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infotek 2021-01-11 10:45

镀膜倾斜光栅

镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 zc_3\N  
X#fI$9a  
关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） I#0$5a},u^  
t_3XqjuA  
所需工具：Grating Toolbox Basic rTcH~s D`  
n#iL[ &/Aw  
相关Tutorials：G.001; G.014 6w' ^,V  
建模任务 &( Z8G~h4  
?%?@?W>s@  
理想平面波照射 *ZRQ4i[+  
K=;p^dE  
giv cq'L  
#'8E%4  
dPS}\&1  
y3l sAe#  
镀膜倾斜光栅 k;]&`c^5  
目标平面 /D eU`rj  
m]85F^R0  
周期：10um $WDa} ~j~^  
厚度：10um v6FYlKU@8  
倾斜角度：20度 J::dY~@  
^z_~e@U  
光栅的参数 z7}@8F  
h[Hw9$31  
—倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 <)&;9C  
]cbY@U3!2  
—填充因子                           2—后面的介质 m}k rG  
—膜层厚度                           3—膜层材料 &BP%~  
—光栅厚度 s i C/k*  
N[Fz6,ZG _  
NcdOzx>  
B?k75G  
 A@GyKx%x$  
P9gIKOOx#4  
设置层数和转折点  'y1=Z  
b}Jcj  
M Su_*&j9T  
2       设置层数和转折点以确定膜层 !pgkUzMW  
U:p<pTnMR  
4]B(2FR[8  
2       可以通过Structure Preview 按钮查看 X ZfT;!wF&  
`uY77co6  
w18kTa!4@  
实现可编程光栅 C"K(-/  
\G2&   
5G|(od3  
\ 7jK6;R<  
 &W*9'vSm.  
}k$2r3  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） d(<[$ 3.  
bNi\+=v<Ys  
Y'wQ(6ok  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） G7 b>r  
3nMXfh/  
w(0's'  
wP29 xV"5  
NLRgL'+F  
   M"W-|t)~  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） !c/G'se  
sSU p7V  
e2~&I`ct  
2       双击Data Series Diagram <7-3j{065  
Xi$2MyRd  
采样结果 I'm.+(1m,  
*>I4X=  
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. >La!O~d  
{wVj-w=<W  
QQ：2987619807
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