),VPJi 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 IsWcz+1n A>J1B(up )#)nBM2\ Y线偏光模拟结果 <8g *O2 XTIu(f|d_; 8H&_, ; 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ^!$}
BY 结论: @*bvMEE 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 ?,D>+:: QQ:2284816954 备注:光学 s+(l7xH$
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