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2021-03-16 08:35 |
MEMS技术发展史
MEMS技术发展史 S]7RGzFe
MEMS技术发展的时间轴，从从1947年制造的第一个点接触晶体管开始，到1999年的光网络交换机结束，50多年间，MEMS通过诸多创新，促进了当前MEMS技术和纳米技术的发展。 <3;Sq ~^
下面关于MEMS历史上主要的35项里程碑，看看你知道多少?
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1948年，贝尔实验室发明锗晶体管(William Shockley) ]y:ez8RFPU
1954年，锗和硅的压阻效应(C.S.Smith) YuZxKuGy
1958年，第一块集成电路(IC)(J.S.Kilby 1958年/Robert Noyce 1959年) `nxm<~-\
1959年，"底部有很多空间"(R.Feynman) KKz{a{ePY%
1959年，展示了第一个硅压力传感器(Kulite) L;7x2&
1967年，各向异性深硅蚀刻(H.A.Waggener等) " Yo.]P U
1968年，谐振门晶体管获得专利(表面微加工工艺)(H.Nathanson等) ]0VjVU-
1970年，批量蚀刻硅片用作压力传感器(批量微加工工艺) eN/o}<(e
1971年，发明微处理器 2\Vzfca
1979年，惠普微加工喷墨喷嘴 i U^tv_1
1982年，"作为结构材料的硅"(K.Petersen) . ."=
1982年，LIGA进程(德国KfK) 4&Q.6 HkL
1982年，一次性血压传感器(霍尼韦尔) q& h&GZ
1983年，一体化压力传感器(霍尼韦尔) a]<y*N?qu
1983年，"Infinitesimal Machinery"，R.Feynman。 p/4\O
1985年，传感器或碰撞传感器(安全气囊) /mb ?C/ CI
1985年，发现"Buckyball" <Ct b^4$
1986年，发明原子力显微镜 `Ns$HV
1986年，硅片键合(M.Shimbo) *LTFDC
1988年，通过晶圆键合批量制造压力传感器(Nova传感器) 1]L 0r
1988年，旋转式静电侧驱动电机(Fan、Tai、Muller) Ix;9D '^}
1991，年多晶硅铰链(Pister、Judy、Burgett、Fearing)。 DA5kox&cU
1991年，发现碳纳米管 rpk
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1992年，光栅光调制器(Solgaard、Sandejas、Bloom) Ylc[ghx
1992年，批量微机械加工(SCREAM工艺，康奈尔) nMK,g>wp
1993年，数字镜像显示器(德州仪器) NArql
1993年，MCNC创建MUMPS代工服务 - I$qe Xy
1993年，首个大批量生产的表面微加工加速度计(Analog Devices) #Z'r;YOzs
1994年，博世深层反应离子蚀刻工艺获得专利 Vf67gux
1996年，Richard Smalley开发了一种生产直径均匀的碳纳米管的技术 fa7I6 i
1999年，光网络交换机(朗讯) |fx*F}1
2000年代，光学MEMS热潮 OC$Y8Ofr
2000年代，BioMEMS激增 +mReWf:o
2000年代，MEMS设备和应用的数量不断增加。 t;7 tuq
2000年代，NEMS应用和技术发展#半导体# #芯片# #mems# hrpql_9.
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