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infotek 2021-02-07 10:45

锥形相位掩模的Talbot像

摘要 czA5n  
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在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 r`=+L-!  
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建模任务 4hO!\5-w:  
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结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) C7XxFh  
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某一位置的Talbot图样 ICpAt~3[M  
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某一位置的Talbot图样 # Nk;4:[  
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沿Z轴的强度 wZG\>9~  
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走进VirtualLab Fusion ,qA(\[  
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VirtualLab Fusion的工作流程 XO`0>^g  
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 构建光栅结构 3Iua*#<m,  
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] (gEBOol  
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] c(J!~7  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 5G::wuxk  
- 参数运行文件的使用 [用例] *Y,x|F  
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VirtualLab Fusion技术 a,xycX:U  
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文件信息 x8wD0D  
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延伸阅读 Uhe=h&e2k@  
- 超稀疏介质纳米线栅偏振片
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- 光栅级次分析器 `rgn<I"  
- Talbot效应的建模 H#NCi~M>3  
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有什么问题可以添加微信~ 3wOZ4<B  
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