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infotek 2021-02-23 11:20

用于光学检测的斐索干涉仪

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摘要 x('yBf  
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斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器，常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术，我们建立了斐索干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，如柱面和球面，可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 *o#`lH  
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建模任务 3OZ}&[3  
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观测倾斜平面 hJ@nW5CI  
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观测柱面 *k}d@j,*"  
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观测球面 f,#xicSB*  
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走进VirtualLab Fusion t]ZSo-  
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VirtualLab Fusion的工作流程 S@#L!sT`u  
 设置输入场 =jN]ckn  
- 基本光源模型 [教学视频] {;zPW!G  
 使用表面构造真实元件 rU O{-R  
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 定义元件的位置和方向 +\%zy=  
- LPD II：位置和方向 [教学视频] y)}aySQK^  
 为非序列场追迹设置合适的通道 +9X[gef8  
- 非序列场追迹的频道设置 [用例] ;k8}D*?8  
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VirtualLab Fusion技术 ht |r+v-  
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文件信息 Sx2j~(pOr  
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QQ：2987619807 * 5n:+Tw(  
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