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infotek 2021-03-19 10:03

分析高数值孔径物镜的聚焦特性

摘要 [ ynuj3G V  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 Ln:lC( '  
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建模任务 -E:(w<];  
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概述 ekrBNDs9  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 HXyFj  
•接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 S3QaYq"v  
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光线追迹仿真 _nP)uU$  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ,^HS`!s[ E  
•单击go! 9Kx<\)-GMD  
•获得了3D光线追迹结果。 @bE~@4mOu  
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光线追迹仿真 ,2,W^HJ  
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•然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 pcNSL'u+  
•单击go! QsM*wT&aa  
•结果得到点图(二维光线追迹结果)。 jK e.gA  
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v:?o3 S  
场追迹仿真 ]r!QmWw~V  
D@:"f?K>  
•切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !8o\.uyi  
•单击go! ZOC#i i`:  
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场追迹仿真(相机探测器) an.`dBm  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 .N!{ U  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 9N^+IZ@l  
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Hk~k@Wft  
场追迹仿真(电磁场探测器) h mds(lv7  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +O4(a.  
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场追迹仿真(电磁场探测器) BW>5?0E[4(  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Hg aZbb>'  
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文件信息 +v!v[qn  
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-Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer Ch7Egz l7?  
-Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination
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