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infotek 2021-01-11 10:45

镀膜倾斜光栅

镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 %9vl  
Sf*1Z~P|  
关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） q"(b}3  
;n,xu0/  
所需工具：Grating Toolbox Basic FD'yT8]"  
6 &Lr/J76  
相关Tutorials：G.001; G.014 moS0y?N  
建模任务 n f.H0i;  
hk+8s\%-  
理想平面波照射 e dTFk$0  
FYs]I0}|  
j%+>y;).  
?}RPn f  
qP{Fwn  
2nf<RE>  
镀膜倾斜光栅 :a/l9 m(  
目标平面 "?%2`*\  
}#r awVe=  
周期：10um wKU9I[]  
厚度：10um &NKb},~  
倾斜角度：20度 | |"W=E  
 LXoZ.3S  
光栅的参数 HmiG%1+{A  
tm&,u*6$W?  
—倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 @AtJO>w  
kx?f,^ -  
—填充因子                           2—后面的介质 Um^4[rl:#g  
—膜层厚度                           3—膜层材料 S=}1k,I  
—光栅厚度 iD*21c<kd  
40%fOu,u`  
\5|MW)x  
NX4G;+6  
 fUMjLA|*I<  
!\VzX  
设置层数和转折点 {p.^E5&  
w_h{6Kc<  
B"YN+So  
2       设置层数和转折点以确定膜层 5^D094J|^  
/!?b&N/d)  
<?nz>vz  
2       可以通过Structure Preview 按钮查看 !(Ymc_s  
a,36FF~&  
JC0#pU;  
实现可编程光栅 >AFQm  
C$p012D1  
~&?57Sw*m  
fMIRr5  
  ZC]|s[  
inY_cn?  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） _@i-?Q  
cLEd -{x  
4E2#krE%  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 7t+d+sQ-l  
Gphy8~eS  
qfG:v Tm  
hraR:l D  
#W6 6`{>  
   JH| D  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ?wu@+  
\q?^DI:`   
Siq]Ii0F;>  
2       双击Data Series Diagram 4[i 3ckFT,  
^KdT,^6T  
采样结果 MJh.)kd$  
:pM)I5MN[  
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. d5NE:%K  
[(2^oTSRaq  
QQ：2987619807
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