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倾斜光栅的参数优化与容差分析
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summer20200907
2021-03-15 11:15
倾斜光栅的参数优化与容差分析
摘要
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对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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1阶的参数优化
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结果-容差分析
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结果-容差分析
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在VirtualLab Fusion中查看
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VirtualLab Fusion的工作流程
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•构造光栅结构
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使用特殊介质配置光栅结构
[用例]
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-
倾斜光栅的高级配置
[用例]
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•分析光栅衍射效率
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- 光栅级次分析器[用例]
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•使用参数优化优化光栅参数
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•使用参数运行进行容差分析
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参数运行文档的用法
[用例]
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VirtualLab Fusion技术
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文件信息
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软件咨询QQ:939912426
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