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2021-01-13 12:43 |
先进光学元件微纳制造与精密检测技术
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 {4"V)9o-1> S63Zk0(25 《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富,理论分析深入,既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展,又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果,对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 *O?c~UJhhV !e$gp(4
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B.z$0=b +)]YvZ6%[, 目录 p!.~hw9 第1章 绪论
y(A' *G9 1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 J~YT~D2L 1.1.1 先进光学元件的特点 Onmmcem 1.1.2 先进光学元件的应用 "fFSZ@,r 1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 ?KT{H(rU 1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 YJi%vQ*] 1.2 先进光学元件的制造技术 ]rcF/uQJ<n 1.2.1 光学元件的模压成形技术 jDzQw>TX 1.2.2 光学元件的精密切削技术 rIb+c=|F 1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 T t;F- 1.2.4 光学元件精密研抛技术 :<%bAn 1.2.5 精密光学加工环境控制技术 _z5/&tm_H 1.3 先进光学元件的检测与评价技术 8:cbr/F< 1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 9&Y@g)+2 1.3.2 光学元件的检测技术 !Sq<_TO 1.3.3 光学误差的评价方法 Hl*vS 参考文献 6&3,fSP =:W2NN' 第2章 先进光学元件加工装备技术 J3$>~?^1 2.1 机床设计理论 Iq$| ?MH
2.1.1 机床设计要求 I[z:;4W}L^ 2.1.2 机床设计方法 M .#} 2.2 超精密机床关键部件及技术
~zp8%lEe 2.2.1 主轴部件 -@TY8#O#- 2.2.2 直线导轨部件 9+.wj/75 2.2.3 微位移进给部件 *4,Q9K_ 2.3 超精密机床数控技术 Uj@th 2.3.1 数控技术 A|A~$v("R 2.3.2 超精密加工数控系统 jnH\}IB 2.3.3 开放式数控系统 {>&~kM@ 2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 gesbt 2.4 超精密磨削加工装备 ~ELY$G.xl 2.4.1 超精密加工装备技术综述 =u~nLL
2.4.2 超精密磨削成形机床 %&ejO=r 2.5 超精密加工工具技术 Q PH=`s 2.5.1 超精密切削加工刀具技术 ]5Cr$%H= 2.5.2 超精密磨削砂轮技术 :uL<UD,vu3 参考文献
J~~\0 u OV>&`puL 第3章 先进光学元件磨削技术 &(F
c .3m 3.1 超精密磨削加工发展 `FHudSK 3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 %Ymi,o> 3.1.2 延性磨削和镜面磨削 ~o}:!y 3.2 超精密磨削过程分析 )XI[hVUA 3.2.1 超精密磨削机理 <'y<8gpM 3.2.2 磨削过程基本参数 q?,PFvs" 3.3 超精密磨削加工关键技术 ;\MWxh,K 3.4 砂轮修整 /Vlc8G 3.4.1 杯形砂轮修整 1ni+)p>] 3.4.2 ELID在线电解修整 X2w)J?pv 3.4.3 放电修整 -H|
982= 3.4.4 激光修整 uU
d"l,V 3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 j,n:%5P\v 3.5 非球面磨削加工技术 iO L$| Z( 3.5.1 微小非球面加工技术 &AiAd6 3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 {QG.> lB 3.5.3 自由曲面磨削加工技术 F>;Wbk&[| 3.6 工艺软件设计开发 V"Q\7,_k. 3.6.1 数控编程格式 \S}/2]* 1 3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 '|}A/` 3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例 1;B~n5C. 3.7 超声振动复合磨削加工技术 lu=a e<M 3.8 加工实例 :X>Wd+lY:_ 参考文献 n,I3\l9 ly0R'4j \ 第4章 先进光学元件抛光技术 oEIpv;:_ 4.1 超精密抛光加工发展 r. 82RoG?G 4.2 平面光学元件抛光技术 MU<(O} 4.2.1 平面抛光原理 $4bc! 4.2.2 平面抛光轨迹控制 "t|)Kl 4.2.3 平面抛光材料去除模型 >?g@Nt8 4.3 非球面光学元件抛光技术 i_qY=*a?y 4.3.1 非球面气囊抛光原理 *WE8J#]d 4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 {16a P 4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 >$Y/B=e 4.3.4 气囊抛光材料去除模型 ZL|aB886 参考文献 >oh Cz@~ ay"jWL- 第5章 先进光学元件精密检测技术 ~nZcA^b#DQ 5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 k4+vI1Cs 5.1.1 摆臂式轮廓检测法 >Kgw2,y+ 5.1.2 长行程轮廓检测法 vCa8`m 5.1.3 五棱镜轮廓检测法 YRZ\nun 5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 -CPtYG[s 5.2.1 零位干涉检测技术 ;i@S}LwL 5.2.2 非零位干涉检测技术 *'@Oo 5.3 光学非球面精密检测平台 ch
i=]*9 5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 Gxr\a2Z&r% 5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 0`/G(ukO 参考文献 <kB:`&X<\ d$IROZK-D 第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 !GOaBs 6.1 先进光学元件检测轨迹规划 2 6#p,P 6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 Y ^^4n$ 6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 zlMh^+rMX 6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 sn"((BsO< 6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 .*zN@y3 6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 rr#nBhh8 6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 &ALnE:F 6.3.1 数据处理系统总体设计 H cmW 6.3.2 数据预处理 }:8}i;#M 6.3.3 误差补偿及结果 XgxE M1( 参考文献 _CD~5EA: Zue3Z{31T 第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 %.Y5%TyP 7.1 超精密加工环境监控技术概述 IQ&PPC 7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 aH}/+Hu- 7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 ^h?fr` 7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 ,gV#x7IW 7.2.1 加工环境无线监控系统构成 Jr!^9i2j' 7.2.2 加工环境无线监控对象 L0w6K0J4 7.2.3 加工环境无线监控系统网络 BN*:*cmUl 7.3 加工环境无线监控系统技术体系 V?XQjH1X 7.3.1 系统硬件组成 cSL6V2F 7.3.2 系统软件组成 ^0]0ss;##R 7.4 加工环境无线监控系统监控实例 pg{VKrT` 参考文献 f:PlMv!{ !*]i3 ,{7v 第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 99yWUC, 8.1 亚表面损伤概述 rKgl:sj+ 8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 ns~]a:1yh 8.1.2 亚表面损伤的表现形式 aM5]cc% 8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 /2Izj/Q 8.2 亚表面损伤的形成机理 UPtj@gtcY 8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 1PY]Q{r 8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 bi8_5I[ 8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 8AR8u!;8 8.3 亚表面损伤的检测与评价 [,Ehu<mEK 8.3.1 损伤性检测技术 {
^o.f 8.3.2 无损检测技术 Pmv@ 8.3.3 亚表面损伤的评价 vyZ&%?{*R 8.3.4 亚表面损伤的预测 r<!hEWO>v 8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 uV:R3#^ 8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 XG|N$~N+ 2 8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 )rEl{a 参考文献 xPZ>vCg *JK0X
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