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cyqdesign 2021-01-13 12:43

先进光学元件微纳制造与精密检测技术

《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 {4"V)9o-1>  
S63 Zk0(25  
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富,理论分析深入,既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展,又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果,对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 *O?c~UJhhV  
!e$gp (4  
[attachment=105380] B.z$0=b  
+)]YvZ6%[,  
目录 p!.~hw9  
第1章 绪论 y(A' *G9  
1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 J~YT~D 2L  
1.1.1 先进光学元件的特点 Onmmcem  
1.1.2 先进光学元件的应用 "fFSZ@,r  
1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 ?KT{H( rU  
1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 YJi%vQ*]  
1.2 先进光学元件的制造技术 ]rcF/uQJ<n  
1.2.1 光学元件的模压成形技术 jDzQw>T X  
1.2.2 光学元件的精密切削技术 rIb+c=|F  
1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 Tt;F-  
1.2.4 光学元件精密研抛技术 :<% bAn  
1.2.5 精密光学加工环境控制技术 _z5/&tm_H  
1.3 先进光学元件的检测与评价技术 8:cbr/F<  
1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 9&Y@g)+2  
1.3.2 光学元件的检测技术 !Sq<_TO  
1.3.3 光学误差的评价方法 Hl*vS  
参考文献 6&3,fSP  
=:W2NN'  
第2章 先进光学元件加工装备技术 J3 $>~?^1  
2.1 机床设计理论 Iq$| ?MH  
2.1.1 机床设计要求 I[z:;4W}L^  
2.1.2 机床设计方法 M  .#}  
2.2 超精密机床关键部件及技术 ~zp8%lEe  
2.2.1 主轴部件 -@TY8#O#-  
2.2.2 直线导轨部件 9+.wj/75  
2.2.3 微位移进给部件 *4,Q9K_  
2.3 超精密机床数控技术 Uj@th  
2.3.1 数控技术 A|A~$v("R  
2.3.2 超精密加工数控系统 jnH\}IB  
2.3.3 开放式数控系统 {>&~kM@  
2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 gesbt  
2.4 超精密磨削加工装备 ~ELY$G.xl  
2.4.1 超精密加工装备技术综述 =u~nLL  
2.4.2 超精密磨削成形机床 %&ejO= r  
2.5 超精密加工工具技术 Q PH=`s  
2.5.1 超精密切削加工刀具技术 ] 5Cr$%H=  
2.5.2 超精密磨削砂轮技术 :uL<UD,vu3  
参考文献 J~~\0 u  
OV>& `puL  
第3章 先进光学元件磨削技术 &(F c .3m  
3.1 超精密磨削加工发展 `FHudSK  
3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 %Ymi,o>  
3.1.2 延性磨削和镜面磨削 ~o}:!y  
3.2 超精密磨削过程分析 )XI[hVUA  
3.2.1 超精密磨削机理 <'y<8gpM  
3.2.2 磨削过程基本参数 q? ,PFvs"  
3.3 超精密磨削加工关键技术 ;\MWxh,K  
3.4 砂轮修整 /Vlc8G  
3.4.1 杯形砂轮修整 1ni+)p>]  
3.4.2 ELID在线电解修整 X2w)J?pv  
3.4.3 放电修整 -H| 9 82=  
3.4.4 激光修整 uU  d"l,V  
3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 j,n:%5P\v  
3.5 非球面磨削加工技术 iOL$|Z(  
3.5.1 微小非球面加工技术 &AiAd6  
3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 {QG.> lB  
3.5.3 自由曲面磨削加工技术 F>;Wbk&[|  
3.6 工艺软件设计开发 V"Q\7,_k.  
3.6.1 数控编程格式 \S}/2]* 1  
3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 '|}A /`  
3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例 1;B~n5C.   
3.7 超声振动复合磨削加工技术 l u=a e<M  
3.8 加工实例 :X>Wd+lY:_  
参考文献 n,I3\l9  
ly0R'4j \  
第4章 先进光学元件抛光技术 oEIpv;:_  
4.1 超精密抛光加工发展 r. 82RoG?G  
4.2 平面光学元件抛光技术 MU<(O}  
4.2.1 平面抛光原理 $4bc!  
4.2.2 平面抛光轨迹控制 "t|)Kl  
4.2.3 平面抛光材料去除模型 >?g@Nt8  
4.3 非球面光学元件抛光技术 i_qY=*a?y  
4.3.1 非球面气囊抛光原理 *WE8J#]d  
4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 {16a P  
4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 >$Y/B=e  
4.3.4 气囊抛光材料去除模型 ZL|aB886  
参考文献 >ohCz@~  
ay"jWL-  
第5章 先进光学元件精密检测技术 ~nZcA^b#DQ  
5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 k4+vI1Cs  
5.1.1 摆臂式轮廓检测法 >Kgw2,y+  
5.1.2 长行程轮廓检测法 vCa8`m  
5.1.3 五棱镜轮廓检测法 Y RZ\nun  
5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 -CPtYG[s  
5.2.1 零位干涉检测技术 ;i@S}LwL  
5.2.2 非零位干涉检测技术 *'@O o  
5.3 光学非球面精密检测平台 ch i=]*9  
5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 Gxr\a2Z&r%  
5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 0`/G(ukO  
参考文献 <kB:`&X<\  
d$IROZK-D  
第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 !GOaBs  
6.1 先进光学元件检测轨迹规划 2 6#p,P  
6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 Y ^^4n$  
6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 zlMh^+rMX  
6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 sn"((BsO<  
6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 .*zN@y3  
6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 rr# nBhh8  
6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 & ALnE:F  
6.3.1 数据处理系统总体设计 H cmW  
6.3.2 数据预处理 }:8}i;#M  
6.3.3 误差补偿及结果 XgxE M1(  
参考文献 _CD~5EA:  
Zue3Z{31T  
第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 %.Y5%T yP  
7.1 超精密加工环境监控技术概述 IQ&PPC  
7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 aH }/+Hu-  
7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 ^h?fr`  
7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 ,gV#x7IW  
7.2.1 加工环境无线监控系统构成 Jr!^9i2j'  
7.2.2 加工环境无线监控对象 L0w6K0J4  
7.2.3 加工环境无线监控系统网络 BN*:*cmUl  
7.3 加工环境无线监控系统技术体系 V?XQjH1X  
7.3.1 系统硬件组成 cSL6V2F  
7.3.2 系统软件组成 ^0]0ss;##R  
7.4 加工环境无线监控系统监控实例 pg{VKrT`  
参考文献 f:Pl Mv!{  
!*]i3 ,{7v  
第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 99yWUC,  
8.1 亚表面损伤概述 rK gl:s j+  
8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 ns~]a:1yh  
8.1.2 亚表面损伤的表现形式 aM5]cc%  
8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 /2Izj/Q  
8.2 亚表面损伤的形成机理 UPtj@gtcY  
8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 1PY]Q{r  
8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 bi8_5I[  
8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 8AR8u!;8  
8.3 亚表面损伤的检测与评价 [,Ehu<mEK  
8.3.1 损伤性检测技术 { ^o.f  
8.3.2 无损检测技术 Pmv@  
8.3.3 亚表面损伤的评价 vyZ&%?{*R  
8.3.4 亚表面损伤的预测 r<!hEWO>v  
8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 uV:R3#^  
8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 XG|N$~N+2  
8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 )rEl{a  
参考文献 xPZ>vCg  
* JK0X  
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