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infotek 2021-02-07 10:45

锥形相位掩模的Talbot像

摘要 ^-c si   
vMW-gk  
在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 9:}RlL+cOk  
kcma/d  
lyOrM7Gs  
`0n 7Cyed  
建模任务 ya*q;D  
n'x`oI)-  
|aOnV,}  
结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 6U,U[MWJ  
$+)x)1  
某一位置的Talbot图样 =E6i1x%j  
U(Hq4D  
4%c7#AX[T  
   Is*0?9qU  
某一位置的Talbot图样 x/jN& ;"/  
y!{/'{?P  
?XTg%U  
fi-&[llg  
不同位置的Talbot图样 Jj^<:t5{rN  
RZ,<D I  
mG8  
#9W5  
不同位置的Talbot图样 :0TSOT9.  
oE|{|27X  
q NQ3(1xW  
2zrWR%B  
沿Z轴的强度 X m:gD6;9  
.5Z@5g`  
0.+Z;j  
^>R|R1&  
走进VirtualLab Fusion u>i+R"hi"  
a518N*]j  
"62Ysapq+  
- 9<yB  
VirtualLab Fusion的工作流程 2.L6]^N p(  
2Z9gOd<M~  
 构建光栅结构 kFZu/HRI  
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] ][K8\  
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] KL\=:iWA  
6%hEs6-R  
 通过参数运行计算不同位置的强度 j]F3[gpc  
- 参数运行文件的使用 [用例] LVcy.kU@]  
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#Uk6Fmu ]  
J<:D~@qq  
VirtualLab Fusion技术 8P y_Y>  
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FZ.Yn   
   SE-, 1p  
文件信息 VqT[ca\  
h] TVi$J  
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Y%cA2V\#m  
延伸阅读 !Fs) "?  
- 超稀疏介质纳米线栅偏振片
0_Z|y/I.  
- 光栅级次分析器 -hV KPIb  
- Talbot效应的建模 @9P9U`ZP  
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有什么问题可以添加微信~ ~l(tl[  
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