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cyqdesign 2021-01-13 12:43

先进光学元件微纳制造与精密检测技术

《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 t[q2 W"#.  
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《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富,理论分析深入,既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展,又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果,对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 6 EqN>.  
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目录 *}C%z(  
第1章 绪论 :(XyiF<Ud  
1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 "^z%|uXkf  
1.1.1 先进光学元件的特点 Nmx\qJUR(  
1.1.2 先进光学元件的应用 FBl,Mky  
1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 X>7Pqn'  
1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 b<y*:(:  
1.2 先进光学元件的制造技术 qe&|6M!  
1.2.1 光学元件的模压成形技术 E}4{{{r  
1.2.2 光学元件的精密切削技术 6k0Awcr  
1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 }T.>p#z  
1.2.4 光学元件精密研抛技术 E?+~S M1~  
1.2.5 精密光学加工环境控制技术 1L::Qu%E  
1.3 先进光学元件的检测与评价技术 aiX&`   
1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 z+.G>0M  
1.3.2 光学元件的检测技术 f.J^HQ_  
1.3.3 光学误差的评价方法 >e!J(4.-  
参考文献 ?M'CTz}<\  
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第2章 先进光学元件加工装备技术 SHYekX  
2.1 机床设计理论 g"sb0d9  
2.1.1 机床设计要求 #tZ!D^GQHq  
2.1.2 机床设计方法 9QP=  
2.2 超精密机床关键部件及技术 qGag{E5!  
2.2.1 主轴部件 Byw EoS  
2.2.2 直线导轨部件 H%m^8yW1  
2.2.3 微位移进给部件 XwEMF5[  
2.3 超精密机床数控技术 U $#^ e  
2.3.1 数控技术 hvTc( 0;mB  
2.3.2 超精密加工数控系统 x=rMjz-`_  
2.3.3 开放式数控系统 -}TP)/ !,*  
2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 P4"BX*x  
2.4 超精密磨削加工装备 qWK}  
2.4.1 超精密加工装备技术综述 @{qcu\sZ  
2.4.2 超精密磨削成形机床 HAE$Np|>a  
2.5 超精密加工工具技术 xKL(:ePS  
2.5.1 超精密切削加工刀具技术 *H/)S5  
2.5.2 超精密磨削砂轮技术 Uot(3p!S6  
参考文献 R5b,/>^'A  
gAvNm[=wD2  
第3章 先进光学元件磨削技术 Tg O]q4  
3.1 超精密磨削加工发展 x3'ANw6E  
3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 LT{g^g  
3.1.2 延性磨削和镜面磨削 RQ|K?^k v  
3.2 超精密磨削过程分析 ]NaH *\q  
3.2.1 超精密磨削机理 &O+S [~  
3.2.2 磨削过程基本参数 /b{@']  
3.3 超精密磨削加工关键技术 rYPuo  
3.4 砂轮修整 pDP* 3  
3.4.1 杯形砂轮修整 "=]'"'B:  
3.4.2 ELID在线电解修整 (~\HizSl  
3.4.3 放电修整 TQt[he$O  
3.4.4 激光修整 >Heuf"V  
3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 S~ckIN]  
3.5 非球面磨削加工技术 m6 M/G  
3.5.1 微小非球面加工技术 zLr:zfl  
3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 w,6gnO  
3.5.3 自由曲面磨削加工技术 /FXb,)1t  
3.6 工艺软件设计开发 <AVWT+,  
3.6.1 数控编程格式 dn~k_J=p  
3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 D {E,XOi  
3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例 M| }?5NS  
3.7 超声振动复合磨削加工技术 FFwu$S6e  
3.8 加工实例 ;YokPiBy  
参考文献 %[*_-%  
l-IA Q!d  
第4章 先进光学元件抛光技术 (Ms #)E  
4.1 超精密抛光加工发展 'yOx&~H]  
4.2 平面光学元件抛光技术 q=cnY+p>  
4.2.1 平面抛光原理 KxmB$x5-=8  
4.2.2 平面抛光轨迹控制 3 P\4K  
4.2.3 平面抛光材料去除模型 ,UVd+rY}  
4.3 非球面光学元件抛光技术 !x-9A  
4.3.1 非球面气囊抛光原理 P5XUzLV L  
4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 vEt=enQ  
4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 N^`S'FVA  
4.3.4 气囊抛光材料去除模型 yYJ +vs  
参考文献 !Y^B{bh  
"5,Cy3  
第5章 先进光学元件精密检测技术 $\oe}`#o  
5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 iF##3H$c  
5.1.1 摆臂式轮廓检测法 Ka{QjW!%d<  
5.1.2 长行程轮廓检测法 R=NK3iGTf  
5.1.3 五棱镜轮廓检测法 hsws7sH  
5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 l Hu8ADva  
5.2.1 零位干涉检测技术 v~^*L iP+  
5.2.2 非零位干涉检测技术 .Pe^u%J6F  
5.3 光学非球面精密检测平台 0}_1 ZU  
5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 4GJx1O0Ol  
5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 <aMihT)dd  
参考文献 A8nf"mRD:  
PVq y\i  
第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 c@O7,y:`I  
6.1 先进光学元件检测轨迹规划 @!\lt$  
6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 on\ahk, y]  
6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 5n2}|V$VqP  
6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 S`spUq1o  
6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 :$^sI"hO  
6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 QUdF`_U7  
6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 `t #I e *  
6.3.1 数据处理系统总体设计 m,]h7xx  
6.3.2 数据预处理 Q0_|?]v  
6.3.3 误差补偿及结果 :e4[isI  
参考文献 `{@?O%UB  
J}&xS<  
第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 0K^G>)l  
7.1 超精密加工环境监控技术概述  7w|4BRL  
7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 9fb"R"(M  
7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 k@C]~1  
7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 #kEa&Se  
7.2.1 加工环境无线监控系统构成 ;Q8rAsf 9  
7.2.2 加工环境无线监控对象 <+7-^o _  
7.2.3 加工环境无线监控系统网络 ]?2&d[  
7.3 加工环境无线监控系统技术体系 qg-?Z,EB  
7.3.1 系统硬件组成 ^sVB:?  
7.3.2 系统软件组成 852Bh'u_  
7.4 加工环境无线监控系统监控实例 gcs8Gl2  
参考文献 $30lNZK1m8  
BB m;QOBU  
第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 Si%K|$?@  
8.1 亚表面损伤概述 rsvGf7C  
8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 R*psL&N  
8.1.2 亚表面损伤的表现形式 0~N2MoOl^  
8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 a?9Ka!O4s  
8.2 亚表面损伤的形成机理 ur`:wR] 2?  
8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 >sE{c>R%  
8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 mH} 1Zy  
8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 (%EhkTb  
8.3 亚表面损伤的检测与评价 gnSb)!i>z  
8.3.1 损伤性检测技术 <P1sK/IZb  
8.3.2 无损检测技术 KrT+Svm  
8.3.3 亚表面损伤的评价 k@ZmI^  
8.3.4 亚表面损伤的预测 wrW768WR  
8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 GKKf#r74  
8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 k GzosUt  
8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 w;Na9tR  
参考文献 B?J #NFUb  
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