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2021-01-13 12:43 |
先进光学元件微纳制造与精密检测技术
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 IOY7w"|LW y\Utm$)j 《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富,理论分析深入,既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展,又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果,对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 EbVva{;#$; ZmNNR 1%/ [attachment=105380] ItZYOt|Hn U~;tk@ 目录 ^H{YLO 第1章 绪论 $$"G1<EZ 1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 &g1\0t 1.1.1 先进光学元件的特点 fFWi
3. 1.1.2 先进光学元件的应用 sf->8 1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 <gfRAeXA 1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 E-FR
w 1.2 先进光学元件的制造技术 !6@ 'H4cb= 1.2.1 光学元件的模压成形技术 g|7o1{ 1.2.2 光学元件的精密切削技术 cO5zg<wF 1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 Ym!e}`A\F 1.2.4 光学元件精密研抛技术 Kfr1k 1.2.5 精密光学加工环境控制技术 ASre@pW 1.3 先进光学元件的检测与评价技术 I~@8SSO,vH 1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 ={V@Y-5T 1.3.2 光学元件的检测技术 Ki7t?4YE 1.3.3 光学误差的评价方法 IF\ @uo` 参考文献 0y?;o*&U\ :."oWqb) 第2章 先进光学元件加工装备技术 Q~VM.G 2.1 机床设计理论 ~1[n@{*: ( 2.1.1 机床设计要求 6N5(DD 2.1.2 机床设计方法 Ke?,AWfG 2.2 超精密机床关键部件及技术 hqmE]hwc 2.2.1 主轴部件 X;Sb^c"j1 2.2.2 直线导轨部件 hpPacN 2.2.3 微位移进给部件 ]sk=V.GGQ 2.3 超精密机床数控技术 V[K N,o{6 2.3.1 数控技术 }u=Oi@~ 2.3.2 超精密加工数控系统 s.Ai_D 2.3.3 开放式数控系统 LdN[N^n[H 2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 lv'WRS'} 2.4 超精密磨削加工装备 zyUS$g]& 2.4.1 超精密加工装备技术综述 0doJF@H 2.4.2 超精密磨削成形机床 O=(F46 M 2.5 超精密加工工具技术 &ah%^Z4um 2.5.1 超精密切削加工刀具技术 %Uz\P|6PO 2.5.2 超精密磨削砂轮技术 VJ&<6 参考文献 ?_Z-}f wlaPE8Gc 第3章 先进光学元件磨削技术 6[c|14l 3.1 超精密磨削加工发展 bvB',yBZ 3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 #S'uqP! 3.1.2 延性磨削和镜面磨削 G2)F<Y 3.2 超精密磨削过程分析 Y%;X7VxU* 3.2.1 超精密磨削机理 KvPCb%!ZP 3.2.2 磨削过程基本参数 Ui`{U 3.3 超精密磨削加工关键技术 J&,hC%] 3.4 砂轮修整 '5De1K.\` 3.4.1 杯形砂轮修整 AJxN9[Z!N 3.4.2 ELID在线电解修整 F}ATY! 3.4.3 放电修整 hRu}P" 3.4.4 激光修整 Y$A2{RjRq 3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 ['.]) 3.5 非球面磨削加工技术 Hy&Z0W'l 3.5.1 微小非球面加工技术 ]h(Iun 3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 Babzrt- 3.5.3 自由曲面磨削加工技术 M-Efe_VRQc 3.6 工艺软件设计开发 C1=&Vm>g+ 3.6.1 数控编程格式 >Wt@O\k 3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 6{=U=
* 3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例 vf{$2rC 3.7 超声振动复合磨削加工技术 t:fz%IOe 3.8 加工实例 Cd
2<r6i 参考文献 w.(W G+ uH%b rbrU 第4章 先进光学元件抛光技术 LkS tU) 4.1 超精密抛光加工发展 v7wyQx+Q 4.2 平面光学元件抛光技术 Sl,DZ! 4.2.1 平面抛光原理 @Xl(A]w%! 4.2.2 平面抛光轨迹控制 K6p\ >J 4.2.3 平面抛光材料去除模型 VPYLDg.' 4.3 非球面光学元件抛光技术 w
a(Y[]V 4.3.1 非球面气囊抛光原理 `D~oY= 4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 <m`CLVx8m 4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 9=MNuV9/s 4.3.4 气囊抛光材料去除模型 Y^!qeY 参考文献 Ia}qDGqPp! =JzzrM|V* 第5章 先进光学元件精密检测技术 :p/=KI_ 5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 '`k7l7I[@ 5.1.1 摆臂式轮廓检测法 v.Bwg7R3 5.1.2 长行程轮廓检测法 ]A%3\)r 5.1.3 五棱镜轮廓检测法 zMbFh_dcq 5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 J4::.r 5.2.1 零位干涉检测技术 20|_wAA5 5.2.2 非零位干涉检测技术 =f!A o:Uc 5.3 光学非球面精密检测平台 'sUOi7U 5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 #C&';HB;y 5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 FXJ0
G>F 参考文献 8fP2qj0 n~ad#iN 第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 z.-yL,Rc`- 6.1 先进光学元件检测轨迹规划 7wh4~ 6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 t"GnmeH
i 6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 `D[O\ VE 6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 =M;F&;\8 6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 B.5+!z&7 6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 Dnw^H. 6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 &@oI/i&0B 6.3.1 数据处理系统总体设计 yM@sGz6c! 6.3.2 数据预处理 gPk,nB 6.3.3 误差补偿及结果 % akW43cE 参考文献 HAK,z0/ hb3:,c( 第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 e7;7TrB. 7.1 超精密加工环境监控技术概述 piM4grg
\ 7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 .>R`#@+I 7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 !VWA4 e!+ 7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 aH1CX<3)~ 7.2.1 加工环境无线监控系统构成 v3Vve:}+ 7.2.2 加工环境无线监控对象 EO)JMV?6 7.2.3 加工环境无线监控系统网络 ({t^/b*8 7.3 加工环境无线监控系统技术体系 MygAmV& 7.3.1 系统硬件组成 5`p9Xo>)yW 7.3.2 系统软件组成 vlkwWm 7.4 加工环境无线监控系统监控实例 xcW\U^1d 参考文献 ,:(s=JN+ gW~T{+f 第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 0o>C,
` 8.1 亚表面损伤概述 $~FZJ@qa 8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 8*0QVFn$ 8.1.2 亚表面损伤的表现形式 hc
q&`Gun 8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 +S4>}2N33 8.2 亚表面损伤的形成机理 NuR7pjNMZ 8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 JGHj(0j 8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 `YqtI/-w 8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 wx3_?8z/O 8.3 亚表面损伤的检测与评价 h<%$?h+} 8.3.1 损伤性检测技术 V>QyiB 8.3.2 无损检测技术 n3~axRPO 8.3.3 亚表面损伤的评价 ~_EDJp1J 8.3.4 亚表面损伤的预测 3!p`5hJd 8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 $}WT"K 8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 B.G6vx4yp 8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 -yqgs>R(d 参考文献 $XQgat@&] O
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