cyqdesign |
2021-01-13 12:43 |
先进光学元件微纳制造与精密检测技术
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 t[q2W"#.
V5lUh#@TN& 《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富,理论分析深入,既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展,又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果,对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 6 EqN>. fSbLkd 9 [attachment=105380] }BM`4/ :Ob4WU 目录 *}C%z( 第1章 绪论 :(XyiF<Ud 1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 "^z%|uXkf 1.1.1 先进光学元件的特点 Nmx\qJUR( 1.1.2 先进光学元件的应用 FBl,Mky 1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 X >7Pqn' 1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 b<y*:(: 1.2 先进光学元件的制造技术 qe&|6 M! 1.2.1 光学元件的模压成形技术 E}4{{{r 1.2.2 光学元件的精密切削技术 6k0Awcr 1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 }T.>p#z 1.2.4 光学元件精密研抛技术 E?+~S M1~ 1.2.5 精密光学加工环境控制技术 1L::Qu%E 1.3 先进光学元件的检测与评价技术 aiX&` 1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 z+.G>0M 1.3.2 光学元件的检测技术 f.J^HQ_ 1.3.3 光学误差的评价方法 >e!J(4.- 参考文献 ?M'CTz}<\ kI`HD 第2章 先进光学元件加工装备技术 SHYekX 2.1 机床设计理论 g"sb0d9 2.1.1 机床设计要求 #tZ!D^GQHq 2.1.2 机床设计方法 9QP= 2.2 超精密机床关键部件及技术 qGag{E5! 2.2.1 主轴部件 BywEoS 2.2.2 直线导轨部件 H%m^8yW1 2.2.3 微位移进给部件 XwEMF5[ 2.3 超精密机床数控技术 U $#^ e 2.3.1 数控技术 hvTc( 0;mB 2.3.2 超精密加工数控系统 x=rMjz-`_ 2.3.3 开放式数控系统 -}TP)/!,* 2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 P4"BX*x 2.4 超精密磨削加工装备 qWK} 2.4.1 超精密加工装备技术综述 @{qcu\sZ 2.4.2 超精密磨削成形机床 HAE$Np|>a 2.5 超精密加工工具技术 xKL(:ePS 2.5.1 超精密切削加工刀具技术 *H/)S 5 2.5.2 超精密磨削砂轮技术 Uot(3p!S6 参考文献 R5b,/>^'A gAvNm[=wD2 第3章 先进光学元件磨削技术 Tg
O]q4 3.1 超精密磨削加工发展 x3'ANw6E 3.1.1 先进光学元件磨削技术概述
LT{g^g 3.1.2 延性磨削和镜面磨削 RQ|K?^k
v 3.2 超精密磨削过程分析 ]NaH *\q 3.2.1 超精密磨削机理 &O+S[~ 3.2.2 磨削过程基本参数 /b{@'] 3.3 超精密磨削加工关键技术
rY Puo 3.4 砂轮修整 pD P*
3 3.4.1 杯形砂轮修整 "=]'"'B: 3.4.2 ELID在线电解修整 (~\HizSl 3.4.3 放电修整 TQt[he$O 3.4.4 激光修整 >H euf"V 3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 S~ckIN] 3.5 非球面磨削加工技术 m6
M/G 3.5.1 微小非球面加工技术 zLr:zf l 3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 w,6gnO 3.5.3 自由曲面磨削加工技术 /FXb,)1t 3.6 工艺软件设计开发 <AVWT+, 3.6.1 数控编程格式 dn~k_J=p 3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 D {E,XOi 3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例 M| }?5NS
3.7 超声振动复合磨削加工技术 FFwu$S6e 3.8 加工实例 ;YokPiBy 参考文献 %[*_-% l-IA Q!d 第4章 先进光学元件抛光技术 (Ms #)E 4.1 超精密抛光加工发展 'yOx&~H] 4.2 平面光学元件抛光技术 q=cnY+p> 4.2.1 平面抛光原理 KxmB$x5-=8 4.2.2 平面抛光轨迹控制 3 P\4K 4.2.3 平面抛光材料去除模型 ,UVd+rY} 4.3 非球面光学元件抛光技术 !x-9A 4.3.1 非球面气囊抛光原理 P5XUzLV
L 4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 vEt=enQ 4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 N^`S'FVA 4.3.4 气囊抛光材料去除模型 yYJ +vs 参考文献 !Y^B{bh "5,Cy3 第5章 先进光学元件精密检测技术 $\oe}`#o 5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 iF##3H$c 5.1.1 摆臂式轮廓检测法 Ka{QjW!%d< 5.1.2 长行程轮廓检测法 R=NK3iGT f 5.1.3 五棱镜轮廓检测法 hsws7sH 5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 l
Hu8ADva 5.2.1 零位干涉检测技术 v~^*L iP+ 5.2.2 非零位干涉检测技术 .Pe^u%J6F 5.3 光学非球面精密检测平台 0}_1ZU 5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 4GJx1O0Ol 5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 <aMihT)dd 参考文献 A8nf"mRD: PVq y\i 第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 c@O7,y:`I 6.1 先进光学元件检测轨迹规划 @!\lt$ 6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 on\ahk, y] 6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 5n2}|V$VqP 6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 S`spUq1o 6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 :$^sI"hO 6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 QUdF`_U7 6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 `t#Ie* 6.3.1 数据处理系统总体设计 m,]h7 xx 6.3.2 数据预处理 Q0_|?]v 6.3.3 误差补偿及结果 :e4[isI 参考文献 `{@?O%UB J}&xS< 第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 0K^G>)l 7.1 超精密加工环境监控技术概述
7w|4BRL 7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 9fb"R"(M 7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 k@C]~1 7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 #kEa&Se 7.2.1 加工环境无线监控系统构成 ;Q8rAsf9 7.2.2 加工环境无线监控对象 <+7-^o_ 7.2.3 加工环境无线监控系统网络 ]?2&d[ 7.3 加工环境无线监控系统技术体系 qg-?Z,EB 7.3.1 系统硬件组成 ^sVB:? 7.3.2 系统软件组成 852Bh'u_ 7.4 加工环境无线监控系统监控实例 gcs8Gl2 参考文献 $30lNZK1m8 BBm;QOBU 第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 Si%K|$?@ 8.1 亚表面损伤概述 rsvGf7C 8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 R*psL&N 8.1.2 亚表面损伤的表现形式 0~N2MoOl^ 8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 a?9Ka!O4s 8.2 亚表面损伤的形成机理 ur`:wR] 2? 8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 >sE{c>R% 8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 mH} 1Zy 8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 (%EhkTb 8.3 亚表面损伤的检测与评价 gnSb)!i>z 8.3.1 损伤性检测技术 <P1sK/IZb 8.3.2 无损检测技术 KrT+Svm 8.3.3 亚表面损伤的评价 k@ZmI^ 8.3.4 亚表面损伤的预测 wrW768WR 8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 GKKf#r74 8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 k
GzosUt 8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 w;Na9tR 参考文献 B?J#NFUb 0dgp<
|
|