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summer20200907 2021-03-15 11:15

倾斜光栅的参数优化与容差分析

摘要 an)Z.x  
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对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 `<(o;*&Gd  
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•构造光栅结构 ?'U@oz8 B  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] {4r }jH  
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•使用参数优化优化光栅参数 6t'vzcQs  
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