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infotek 2021-04-15 10:55

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 6AwnmGL(;;  
i&HV8&KygN  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 Tb)x8-0  
e{} o:r  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 f.f4<_v'h  
0sUc6_>e  
所需工具箱子:光栅工具箱 SW; b E  
`UI)H*GA8  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 [.Y=~)7FB  
u!-eP7;7  
建模任务 R/wSGP`W  
ZF t^q /pw  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 X3-1)|g !z  
^KaMi_--  
v8@dvT<  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 :RQ[(zD]  
R:xmcUq} (  
[T%blaSX  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 }dHiW:J>  
- Q@d  
C\; 8l}t  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
>ahj|pm  
]Bsq?e^  
GMNb;D(>K  
L[bGO|O  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 :L[6a>"neE  
etoE$2c  
ks5'Z8X  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 d0=nAZZ  
"qsNySI  
2o$8CR;  
X线偏振光模拟结果:
Hj\~sR$L-  
(FaT{W{  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 s z\RmX  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 =c,gK8C  
]x G8vy  
cP1jw%3P  
Y线偏光模拟结果 $"8k|^Z3  
` Z/ IW  
5a ~tp'  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 o.5j@ dr  
结论: l0&8vhw8k  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 %p9bl ,x  
QQ:2284816954 备注:光学
a  98  
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