| infotek | 2021-03-19 10:03 |
分析高数值孔径物镜的聚焦特性高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。  建模任务  概述 •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。  光线追迹仿真 •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 •单击go！ •获得了3D光线追迹结果。  光线追迹仿真 •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 •单击go！ •结果得到点图（二维光线追迹结果）。  场追迹仿真 •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 •单击go！  场追迹仿真（相机探测器） •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。  场追迹仿真（电磁场探测器） •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。  场追迹仿真（电磁场探测器） •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。  文件信息  更多阅读 -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination QQ：2987619807 |
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