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infotek 2021-03-19 10:03

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 7zj{wp!  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 2~[juWbz  
+kD R.E:  
v"0J&7!J  
8{ I|$*nB  
建模任务 ;kKyksxlD  
yf,z$CR  
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概述 MHwIA*R  
n=q 76W\  
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Dha1/g1q  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 "J1 4C9u   
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光线追迹仿真 y1#1Ne_  
2~2 O V  
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 /mZE/>&~ ,  
•单击go! ),!qTjD  
•获得了3D光线追迹结果。 ee=D1qNu;  
|':{lH6+1  
!'I8:v&D  
}QmqoCAE~m  
光线追迹仿真 r mOj  
;FEqe 49  
•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 2&5K. Ui%  
•单击go! [N'h%1]\  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 lLIA w$  
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H;"4 C8K7  
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场追迹仿真 ]_$[8#kg  
mp3s-YfRc  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 4&iCht =  
•单击go! }GIt!PG  
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J~- 4C)  
Ea=P2:3*  
场追迹仿真(相机探测器) yh=N@Z*zP  
%jM,W}2  
•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 K<J9 ~  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 P93@;{c(  
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FiU#T.`9'  
A%-6`>  
场追迹仿真(电磁场探测器) p b,. r  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 {GUF;V ^  
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wyG;8I  
场追迹仿真(电磁场探测器) $od7;%  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~)'k 9?0  
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文件信息 GKCroyor  
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-Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer 8>%hz$no=  
-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination
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