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2021-03-16 08:35 |
MEMS技术发展史
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MEMS技术发展的时间轴，从从1947年制造的第一个点接触晶体管开始，到1999年的光网络交换机结束，50多年间，MEMS通过诸多创新，促进了当前MEMS技术和纳米技术的发展。 zTrAk5E
下面关于MEMS历史上主要的35项里程碑，看看你知道多少? @^}
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1948年，贝尔实验室发明锗晶体管(William Shockley) qdm5dQ (c
1954年，锗和硅的压阻效应(C.S.Smith) <M=U @
1958年，第一块集成电路(IC)(J.S.Kilby 1958年/Robert Noyce 1959年) 3G8BYP
1959年，"底部有很多空间"(R.Feynman) 4JFi|oK0H
1959年，展示了第一个硅压力传感器(Kulite) 01 6l$K4
1967年，各向异性深硅蚀刻(H.A.Waggener等) h=YY>
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1968年，谐振门晶体管获得专利(表面微加工工艺)(H.Nathanson等) f Gb(=l
1970年，批量蚀刻硅片用作压力传感器(批量微加工工艺) =1)yI>2e%}
1971年，发明微处理器 @no]*?Gpa
1979年，惠普微加工喷墨喷嘴 P1 =bbMk
1982年，"作为结构材料的硅"(K.Petersen) 3lhXD_Y
1982年，LIGA进程(德国KfK) }b2U o&][
1982年，一次性血压传感器(霍尼韦尔) iyU@|^B"Wa
1983年，一体化压力传感器(霍尼韦尔) 4z Af|Je
1983年，"Infinitesimal Machinery"，R.Feynman。 "2+>!G RQ
1985年，传感器或碰撞传感器(安全气囊) n' 7 3DApW
1985年，发现"Buckyball" uDK`;o'F
1986年，发明原子力显微镜 I:u xj%
1986年，硅片键合(M.Shimbo) W"A Whi{h
1988年，通过晶圆键合批量制造压力传感器(Nova传感器) 6Z
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1988年，旋转式静电侧驱动电机(Fan、Tai、Muller) Y1+4ppZ
1991，年多晶硅铰链(Pister、Judy、Burgett、Fearing)。 m7z/@b[
1991年，发现碳纳米管 rw8O<No4.o
1992年，光栅光调制器(Solgaard、Sandejas、Bloom) F*>:~' %
1992年，批量微机械加工(SCREAM工艺，康奈尔) KMhoG.$Ra
1993年，数字镜像显示器(德州仪器) ~ YO')
1993年，MCNC创建MUMPS代工服务 e'(n ^_$nl
1993年，首个大批量生产的表面微加工加速度计(Analog Devices) B~- VGT 2o
1994年，博世深层反应离子蚀刻工艺获得专利 "w= p@ /C
1996年，Richard Smalley开发了一种生产直径均匀的碳纳米管的技术 03J,NXs
1999年，光网络交换机(朗讯) 0aSN 8
2000年代，光学MEMS热潮 f'\I52;FB
2000年代，BioMEMS激增 *58<.L|
2000年代，MEMS设备和应用的数量不断增加。 o DPs xw
2000年代，NEMS应用和技术发展#半导体# #芯片# #mems# /#20`;~F)
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