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infotek 2021-03-29 09:46

倾斜光栅的参数优化与容差分析

摘要 !;t6\Z8&  
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对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 D=f$-rn  
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建模任务 iDCQqj`  
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在VirtualLab Fusion中查看 ^= kr`5  
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VirtualLab Fusion的工作流程 y?iW^>|?L=  
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•构造光栅结构 +}g6X6m  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] {(d 6of`C_  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] :@Ml-ZE  
•分析光栅衍射效率 *y~~~ 'J/  
- 光栅级次分析器[用例] T#}"?A|  
•使用参数优化优化光栅参数 Vc8w[oS  
•使用参数运行进行容差分析 bz`rSp8h  
- 参数运行文档的用法[用例] KO))2GET  
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VirtualLab Fusion技术 0Y!~xyg/  
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文件信息 Gl4f:`  
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