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infotek 2021-02-07 10:45

锥形相位掩模的Talbot像

摘要 @cq`:_.[  
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在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 8yW oPm<A  
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建模任务 p{=QGrxB*  
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结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) q6wr=OWD  
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某一位置的Talbot图样 M;Wha;%E"  
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某一位置的Talbot图样 U&y`-@A4  
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不同位置的Talbot图样 r(}nhUQ%E  
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不同位置的Talbot图样 wk 02[  
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沿Z轴的强度 =ef1XQ{i*  
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走进VirtualLab Fusion F^'v{@C  
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VirtualLab Fusion的工作流程 797X71>  
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 构建光栅结构 5OB]x?4]  
- 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 1D$::{h  
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sA\L7`2H  
 通过参数运行计算不同位置的强度 ih!~G5Xi9i  
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VirtualLab Fusion技术 h^d\xn9GT#  
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文件信息 q\U4n[Zk  
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延伸阅读 $vqU|]J`  
- 超稀疏介质纳米线栅偏振片
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- 光栅级次分析器 m8u=u4z("  
- Talbot效应的建模 mb~./.5F  
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