| 米格实验室 |
2021-03-26 11:25 |
特色服务：米格实验室--SiC单晶检测服务
1.服务产品简介 .7 ^-*HT}
本服务着重解决企业在SiC单晶生产、外延生长、芯片加工中的原材料品控、单晶生长质量测试、科研项目验收过程中遇到的检测分析的需求。通过服务能够帮着客户一站式、全参数、低成本、高效率的实现产品的快速检测。同时对于高端的一些检测项目，平台也可以根据客户需求定制检测方法、标准和方案。具体服务内容包含：电阻率、参考面取向和位置、参考面长度、晶型确定、微管密度、结晶质量、六方空洞和裂纹、位错密度、多型及体杂质含量。 l , 2z5p
2.产品优势 zi&d
本产品专门针对SiC单晶进行开发的测试解决方案，具有一站式覆盖、全参数测量、低成本、高效率，能够满足客户对质量、交期、价格的综合要求，其他同行相对比较单一、服务周期长、价格成本高。另外通过测试评价能够给出系统的参数指标的优化和整改意见，平台SiC方面的专家资源优势可以帮助企业解决具体技术问题和指导工作。 ]6[d-$#^ko
3. 检测内容主要涉及以下几方面的分析 #.t{g8W\C
1）晶体完整性：微管密度、结晶质量、六方空洞和裂纹、位错密度、多型； t'/;Z:
2）晶型：晶型确定； :Ny E d<'
3）杂质：体杂质含量； A0k>Nb\c3
4）电学测试：电阻率； ZVR 9vw 28
4.单晶检测解决方案 ?B!ZqJ #
SiC单晶检测解决方案A级 "4AQpD
SiC单晶检测费12万 \uPTk)oaB
A级-10万 491I
参照同行业市场服务价格 *w,gi.Y3
SiC单晶检测解决方案B级 "{xv|C<*n
SiC单晶检测费6万 ? UDvFQ&
B级-5万 0qUap*fvC
参照同行业市场服务价格 M\6v}kUY
SiC单晶检测解决方案C级 ?7ZlX?D[
SiC单晶检测费3.5万 |;-r};
C级-3万 ng*E9Puu[
参照同行业市场服务价格 <~*Ol+/
5.主要客户 OkUpgXU
天科合达、中科钢研、世纪金光、天域半导体、中科晶电、北京航空航天大学、中科院物理所等共计30多家单位的50次检测。 dkp[?f )x
6.主要应用 `R?W @,@'
应用于衬底生产、外延生长、芯片加工中的原材料品控、单晶生长质量测试等领域。利用众多单晶材料检测设备为企业提供完善的测试分析服务。 xJGeIh5
A.光学表面分析仪是针对SiC单晶片与外延片行业的表面缺陷的检查分析仪器。
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B.平整度测试仪用来测试TTV、TIR、LTV、BOW、WARP等晶片面型参数 `\0a5UFR
C.原子力显微镜用来测量样品表面的粗糙度。 "uC*B4`
D.偏光显微镜用来测量样品表面缺陷。 Y\|J1I,Z4
E.HORIBA公司的拉曼光谱仪用来绘制单晶材料晶型分布图。
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