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infotek 2021-03-05 10:22

使用傅里叶模态法分析闪耀光栅

摘要 \ C+(~9@|  
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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 Xlb0/T<g!  
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傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) .G+Pe'4a  
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建模任务 w9, iq@  
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单次FMM仿真结果 mml<9fbH  
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参数扫描(1D) Y=?yhAw  
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文件信息 f|R"u W +  
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QQ:2987619807 xj[(P$,P  
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