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infotek 2021-01-11 10:45

镀膜倾斜光栅

镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 {'o\#4 Wk  
.c@,$z2M  
关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） mSp;(oQ  
qbo W<W<H1  
所需工具：Grating Toolbox Basic ,Z(J;~  
~./M5P!\  
相关Tutorials：G.001; G.014 b(_PV#@$  
建模任务 `7_s@4:  
R-5e9vyS  
理想平面波照射 '.zr:l  
Gx-tPW}  
;CA7\&L>  
I z)~h>-F  
ys9MV%*  
SA.,Q~_T7  
镀膜倾斜光栅 SI;SnF'[7  
目标平面 p"q4R2_/jh  
6}q# c  
周期：10um 6zJ>n~&(  
厚度：10um Nk shJ2  
倾斜角度：20度 #zKF/H|_R  
#}zL?s^G  
光栅的参数 ipJnNy;  
E#,n.U>#)  
—倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 u )KtvC!  
S.NLxb/  
—填充因子                           2—后面的介质 g/x\#W  
—膜层厚度                           3—膜层材料 m>-(c=3  
—光栅厚度 q}%;O >Z  
&;oWmmvz{  
D(Yq<%Q  
=#{i;CC%  
 8(0q,7)y  
SK {ALe  
设置层数和转折点 IF.6sJg:  
ceGo:Aa<)  
/,2${$c!  
2       设置层数和转折点以确定膜层 9h 0^_|"  
j?P8&Fm<  
}5sJd>u5^  
2       可以通过Structure Preview 按钮查看 Q2ky|  
"e~"-B7(\Y  
@d=4C{g%o  
实现可编程光栅 a |+q:g0M  
U/bQ(,3}  
C6(WnO{6  
`)s>},8W!  
 WjvD C"  
IBr|A  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 9% AL f 9  
]Vgl  
Ga} &%  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） c`h/x>fa  
(@1*-4l  
1A b=1g{  
Mlr}v^"G  
J|2OmbJe  
   ^gD%#3>X  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） @q]{s+#Xf  
!{L`Zd;C>w  
');QmN%J  
2       双击Data Series Diagram \Q<Ur&J]%  
pg'3j3JW$  
采样结果 ?H_'L4Wv  
jPf*qe>U  
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. xl~%hwBd  
s`:-6{E  
QQ：2987619807
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