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infotek 2021-01-11 10:45

镀膜倾斜光栅

镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 G$MEVfd"  
FX|&o >S(8  
关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） \3^ue0  
Es)|#0m\x@  
所需工具：Grating Toolbox Basic 0kOwA%m  
^Y%_{   
相关Tutorials：G.001; G.014 &0q pgl|  
建模任务  =g M@[2  
?_^{9q%9  
理想平面波照射 <?5|(Q"@:  
HOFxOBV  
L*[3rqER  
->{-yh]jv  
[K\b"^=<  
Y.]$T8  
镀膜倾斜光栅 \rzMgR$/rj  
目标平面 ceJi|`F  
z<vh8dNl  
周期：10um aE 9Y |6  
厚度：10um &k%>u[Bo  
倾斜角度：20度 l[ $bn!_ e  
tLa%8@;'$  
光栅的参数 |&rCXfC  
!Vw1w1  
—倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 % J^x `P  
CL4N/[UM  
—填充因子                           2—后面的介质 Lm2) 3;ei  
—膜层厚度                           3—膜层材料 @:9Gs!!  
—光栅厚度 poxF`a6e+  
Q'jw=w!|g  
t'Wv? ,  
3>@VPMi  
 yW= +6@A4  
WXY'%G  
设置层数和转折点 tj[E!  
")STB8kQ  
W H/.h$  
2       设置层数和转折点以确定膜层 U*$xR<8v  
u6ULk<<\  
8$ u"92  
2       可以通过Structure Preview 按钮查看 Fds 11 /c7  
6~x'~T  
=#S.t:HQ*  
实现可编程光栅 daI_@kY"  
nOL"6%q  
R; c9)>8L  
r_#dh  
 bT^dtEr[  
\H@1VgmR;  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） m"iA#3l*=  
@5S'5)4pB  
*kl  :/#  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） _NsEeKU  
!{t|z=Qg  
T+F]hv'  
fx{8ERo  
2+ cs^M3  
   +SH{`7r  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 6`e7|ilh6  
Mz(Vf1pi%  
akzGJ3g  
2       双击Data Series Diagram 6(f 'P_*  
.+/d08]  
采样结果 E=p+z"Ui  
GBbnR:hM  
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. sI!H=bp-8  
`x`[hJ?i  
QQ：2987619807
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