锥形相位掩模的Talbot像

摘要

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。

建模任务

结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)

某一位置的Talbot图样 M;Wha;%E"
M0-,M/]l

某一位置的Talbot图样 U&y`-@A4
j1$<]f

不同位置的Talbot图样 r(}nhUQ%E
&-GuKH(Y<

不同位置的Talbot图样 wk02[
\]Z&P,}w

沿Z轴的强度 =ef1XQ{i*
)o8g=7Jm

走进VirtualLab Fusion F^'v{@C
S!7g)

VirtualLab Fusion的工作流程

 构建光栅结构
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例]
- 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例]

 通过参数运行计算不同位置的强度
- 参数运行文件的使用 [用例]

VirtualLab Fusion技术 h^d\xn9GT#
yId;\o B

文件信息 q\U4n[Zk
aG Ef#A

延伸阅读
- 超稀疏介质纳米线栅偏振片
- 光栅级次分析器
- Talbot效应的建模

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