首页 -> 登录 -> 注册 -> 回复主题 -> 发表主题
光行天下 -> FRED,VirtualLab -> 锥形相位掩模的Talbot像 [点此返回论坛查看本帖完整版本] [打印本页]

infotek 2021-02-07 10:45

锥形相位掩模的Talbot像

摘要 v,D_^?]@  
mCz6&  
在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 WHNb.>  
}MIH{CMH  
ZH0f32K  
b8]oI"&G  
建模任务 Vbj?:29A  
/6q/`vx@  
g rfF\_[:  
结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ]~K&mNo  
)K?GAj]Pq  
某一位置的Talbot图样 8m1zL[.8g  
&R5M&IwL  
|wLQ)y*  
   LqUvEq  
某一位置的Talbot图样 z9'0&G L  
<GNOT"z  
;9I#>u  
L3GJq{t  
不同位置的Talbot图样 3?%kawO&  
)_Oc=/c|f  
/y!Vs`PZ!  
Hug{9Hr3.  
不同位置的Talbot图样 Z~c7r n  
{30<Vc=  
_bd#C   
5o3_x ~e  
沿Z轴的强度 <Z__Q  
6=g7|}  
RdDcMZ  
uc<@ Fh(  
走进VirtualLab Fusion b>7ts_b  
19rUvgC{M  
c:6w >:  
}O>Zu[8a  
VirtualLab Fusion的工作流程 62 _$O"  
B.G!7>=  
 构建光栅结构 eLTNnz  
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] MMAC,4  
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] *Vc=]Z2G^  
\'EWur"  
 通过参数运行计算不同位置的强度 amSyGQ2  
- 参数运行文件的使用 [用例] Jzdc'3dq  
Y{yr-E #~M  
Yo(B8}?0!  
\l2 s^7G_  
VirtualLab Fusion技术 [>:gwl _\  
>YfOR%mS4  
UZ!hk*PF  
   -,;Ep'  
文件信息 OL'=a|g|c  
**q/'K  
<S}qcjG  
Vj]kJ,j\y  
延伸阅读 uUe\[-~  
- 超稀疏介质纳米线栅偏振片
FSmi.7  
- 光栅级次分析器 YXtGuO\q  
- Talbot效应的建模 kYs|")isj  
'=H^m D+gl  
?>y-5B[K/(  
有什么问题可以添加微信~ uJ`&hX  
f UIs(}US  
gAj)3T@  
查看本帖完整版本: [-- 锥形相位掩模的Talbot像 --] [-- top --]

Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1 网站统计