薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比

摘要 7J 0=HbH  
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 mkA1Sh{hX>  
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建模任务 k`LoRqF  
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正弦光栅—透射相位曲线 d)'am 3Q  
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正弦光栅—透射相位曲线 orGNza"A  
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正弦光栅—衍射效率 ubC(%Y_k  
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正弦光栅—效率与周期 3Un{Q~6h  
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 ^CIO,I  
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闪耀光栅—效率与高度（TEA） e rz9CX  
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闪耀光栅—透射相位曲线  oCE=!75  
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闪耀光栅—衍射效率 d|GQZAEJEt  
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闪耀光栅—效率与周期 +mM=`[Z`??  
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VirtualLab Fusion一瞥 Tr}z&efY  
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• 设置光栅结构 QucDIZ  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] $uw[X  
• 分析光栅衍射效率 *&WkorByW  
−光栅阶次分析器[用户案例] C,*3a`/2M^  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 (mO{W   
− 利用参数运行文档[用户案例] <evvNSE  
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VirtualLab Fusion技术 )7$1Da|.  
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