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2021-01-13 12:43 |
先进光学元件微纳制造与精密检测技术
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 f@ `*>" LBlN2)\@ 《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富,理论分析深入,既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展,又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果,对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 L36Yx7gT< a\5FAkI [attachment=105380] DVp5hR_$ pbk$o{$`W 目录 U.oksD9v 第1章 绪论 KG9t3<-` 1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 |(R5e 1.1.1 先进光学元件的特点 ?+C V1 ] 1.1.2 先进光学元件的应用 t%VDRZo7 1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 ^>c8t_RG 1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 Pcd *">v 1.2 先进光学元件的制造技术 x_w~G]! / 1.2.1 光学元件的模压成形技术 Ub$n |xn 1.2.2 光学元件的精密切削技术 LEW hb!U 1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 vDj;>VE2b 1.2.4 光学元件精密研抛技术 nhT(P`6 1.2.5 精密光学加工环境控制技术 P
}7zE3V 1.3 先进光学元件的检测与评价技术 $K}DB N; 4 1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 rxZi8w>} 1.3.2 光学元件的检测技术 +g *k*e>l 1.3.3 光学误差的评价方法 Zk-~ar 参考文献 },-* W#F Q,+0) 第2章 先进光学元件加工装备技术 S7iDTG_@t 2.1 机床设计理论 r|<DqTc6l 2.1.1 机床设计要求 K|S:{9Q 2.1.2 机床设计方法 Do7=#|bAM 2.2 超精密机床关键部件及技术 "eAy^, 2.2.1 主轴部件 ]c)_&{:V 2.2.2 直线导轨部件 R3.*dqo$ 2.2.3 微位移进给部件 vXj < 2.3 超精密机床数控技术 IND ]j72 2.3.1 数控技术 < B g8,; 2.3.2 超精密加工数控系统 ?*"srE,#JX 2.3.3 开放式数控系统 f2I6!_C!+ 2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 v;1F[?@3Y 2.4 超精密磨削加工装备 Zi\['2CG 2.4.1 超精密加工装备技术综述 d 4?d4;{ 2.4.2 超精密磨削成形机床
Y k7-` 2.5 超精密加工工具技术 WCJxu}! 2.5.1 超精密切削加工刀具技术 * *H&+T/B 2.5.2 超精密磨削砂轮技术 %qf V+^ 参考文献 una%[jTc 1j-te-}"c 第3章 先进光学元件磨削技术 =WZqQq{ 3.1 超精密磨削加工发展
kzmQm 3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 *u6Y8IL1 3.1.2 延性磨削和镜面磨削 d%@~mcH> 3.2 超精密磨削过程分析 :G w~7v_ 3.2.1 超精密磨削机理 lK'Rn~ 3.2.2 磨削过程基本参数 "L&'Fd@ZU 3.3 超精密磨削加工关键技术 |! SOG 3.4 砂轮修整 SAV%4 3.4.1 杯形砂轮修整 =QJRMF 3.4.2 ELID在线电解修整 wd@aw / 3.4.3 放电修整 ppIbjt6r 3.4.4 激光修整 ''OfS D_g 3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 #%@*p,xh 3.5 非球面磨削加工技术 C`jM0Q 3.5.1 微小非球面加工技术 ysIh[1E~%: 3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 ^-CINt{O 3.5.3 自由曲面磨削加工技术 J/!cGr(B~ 3.6 工艺软件设计开发 }U w&Ny 3.6.1 数控编程格式 spofLu. 3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 D<i[LZd 3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例 y;?ie]3G 3.7 超声振动复合磨削加工技术 ]{~NO{0@Y 3.8 加工实例 Do%-B1{ri 参考文献 D0(xNhmKz R1:k23{ 第4章 先进光学元件抛光技术 kPBV6+d~ 4.1 超精密抛光加工发展 Cd79 tu| 4.2 平面光学元件抛光技术 S_T^G` [ 4.2.1 平面抛光原理 yL^UE=#C_ 4.2.2 平面抛光轨迹控制 C'=k<- 4.2.3 平面抛光材料去除模型 *rZ^^`4R 4.3 非球面光学元件抛光技术 c H-@V< 4.3.1 非球面气囊抛光原理 ~1m2#> 4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 e6X[vc|Y} 4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 w:Jrmx 4.3.4 气囊抛光材料去除模型 N!Qg; ( 参考文献 `s '# O?8Ni=] 第5章 先进光学元件精密检测技术 3QSZ ZJ 5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 ]`g<w# 5.1.1 摆臂式轮廓检测法 @cRZk`|1n 5.1.2 长行程轮廓检测法 +5.t. d 5.1.3 五棱镜轮廓检测法 S.B<pjgt 5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 gx03xPeu 5.2.1 零位干涉检测技术
B .TB\j 5.2.2 非零位干涉检测技术 v{i7h|e 5.3 光学非球面精密检测平台 "M|P+A 5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 qj01] 5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 C 8#@+ Q. 参考文献 |8%m.fY` L.xZ_ 6 第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 dX8hpQ 6.1 先进光学元件检测轨迹规划 TUT][
=.= 6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 e98lhu"|H 6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 !KKT[28v 6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 nI*/Mhx 6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 ` b !5^W 6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 ""O" 6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 OQ :dJe6 6.3.1 数据处理系统总体设计 9[v1h,L 6.3.2 数据预处理 oMcK`%ydm 6.3.3 误差补偿及结果 QQk{\PV 参考文献 71#I5*8
qLncn}oNM 第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 ?%Rw(E 7.1 超精密加工环境监控技术概述 Dz!fpE'L 7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 *IlaM'[* 7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 VS#wl|b8 7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 6nDV1O5 7.2.1 加工环境无线监控系统构成 m,3er*t{ 7.2.2 加工环境无线监控对象 d
{lP 7.2.3 加工环境无线监控系统网络 z2ms^Y=j 7.3 加工环境无线监控系统技术体系 fQWIw 7.3.1 系统硬件组成 8$xPex~2 7.3.2 系统软件组成 RhF>T&Q 7.4 加工环境无线监控系统监控实例 Mr+@c) 参考文献 Q_*_?yf ,O=a*%0rt 第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 N5|Rmfo1 8.1 亚表面损伤概述 m!XI {F@x 8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 _\5~>g_ 8.1.2 亚表面损伤的表现形式 >: 0tA{bV 8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 D| I Ec? 8.2 亚表面损伤的形成机理 ~CRSL1? 8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 ${~|+zdB 8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 <Pqv;WI|R 8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 OL59e%X 8.3 亚表面损伤的检测与评价 :2V^K&2L 8.3.1 损伤性检测技术 B,$l4m4 8.3.2 无损检测技术 Z{-Lc68 8.3.3 亚表面损伤的评价 /k\01hc` 8.3.4 亚表面损伤的预测 ]rd/;kg.S 8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 =Cf] 8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 iMP 8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 khd5 Cf[ 参考文献 XaI;2fMGI
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