薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比

摘要 w0.#/6  
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 =e4,)Wd9&
 
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建模任务 lKm?Xu'yH  
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正弦光栅—透射相位曲线 ZGS=;jM  
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正弦光栅—透射相位曲线 T$+}Srb  
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正弦光栅—衍射效率 q k!Q2W  
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正弦光栅—效率与周期 SX;
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 )EO$JwQ  
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闪耀光栅—效率与高度（TEA） aE:fMDS|x  
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闪耀光栅—透射相位曲线 >SccoI  
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闪耀光栅—衍射效率 PI }A')Nq.  
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闪耀光栅—效率与周期 z<)?8tAgq  
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VirtualLab Fusion一瞥 "&7v.-Yk(  
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• 设置光栅结构 '%)7%O,2  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] sgFpZk  
• 分析光栅衍射效率 taI])  
−光栅阶次分析器[用户案例] UiW(/L  
• 通过参数运行检查不同参数的影响 M]eH JZ~v  
− 利用参数运行文档[用户案例] \O@,v0
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VirtualLab Fusion技术 2v yB[(  
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