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infotek 2021-04-15 10:55

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 #;h> x  
pxCQ=0k  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 Yw\lNhoPS  
c=re(  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 r+tHVh  
hLT?aQLx  
所需工具箱子:光栅工具箱 $)6x3&]P  
0Kg?X  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 c`oW-K{  
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建模任务 Su<>UsdUC  
<(1[n pS&+  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 !:v7SRUXb  
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| g"K7XfM4  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 <Vh }d/  
9[[$5t`8  
%0'7J@W  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 (^58$IW71  
P!lfk:M^;  
bd2QQ1[1vh  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
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K1p.{  
Z7k ku:9  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 }taG/kE62  
}(K1=cEaL  
BW ux!  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 RQ4+EW 1G  
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X线偏振光模拟结果:
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探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 1/%5pb2\  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 D58RHgY[  
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Y线偏光模拟结果 #X0Xc2}{f  
X2{Aa T*M  
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对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 dV /Es  
结论: f<y3/jl4  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 u"8KH u5C@  
QQ:2284816954 备注:光学
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