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2021-03-16 08:35 |
MEMS技术发展史
MEMS技术发展史 o:Sa,
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MEMS技术发展的时间轴，从从1947年制造的第一个点接触晶体管开始，到1999年的光网络交换机结束，50多年间，MEMS通过诸多创新，促进了当前MEMS技术和纳米技术的发展。 @i IRmQ
下面关于MEMS历史上主要的35项里程碑，看看你知道多少? P
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1948年，贝尔实验室发明锗晶体管(William Shockley) Y glmX"fLf
1954年，锗和硅的压阻效应(C.S.Smith) : E )>\&
1958年，第一块集成电路(IC)(J.S.Kilby 1958年/Robert Noyce 1959年) U|Ta4W`k\
1959年，"底部有很多空间"(R.Feynman) ;@Y;g(bw:
1959年，展示了第一个硅压力传感器(Kulite) 5taT5?n2
1967年，各向异性深硅蚀刻(H.A.Waggener等) _^%,x
1968年，谐振门晶体管获得专利(表面微加工工艺)(H.Nathanson等) ExL0?FemWV
1970年，批量蚀刻硅片用作压力传感器(批量微加工工艺) N U`
1971年，发明微处理器 QX'qyojxN
1979年，惠普微加工喷墨喷嘴 (V67`Z )
1982年，"作为结构材料的硅"(K.Petersen) sN01rtB(UT
1982年，LIGA进程(德国KfK) *mvlb
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1982年，一次性血压传感器(霍尼韦尔) [%1CRk
1983年，一体化压力传感器(霍尼韦尔) <1${1A <Wa
1983年，"Infinitesimal Machinery"，R.Feynman。 |imM# wF
1985年，传感器或碰撞传感器(安全气囊) z/ @slT
1985年，发现"Buckyball" 6fEqqUeV
1986年，发明原子力显微镜 aQ\$A` ?
1986年，硅片键合(M.Shimbo) >V8-i`
1988年，通过晶圆键合批量制造压力传感器(Nova传感器) K} X&AJ5A
1988年，旋转式静电侧驱动电机(Fan、Tai、Muller) SbrecZ
1991，年多晶硅铰链(Pister、Judy、Burgett、Fearing)。 Ls+2Zbh
1991年，发现碳纳米管 "n5N[1b k
1992年，光栅光调制器(Solgaard、Sandejas、Bloom) dn$!&
1992年，批量微机械加工(SCREAM工艺，康奈尔) Gm^U;u}=f
1993年，数字镜像显示器(德州仪器) N)\. [v
1993年，MCNC创建MUMPS代工服务 6)
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1993年，首个大批量生产的表面微加工加速度计(Analog Devices) N] =q|D
1994年，博世深层反应离子蚀刻工艺获得专利 y(yHt= r
1996年，Richard Smalley开发了一种生产直径均匀的碳纳米管的技术 eiaFaYe\
1999年，光网络交换机(朗讯) -3Z,EaG^
2000年代，光学MEMS热潮 a fW@T2
2000年代，BioMEMS激增 2B& 3TLO
2000年代，MEMS设备和应用的数量不断增加。 e)?
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2000年代，NEMS应用和技术发展#半导体# #芯片# #mems# 6H WE~`ok6
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