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summer20200907 2021-03-15 11:15

倾斜光栅的参数优化与容差分析

摘要 3brb*gI_b  
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对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 16I&7=S,  
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建模任务 'WK;$XQ  
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结果-容差分析 t9.,/o,  
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在VirtualLab Fusion中查看 YZ+>\ x  
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VirtualLab Fusion的工作流程 ]ni6p&b>  
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•构造光栅结构 'w(y J  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] A:eFd]E{(  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] g<$. - g  
•分析光栅衍射效率  R:~(Z?  
- 光栅级次分析器[用例] 7:>sc]Z  
•使用参数优化优化光栅参数 jv =EheD  
•使用参数运行进行容差分析 2Z)4(,  
- 参数运行文档的用法[用例] (YwalfG {C  
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VirtualLab Fusion技术 :&qhJtGo  
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文件信息 x vmt.>f  
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