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2021-02-07 10:45 |
锥形相位掩模的Talbot像
摘要 czA5n i1UiNJh86 在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 r`=+ L-! 09|K>UC)v
D!@Ciw -] LY,M 建模任务 4hO!\5-w: ~Uu4=
@_-hk|Nl@ 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) C7XxFh wYdb*"R 某一位置的Talbot图样 ICpAt~3[M H=@}=aPf
?OId\'q Gp1?iX?ml 某一位置的Talbot图样 # Nk;4:[ NYt&@Z}]
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a!ud{Dx qUh2hz: VirtualLab Fusion的工作流程 XO`0>^g hwu]Er.gn 构建光栅结构 3Iua*#<m, - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] (g EBOol - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] c(J!~7 N6>(;ugJ1- 通过参数运行计算不同位置的强度 5G::wuxk - 参数运行文件的使用 [用例] *Y,x|F #J@[Wd
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