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infotek 2021-03-18 09:44

全场光学相干扫描干涉仪

摘要 Ij XxH]2  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 `0w!&  
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建模任务 d>c`hQ(V  
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仿真干涉条纹 : t75iB=  
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走进VirtualLab Fusion Bsd~_y}8  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 -lq`EB +  
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•设置输入场 Mii&doU  
基本光源模型[教程视频] ycvgF6Me<  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 [D?d~pB  
•定义元件的位置和方向 g?Rq .py]!  
LPD II:位置和方向[教程视频] CP$,fj  
•正确设置通道以进行非序列追迹 LcNI$g;}Yf  
非序列追迹的通道设置[用例] ' dv(  
•使用参数运行检查影响/变化 s&wm^R  
参数运行文档的使用[用例] c|(Q[=   
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VirtualLab Fusion技术 &g0r#K  
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更多阅览 8vfC  
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