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利用衍射扩散器使准分子激光光束均匀化
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infotek
2021-01-11 10:54
利用衍射扩散器使准分子激光光束均匀化
本案例介绍利用衍射扩散器使准分子激光光束均匀化,通过优化扩散器以生成一个圆形的
top hat
。
. ;q4<_
b_T?jCyW
关键词:
衍射光学,衍射光学元件,均匀(
homogenization
),扩散器,准分子激光,部分相干
4`#3p@-
G\:^9!nwY~
所需工具箱:
Starter Toolbox Premium
0 SeDBs
C) "|sG
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HSL.1, DO.2
A9HJWKO
?4i:$.A Y
建模任务
7J@D})si
衍射扩散传输器
目标平面
T5+iX`#M
s`:-6{E
-] .Y";
准分子激光
聚焦透镜(
f=20mm
)
强度分布
#]!0$z|Z
&18CCp\3)c
r&t)%R@q
照射光束参数
`Vqpo/
Y|iJO>_Uu=
·光源面尺寸:
100
×
100um
:5`BhFAd
·发散角(
HWHM
):
0.89
×
0.89
°
U,4:yc,)s
·空间相干长度:
3
×
3 um
dM1)wkbET
·波长:
351nm
/U#{6zeM[,
n)7olP0p
,S i23S\
衍射发散器
{D jz']
L27i_4E,
0?",dTf3i
·取样间隔:
5um
Y(4#b`k3
·尺寸:
640
×
640um
FV&&
·相位阶数:
8
/v1Rn*VF!
;O2r+n
发散传输器相位
e'c~;Z\A
<|s9@;(I
载入光路径图
:>.~"uWo{
/f9jLY+
qxsK-8KT<
iG1vy'J#o
0~\Dd0W/:`
·载入文件
HSL.002_Homogenization_Excimer_Laser_by_DOE_01.lpd
。
&Oq&ikw
5CxD ys&<
·
该文件在本案例
VL_Samples
文件夹中。
~5HI9A4^
k@eU #c5c
高斯型面光源
`V@{#+X
#`C;@#xr
J@y1L]:
T6|zT}cb
Y)>GwFK$
双击
Gaussian Type Plane Source
打开编辑对话框。
vmW4 3K;
vnXa4\Vdy
VN[h0+n4Th
·
Gaussian Type Plane Source
利用一些非相干高斯光源来模拟空间相干光源。
O4kBNUI/
·
光源需通过以下设置来对准分子激光束建模。
&P%3'c}G
·
第一步将波长设为
351nm
。
Ch`XwLY9
·
在
Power Spectrum Type
下拉框中选择
Single Wavelength
。(
VirtualLab
同样支持多波长的模拟。)
Z~tOR{q
ldo7}<s
Kc*h@#`~oL
·转到
Spatial Parameters
;/W;M> ^
TE4{W4I
Vc3tKuMsiX
标签页中更改光源的辐射特性。
+k'5W1e
q@ >s#
·光源由
Size of Source Plane
和
Divergence angle
或
Coherence Length
或
Waist Radius
其中的一种来定义。后面的三个参数不能独立改变,因为它们彼此相关。
m9UI3fBX
·按照截图输入
Size of Source Plane
和
Spatial Coherence Length
值。
*]fBd<(8
Bl-nS{9"
LXaT_3;
s% "MaDz
·
转到
Mode Selection
标签页。
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