二维非傍轴光束分束超光栅的设计

摘要

与传统光栅相比，尤其是在非傍轴情况下，超光栅具有优势。在此示例中，我们设计了一个将入射光束分成3x3光束的二维（2D）超光栅。超光栅由圆形纳米柱构成，并且在VirtualLab Fusion中，我们使用FMM / RCWA评估超光栅的衍射效率。并且，我们展示了如何使用参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。

设计任务 x\F,SEj
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仅位相透射设计（IFTA） io,M{Ib
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仅位相透射设计（IFTA） r)Ap8?+
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超表面晶胞分析 H,+I2tEs
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构建超光栅 la( <8
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初始超表面设计的评估 fRy^Q_~,
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参数优化 ^xh}I5
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优化超光栅设计的评估 |;.o8}
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VirtualLab Fusion的工作流程
 分析超表面晶胞
- 纳米柱超表面组件的严格分析 [用例]
 构造超光栅
 分析光栅衍射效率
- 光栅级次分析 [用例]
 光栅结构参数优化

VirtualLab Fusion技术

文件信息

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