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2021-01-13 12:43 |
先进光学元件微纳制造与精密检测技术
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 -~f511<
El2e~l9 《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富,理论分析深入,既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展,又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果,对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 62'1X" myFAKRc [attachment=105380] h11.'Eej` {MdLX.ycc) 目录 &K+0xnUH 第1章 绪论 ! ]`
#JAL7 1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 9SQ4cv*2 1.1.1 先进光学元件的特点 X|LxV] 1.1.2 先进光学元件的应用 wBk@F5\< 1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 bO5k6i 1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 ]bdFr/!'S+ 1.2 先进光学元件的制造技术 ~ Hy,7 1.2.1 光学元件的模压成形技术 _Xcn
N:Rt 1.2.2 光学元件的精密切削技术 XMN:]!1J 1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 &BE
g 1.2.4 光学元件精密研抛技术 6X2PYJJZ 1.2.5 精密光学加工环境控制技术 sJx+8
- 1.3 先进光学元件的检测与评价技术 ,3i,P(?( 1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 RJeDEYXeg 1.3.2 光学元件的检测技术 AV8T 1.3.3 光学误差的评价方法 a,t``'c; 参考文献 aolN<u3G {XurC}#\ 第2章 先进光学元件加工装备技术 ^D^JzEy'?C 2.1 机床设计理论 WG71k8af 2.1.1 机床设计要求 5~sx:0; 2.1.2 机床设计方法 |R/.r_x,V? 2.2 超精密机床关键部件及技术 I`(l *U 2.2.1 主轴部件 `Mj}md;O" 2.2.2 直线导轨部件 ![6EUMx 2.2.3 微位移进给部件 "t=hzn"~% 2.3 超精密机床数控技术 U5HKRO 2.3.1 数控技术 \!50UVzm) 2.3.2 超精密加工数控系统 hg@}@Wq\) 2.3.3 开放式数控系统 @wmi5oExc 2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 zLw{ {| 2.4 超精密磨削加工装备 Q;Wj?8} 2.4.1 超精密加工装备技术综述 &)F*@C- 2.4.2 超精密磨削成形机床 2aA`f7 2.5 超精密加工工具技术 Uh1NO&i.W 2.5.1 超精密切削加工刀具技术 CWo1.pV w 2.5.2 超精密磨削砂轮技术 qZEoiNH(Tj 参考文献 DaH Z{T8>d -D^A:}$ 第3章 先进光学元件磨削技术 8e~|.wOL 3.1 超精密磨削加工发展 h&3YGCl 3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 o\otgyoh 3.1.2 延性磨削和镜面磨削 W=B"Q
qL 3.2 超精密磨削过程分析 2?C`4AR[2H 3.2.1 超精密磨削机理 #%@*p,xh 3.2.2 磨削过程基本参数 6(|d|Si *c 3.3 超精密磨削加工关键技术 %h"z0@+ 3.4 砂轮修整 IxR?' 3.4.1 杯形砂轮修整 ysIh[1E~%: 3.4.2 ELID在线电解修整 Qcjc, 3.4.3 放电修整 ^-CINt{O 3.4.4 激光修整 cV{%^0?D 3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 J/!cGr(B~ 3.5 非球面磨削加工技术 h4pTq[4* 3.5.1 微小非球面加工技术 q-ES6R 3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 J~B
7PW 3.5.3 自由曲面磨削加工技术 spofLu. 3.6 工艺软件设计开发 ;!<
Znw 3.6.1 数控编程格式 D<i[LZd 3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 u}bf-;R 3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例 y;?ie]3G 3.7 超声振动复合磨削加工技术 { x0 t 3.8 加工实例 ]{~NO{0@Y 参考文献 1=7jz]t 5Ky#GuC 第4章 先进光学元件抛光技术 F
09DV<j 4.1 超精密抛光加工发展 |IoB?^_h 4.2 平面光学元件抛光技术 Awv`) "RAR 4.2.1 平面抛光原理 RC|!+TD 4.2.2 平面抛光轨迹控制 x.0p%O=` 4.2.3 平面抛光材料去除模型 '\fY<Q:! 4.3 非球面光学元件抛光技术 W>(/ bX 4.3.1 非球面气囊抛光原理 I]"96'|N 4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 9z;HsU v 4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 ;|p$\26S)% 4.3.4 气囊抛光材料去除模型 '1fNBH2 参考文献 m@`8A :!;'J/B@.. 第5章 先进光学元件精密检测技术 <WXzh5D2 5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 1
Q-bYJG 5.1.1 摆臂式轮廓检测法 f=!PllxL: 5.1.2 长行程轮廓检测法 j6~nE'sQ 5.1.3 五棱镜轮廓检测法 *rZ^^`4R 5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 %B5r"=oO 5.2.1 零位干涉检测技术 v1k)hFjPK 5.2.2 非零位干涉检测技术 'Djm0 5.3 光学非球面精密检测平台 wfL-oi'5 5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 b?4/#&z] 5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 C.^Ven 参考文献 .O*bILU HBys 第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 5 )2:stT73 6.1 先进光学元件检测轨迹规划 ^[Ua46/" m 6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 *?+V65~dW 6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 c(co\A.]:6 6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 Bx"7%[ 6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 Nfe>3uQK 6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 SYeadsvF 6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 xt'tL:d 6.3.1 数据处理系统总体设计 vB37M@wm 6.3.2 数据预处理 rPc7(,o* 6.3.3 误差补偿及结果 S0g'r
!;6 参考文献 /MB{Pmk$R Zn,>]X 第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 MRr</o 7.1 超精密加工环境监控技术概述 ;U:
{/ 7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 4ww]9J 7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 6OiSK@<Hk 7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 G
a;.a 7.2.1 加工环境无线监控系统构成 vvB(r! 7.2.2 加工环境无线监控对象 &bgvy'p 7.2.3 加工环境无线监控系统网络 2nb:) 7.3 加工环境无线监控系统技术体系 Mfk2mIy 7.3.1 系统硬件组成 e&MC|US=\ 7.3.2 系统软件组成 obK*rdg, 7.4 加工环境无线监控系统监控实例 *'"T$ib 参考文献 k"kJ_( )CI1; 第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 o ]Jv;Iy@? 8.1 亚表面损伤概述 |8%m.fY` 8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 VN4yn| f/ 8.1.2 亚表面损伤的表现形式 L.xZ_ 6 8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 o }Tz"bN 8.2 亚表面损伤的形成机理 RUCPV[{b 8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 7z\m;
1 8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 Ae^X35 8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 @
P@c.*}s 8.3 亚表面损伤的检测与评价 xRuFuf8 8.3.1 损伤性检测技术 eMOD;{Q?X 8.3.2 无损检测技术 <";,GaZQ 8.3.3 亚表面损伤的评价 p3ISWJa! 8.3.4 亚表面损伤的预测 q0% 8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 S1n3(U:m 8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 n[Zz]IO,g 8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 ^^i6|l1 参考文献 O 2{)WWOT yix'rA -T
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