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2021-02-07 10:45 |
锥形相位掩模的Talbot像
摘要 @cq`:_.[ AY SSa 1} 在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 8yWoPm<A %5
@ 2_<,;$ >J=<bhR 建模任务 p{=QGrxB* . -"E^f
nN3$\gHp8i 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) q6wr=OWD ]$M<]w,IJ2 某一位置的Talbot图样 M;Wha;%E" M0-,M/]l
(_9|w|( l[/q%Ca'> 某一位置的Talbot图样 U&y`-@A4 j1$<] f
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O|UxFnB} d,R6` i VirtualLab Fusion的工作流程 797X71> VD#!ztcY' 构建光栅结构 5OB]x?4] - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 1D$::{h - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] N?+eWY sA\L7`2H 通过参数运行计算不同位置的强度 ih!~G5Xi9i - 参数运行文件的使用 [用例] E!@/N E\- C*O
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