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summer20200907 2021-03-15 11:15

倾斜光栅的参数优化与容差分析

摘要 YWZF*,4  
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对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 8say"Qz  
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结果-容差分析 m&%b;%,J  
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在VirtualLab Fusion中查看 <Gw<(M  
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VirtualLab Fusion的工作流程 N [u Xo  
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•构造光栅结构 8( D}y\  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] KV*:,>  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] f.$o|R=v  
•分析光栅衍射效率 +*DX(v"BH  
- 光栅级次分析器[用例] 9wAc&nl-Y  
•使用参数优化优化光栅参数 4Dia#1$:J  
•使用参数运行进行容差分析 q': wSu u  
- 参数运行文档的用法[用例] [mPdT^h  
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