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infotek 2021-02-07 10:56

泰伯(TALBOT)光刻机

作为最著名的衍射效应之一,泰伯(Talbot)效应可以用于光刻技术中以制造周期性纳米结构。继I.-H. Lee等人,我们在六边形网格上构造了一个圆锥形光栅掩膜版,并以深度方式模拟了Talbot图像的生成。 特别是,由于光刻过程中使用的紫外光是非偏振的,因此我们在示例中演示了如何为VirtualLab Fusion中的光栅模拟建模非偏振光。 c[VVCN8dA  
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圆锥形相位掩模的Talbot图像 w]1hoYuV  
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在VirtualLab Fusion中对带有圆锥体的相位掩模版进行了建模。检测到不同的Talbot图像,以使柱形图案位于主像平面中,而孔图案出现在次像平面中。 hvW FzT5  
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用于光栅仿真的非偏振光–实例讨论 D]tI's1  
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示范了在VirtualLab Fusion的光栅仿真建模中,如何以两个正交偏振态的平均值建模非偏振光的影响。 k4T`{s}e  
wH]5VltUT1  
p.@ kv  
有什么问题可以添加微信交流~ @~7y\G  
lC.Q61J@  
L;RHs hTy  
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