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summer20200907 2021-03-15 11:15

倾斜光栅的参数优化与容差分析

摘要 CS\8ej}y  
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对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 r;@"s g  
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结果-容差分析 m*vz   
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在VirtualLab Fusion中查看 (&Mv!6]  
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VirtualLab Fusion的工作流程 g1I8_!}~  
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•构造光栅结构 `. 3{  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] KN'twPFq  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] ";TqYk=-  
•分析光栅衍射效率 uvJmEBL:  
- 光栅级次分析器[用例] 5h6-aQU[  
•使用参数优化优化光栅参数 L~*nI d  
•使用参数运行进行容差分析 6\USeZh  
- 参数运行文档的用法[用例] B/dJj#  
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VirtualLab Fusion技术 /$^SiE+N  
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文件信息 o.wXaS8  
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