微晶玻璃镀膜AF，摩擦测试NG!

有谁有相关经验，欢迎大家讨论，同锅镀膜COT/AGC/GG5/GG6/GG7/蓝宝石，测试结果都OK
设备试过溅射设备（新克隆/光驰）/蒸镀（光驰/新克隆/联合真空）
AF克药试用很多种类，没有改善效果。
初步分析是摩擦后打底层脱落，打底材料试过P药/AL203/SIO2。
玻璃成分分析主要SI/AL/O/NA/KA/CR/LI
现怀疑是清洗导致表面附着--硅酸锂和硅酸钠（希望大家给些清洗建议），验证不清洗比清洗后效果要好。
有没有谁有相关经验的，欢迎探讨!

ouyuu	2021-03-19 20:16
如果是基底问题的话，你蒸镀前用离子源（AR)使劲轰个十五分钟。 ]OUD5T 这种情况下离子源基本上可以把基板打薄2nm，怎么都不会有问题了。 ^n t~-% RvWFF^,. 而且离子源轰击还有个好处，可以增加基板表面的粗糙度。

chenenlin	2021-03-20 08:44
感谢回答！ RTA%hCr! 以上方案试过了，附着物估计是微米级别的，离子源没有办法清理干净。

tony肖	2021-06-22 22:28
再加一槽清洗剂去除硅酸

chenenlin	2021-06-25 21:45
请问一下，使用什么清洗剂？

伤城vs雾都	2021-06-28 16:21
镀膜后超洗使用的洗剂PH值很关键，有没有试过氧化钛打底。

聂光辉	2022-03-05 11:30
果是基底问题的话，你蒸镀前用离子源（AR)使劲轰个十五分钟。 Ks\|gL#)*Ku 这种情况下离子源基本上可以把基板打薄2nm，怎么都不会有问题了。 .hxin[Y NOV.Bs{ yL 而且离子源轰击还有个好处，可以增加基板表面的粗糙度

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