薄元近似（TEA）与傅立叶模态方法（FMM）在光栅建模中的对比

摘要 ;z1\n3,  
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 k>.n[`>$6|  
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建模任务 "?HDv WP=w  
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正弦光栅—透射相位曲线 !Y,*Zc$R  
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正弦光栅—透射相位曲线 uGz>AW8a3  
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正弦光栅—衍射效率 ^Q9!DF m  
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正弦光栅—效率与周期 <|>7?#s2=  
2A(?9 R9&h  

正弦光栅—特定周期下的相位曲线 h%PbM`:}6  
231,v,X[  

闪耀光栅—效率与高度（TEA） I3hN7  
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闪耀光栅—透射相位曲线 AI,Jy%62/  
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闪耀光栅—衍射效率 UAEu.AT  
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闪耀光栅—效率与周期 r7Zx<c  
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VirtualLab Fusion一瞥 /8Ru
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Xy]Pmt  
• 设置光栅结构 2+=:pc^  
−使用界面配置光栅结构[用户案例] gT{
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• 分析光栅衍射效率 !g7lJ\
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−光栅阶次分析器[用户案例] {'a
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• 通过参数运行检查不同参数的影响 uD4j.%  
− 利用参数运行文档[用户案例] vf;&0j&`  
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VirtualLab Fusion技术 (sqI:a  
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