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infotek 2021-02-07 10:45

锥形相位掩模的Talbot像

摘要 ^57G]$Q  
SZ;Is,VgU4  
在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 &F8N$H  
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建模任务 }.L\O]~{  
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结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 5>S<9A|Q  
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某一位置的Talbot图样 *(?tf{  
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沿Z轴的强度 Q!T+Jc9N  
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走进VirtualLab Fusion  d.)%C]W{  
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Tp.t.Qic  
VirtualLab Fusion的工作流程 |_H{ B+.  
z+=wql*Eo  
 构建光栅结构 T 8. to  
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] [3~mil3rO  
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] h%0FKi^  
FL/395 <:  
 通过参数运行计算不同位置的强度 M#5*gWfq9  
- 参数运行文件的使用 [用例] RPh8n4&("  
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VirtualLab Fusion技术 M6MtE_E  
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   C>0='@LB@r  
文件信息 b- FJMY  
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延伸阅读 >.}ewz&9o  
- 超稀疏介质纳米线栅偏振片
:{tj5P!S  
- 光栅级次分析器 6j{O/  
- Talbot效应的建模 !arTR.b\  
*]uj0@S  
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y9@DlK  
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