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infotek 2021-01-11 10:45

镀膜倾斜光栅

镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 YRd`G3J  
/V#? d  
关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） ,Ik~E&Ku2'  
zG^$-L.n  
所需工具：Grating Toolbox Basic iU3PlF[B/o  
1\)lD(J\C  
相关Tutorials：G.001; G.014 %[azMlp<  
建模任务 HnsLYY\  
,pQ[e$u1  
理想平面波照射 2:e7'}\D.  
EV-# E  
'SrDc'?  
Dqd2e&a\  
8=?U7aw  
^<   
镀膜倾斜光栅 j7NOYm5N  
目标平面 \(`C*d  
jJ,y+o  
周期：10um 0I2?fz)  
厚度：10um 0V`~z-#  
倾斜角度：20度 ;z+}|>!  
b5f+q:?{  
光栅的参数 2=1qmQE  
,\d03wha  
—倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 gi)C5J4  
_x,(576~  
—填充因子                           2—后面的介质 w"O;: `|n  
—膜层厚度                           3—膜层材料 6KPjZC<  
—光栅厚度 N$.ls48a4-  
T eu.i   
L6ypn)l  
s*eM}d.p  
 'AmA3x)9u  
t?=V<Yd1  
设置层数和转折点 1YU?+K  
|t;Ktl  
T]b&[?p|a[  
2       设置层数和转折点以确定膜层 C+mPl+}w  
lh!8u<yv*  
O-P`HKr  
2       可以通过Structure Preview 按钮查看 */$]kE  
5-S-r9  
54RexB o  
实现可编程光栅 [=u@6Y  
G%h+KTw  
uv{*f)j/d  
wOrj-Smx  
 Mt%Q5^  
z(>:LX"xz  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） y S<&d#:"  
:r{W)(mm  
<xH! Yskc  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） BA T.>  
I+jc  
\\d8ulu  
2+R]q35-  
(dV7N  
   T~p>Ed9  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转）  x_/H  
1 7 iw`@  
y\dx \  
2       双击Data Series Diagram >gn@NJ2N  
xr!A>q+@i  
采样结果 D(e,R9hPU  
(+BrC`  
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. G,(Xz"`,  
?3v-ppw%  
QQ：2987619807
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