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cyqdesign 2021-01-13 12:43

先进光学元件微纳制造与精密检测技术

《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表,完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统;重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术;围绕实现确定性抛光,详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术;介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术,加工轨迹规划原理和数据处理方法,以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 IOY7w"|LW  
y\Utm$)j  
《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富,理论分析深入,既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展,又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果,对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 EbVva{;#$;  
ZmNNR 1%/  
[attachment=105380] ItZYOt|Hn  
U~;tk@  
目录 ^H{YLO  
第1章 绪论 $$"G1<EZ  
1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 &g1\0t  
1.1.1 先进光学元件的特点 fFWi 3.  
1.1.2 先进光学元件的应用 s f->8  
1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 <gfRAeXA  
1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 E-FR w  
1.2 先进光学元件的制造技术 !6@'H4cb=  
1.2.1 光学元件的模压成形技术 g|7o1{   
1.2.2 光学元件的精密切削技术 cO 5zg<wF  
1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 Ym! e}`A\F  
1.2.4 光学元件精密研抛技术 Kfr1k  
1.2.5 精密光学加工环境控制技术 AS re@pW  
1.3 先进光学元件的检测与评价技术 I~@8SSO,vH  
1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 ={V@Y-5T  
1.3.2 光学元件的检测技术 Ki7t?4YE  
1.3.3 光学误差的评价方法 IF\ @uo`  
参考文献 0y?;o*&U\  
:."oWqb)  
第2章 先进光学元件加工装备技术 Q~VM.G  
2.1 机床设计理论 ~1[n@{*:(  
2.1.1 机床设计要求 6N5(DD  
2.1.2 机床设计方法 Ke?,AWfG  
2.2 超精密机床关键部件及技术 hqmE]hwc  
2.2.1 主轴部件 X;Sb^c"j1  
2.2.2 直线导轨部件 hpPacN  
2.2.3 微位移进给部件 ]sk=V.GGQ  
2.3 超精密机床数控技术 V[KN,o{6  
2.3.1 数控技术 }u=Oi@~  
2.3.2 超精密加工数控系统 s.Ai _D  
2.3.3 开放式数控系统 LdN[N^n[H  
2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 lv'WRS'}  
2.4 超精密磨削加工装备 zyUS$g]&  
2.4.1 超精密加工装备技术综述 0doJF@H  
2.4.2 超精密磨削成形机床 O=(F46 M  
2.5 超精密加工工具技术 &ah%^Z4um  
2.5.1 超精密切削加工刀具技术 %Uz\P|6PO  
2.5.2 超精密磨削砂轮技术 VJ&<6  
参考文献 ?_Z -} f  
wlaPE8Gc  
第3章 先进光学元件磨削技术 6[c|14l  
3.1 超精密磨削加工发展 bvB', yBZ  
3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 #S'uqP!  
3.1.2 延性磨削和镜面磨削 G 2)F<Y  
3.2 超精密磨削过程分析 Y%;X7VxU*  
3.2.1 超精密磨削机理 KvPCb%!ZP  
3.2.2 磨削过程基本参数 Ui`{U  
3.3 超精密磨削加工关键技术 J&,hC%]  
3.4 砂轮修整 '5De1K.\`  
3.4.1 杯形砂轮修整 AJxN9[Z!N  
3.4.2 ELID在线电解修整 F}ATY!  
3.4.3 放电修整 hRu}P"  
3.4.4 激光修整 Y$A2{RjRq  
3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 ['.])  
3.5 非球面磨削加工技术 Hy&Z0W'l  
3.5.1 微小非球面加工技术 ] h(Iun  
3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 Babzrt-  
3.5.3 自由曲面磨削加工技术 M-Efe_VRQc  
3.6 工艺软件设计开发 C1=&Vm>g+  
3.6.1 数控编程格式 >Wt@O\k  
3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 6{=U= *  
3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例 vf{$2 rC  
3.7 超声振动复合磨削加工技术 t:fz%IOe  
3.8 加工实例 Cd 2<r6i  
参考文献 w.(WG+  
uH%b rbrU  
第4章 先进光学元件抛光技术 LkS tU)  
4.1 超精密抛光加工发展 v7wyQx+Q  
4.2 平面光学元件抛光技术 Sl, DZ!  
4.2.1 平面抛光原理 @Xl(A]w%!  
4.2.2 平面抛光轨迹控制 K6p\ >J  
4.2.3 平面抛光材料去除模型 VPYLDg.'  
4.3 非球面光学元件抛光技术 w a(Y[]V  
4.3.1 非球面气囊抛光原理 `D~oY=  
4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 <m`CLVx8m  
4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 9=MNuV9/s  
4.3.4 气囊抛光材料去除模型 Y^!qeY  
参考文献 Ia}qDGqPp!  
=JzzrM|V*  
第5章 先进光学元件精密检测技术 :p/=KI_  
5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 '`k7l7I[@  
5.1.1 摆臂式轮廓检测法 v.Bwg 7R3  
5.1.2 长行程轮廓检测法 ]A%3\)r  
5.1.3 五棱镜轮廓检测法 zMbFh_dcq  
5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 J4::.r  
5.2.1 零位干涉检测技术 20|_wAA5  
5.2.2 非零位干涉检测技术 =f!A o:Uc  
5.3 光学非球面精密检测平台 'sUOi7U  
5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 #C&';HB;y  
5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 FXJ0 G>F  
参考文献 8fP2qj0  
n~ad#iN  
第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 z.-yL,Rc`-  
6.1 先进光学元件检测轨迹规划 7wh4~  
6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 t"GnmeH i  
6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 `D[O\ VE  
6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 =M;F&;\8  
6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 B.5+!z&7  
6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 Dnw^H.  
6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 &@oI/i&0B  
6.3.1 数据处理系统总体设计 yM@sGz6c!  
6.3.2 数据预处理 gPk,nB  
6.3.3 误差补偿及结果 %akW43cE  
参考文献 HAK,z0/  
hb3:,c(  
第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 e7;7TrB.  
7.1 超精密加工环境监控技术概述 piM4grg \  
7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 .>R`#@+I  
7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 !VWA4 e!+  
7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 aH1CX<3)~  
7.2.1 加工环境无线监控系统构成 v3Vve:}+  
7.2.2 加工环境无线监控对象 EO)JMV?6  
7.2.3 加工环境无线监控系统网络 ({t^/b*8  
7.3 加工环境无线监控系统技术体系 MygAmV&  
7.3.1 系统硬件组成 5`p9Xo>)yW  
7.3.2 系统软件组成 vlkw Wm  
7.4 加工环境无线监控系统监控实例 xcW\U^1d  
参考文献 ,:(s=J N+  
gW~T{+f  
第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 0o>C, `  
8.1 亚表面损伤概述 $~FZJ@qa  
8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 8*0QVFn$  
8.1.2 亚表面损伤的表现形式 hc q&`Gun  
8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 +S4>}2N33  
8.2 亚表面损伤的形成机理 NuR7pjNMZ  
8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 JGHj(0j  
8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 `YqtI/-w  
8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 wx3_?8z/O  
8.3 亚表面损伤的检测与评价 h<%$?h+}  
8.3.1 损伤性检测技术 V>QyiB  
8.3.2 无损检测技术 n3~axRPO  
8.3.3 亚表面损伤的评价 ~_EDJp1J  
8.3.4 亚表面损伤的预测 3!p`5hJd  
8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 $}W T"K  
8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 B.G6vx4yp  
8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 -yqgs>R(d  
参考文献 $XQgat@&]  
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