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薄元近似(TEA)与傅立叶模态方法(FMM)在光栅建模中的对比
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infotek
2021-03-05 10:25
薄元近似(TEA)与傅立叶模态方法(FMM)在光栅建模中的对比
摘要
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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正弦光栅—透射相位曲线
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正弦光栅—效率与周期
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线
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闪耀光栅—效率与高度(TEA)
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闪耀光栅—透射相位曲线
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闪耀光栅—特定周期下的相位曲线
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VirtualLab Fusion一瞥
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VirtualLab Fusion工作流程
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• 设置光栅结构
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−使用界面配置光栅结构[用户案例]
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• 分析光栅衍射效率
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−光栅阶次分析器[用户案例]
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• 通过参数运行检查不同参数的影响
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− 利用参数运行文档[用户案例]
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VirtualLab Fusion技术
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