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infotek 2021-03-05 10:25

薄元近似(TEA)与傅立叶模态方法(FMM)在光栅建模中的对比

摘要 U_&v|2o#3  
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薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 \y7kb  
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!_No\O  
     QY^v*+lr\  
建模任务 7;8#iS/  
R v/=bY  
;8~tt I  
7)i6L'r  
正弦光栅—效率与高度(TEA) R7 WGc[  
WZ A8D0[  
7m<;"e)  
Ag82tDL[u  
正弦光栅—透射相位曲线 yP~O C|Z  
Iq[ d5)M4  
RT~6#Caf  
(6Y.|u]bq  
正弦光栅—透射相位曲线 ,&q Q[i  
A.v'ws+VDP  
3G.-JLhs  
oIJ.Tv@N(  
正弦光栅—衍射效率 (2l?~CaK  
C-TATH%f^  
\7d T]VV  
sN8)p%'Lg  
正弦光栅—效率与周期 }#Q?\  
}jI=*  
79bt%P  
w vQ.9  
正弦光栅—特定周期下的相位曲线 gz~)v\5D/  
Wu1">|  
%u@}lG k  
+vSp+X1E  
闪耀光栅—效率与高度(TEA) rQ:+LVfXjA  
"Xz[|Xl  
7xlarns   
o6@`aU  
闪耀光栅—透射相位曲线 }R\;htmc;  
jg3 X6/'  
d>YX18'<Q  
+p\+ 15  
闪耀光栅—衍射效率 <W2 YG6^i  
ro8c-[V  
GX@=b6#-  
Z< 4Du  
闪耀光栅—效率与周期 <AN=@`+  
4*Y`Pn@  
-h`[w:  
O ,Sqh$6U  
闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 Frd`u .I  
c) q'" r  
j}F;Bfq!  
EjjW%"C,  
VirtualLab Fusion一瞥 j3$\+<m]  
!gX(Vh*k  
QZ?%xN(4  
%'3Y?d  
VirtualLab Fusion工作流程 }u&,;]  
                                   |-zefzD|  
4Mr)~f rc  
• 设置光栅结构 YX,xC-37y  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] 8v12<ktR`  
• 分析光栅衍射效率 032PR;]  
−光栅阶次分析器[用户案例] k>W}9^ cK  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 Cz)/Bq  
− 利用参数运行文档[用户案例] FS^ie|8{D-  
KpF/g[m  
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O[|prk,  
VirtualLab Fusion技术 u7G9 eN  
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文件信息 eGE[4Z  
(|t)MnPfY  
(+w.?l  
/`H{ n$  
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