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infotek 2021-02-07 10:45

锥形相位掩模的Talbot像

摘要 ^!E;+o' t  
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在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 nM\W a  
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建模任务 2.?:[1g!  
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结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) rDm>Rm=  
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某一位置的Talbot图样 CM8WI~  
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不同位置的Talbot图样 UyTq(7uo  
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走进VirtualLab Fusion JnV$)EYi  
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VirtualLab Fusion的工作流程 ,&z_ 2m  
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 构建光栅结构 2zArAch  
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] r(J7&vR}h  
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例]  nPvR  
B>YrDJUN  
 通过参数运行计算不同位置的强度 Scxf5x-  
- 参数运行文件的使用 [用例] \'BKI;  
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VirtualLab Fusion技术 _S@s  
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文件信息 TS-m^Y'R  
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LOR$d^l  
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延伸阅读 [<8<+lH=P  
- 超稀疏介质纳米线栅偏振片
1B,RRHXn6  
- 光栅级次分析器 !\+SE"ml  
- Talbot效应的建模 $].< /  
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