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infotek 2021-01-11 10:45

镀膜倾斜光栅

镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 q,<[hBri-  
HhA -[p  
关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） ;;5Uwd'-  
Mv|ykJoz"  
所需工具：Grating Toolbox Basic 3>zN/ f  
QYXx:nIrg  
相关Tutorials：G.001; G.014 [#" =yzR<3  
建模任务 "`}~~.q  
QVZD/shq  
理想平面波照射 {-9jm%N  
nU+tM~C%a  
va/m~k|i  
z2ms^Y=j  
mtic>  
C2]Kc{4  
镀膜倾斜光栅 +i `*lBup$  
目标平面 F0~k1TDw  
W [[oSqp  
周期：10um O9v_y+M+M  
厚度：10um F}Mhs17!|  
倾斜角度：20度 @#+jMV$g  
:/YO ni1h  
光栅的参数 `|1MlRM9  
q^8EOAvnZ  
—倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 1`f_P$&Z_J  
y-?>*fN o  
—填充因子                           2—后面的介质 >: 0tA{bV  
—膜层厚度                           3—膜层材料 kg5ev8  
—光栅厚度 Hyk'c't_O  
u'Q?T7  
7&}P{<}o^  
lYf+V8{  
 =<f-ob8,  
oR+-+-? ?$  
设置层数和转折点 1.@vS&Y7OE  
 R)Q 4  
V|Tud  
2       设置层数和转折点以确定膜层 +%J\y^09kr  
Ob+9W  
x  FJg  
2       可以通过Structure Preview 按钮查看 xc 1A$EY  
Q.-*7h8  
V+MK'<#B  
实现可编程光栅 \L!uHAE2a  
9>m%`DG*  
m/&i9A  
)yee2(S  
 wjU.W5IR  
d<p2/aA  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） W+>wu%[L  
l4'~}nn(Y  
>X}{BDMb.  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） )-P!Ae_.v  
#m. AN  
`{<frB@  
R zR?&J  
8m=Z|"H@  
   H>7dND 2;  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） mLL$|  
@Z(rgF{{  
[5ethM  
2       双击Data Series Diagram 9V!-ZG  
a_T,t'6  
采样结果 K!{5 [G  
3><u*0qe%I  
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. )na&" bJ  
nnCug  
QQ：2987619807
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