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infotek 2021-01-11 10:45

镀膜倾斜光栅

镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 ls[0X82F  
|pLx,#n  
关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） 7p1f*N[X  
{BV0Y.O  
所需工具：Grating Toolbox Basic ~]f6@n  
yuP1*QJ%  
相关Tutorials：G.001; G.014 IQZ/8UwB  
建模任务 $?P5A E  
_43'W{%  
理想平面波照射 T)c<tIr6  
qAI %6d  
a+mrsyM  
jD}G9=[$1  
&|9K~#LVS  
KC+jHk  
镀膜倾斜光栅 I9  (6  
目标平面 +H{TV#+r  
=D~>$ Y  
周期：10um x-nO; L-2p  
厚度：10um Q DVk7ks  
倾斜角度：20度 7q%xF#mK=  
WUBI( g\  
光栅的参数 vKO/hZBh  
B,S~Idr}  
—倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 =;Q:z^S  
0Sj B&J  
—填充因子                           2—后面的介质 )L/0X40<.  
—膜层厚度                           3—膜层材料 c7~'GXxQ2  
—光栅厚度 v<3KxP'a  
XCyU)[wY  
rnyXMt.q  
+'|nsIx,  
 FG!2h&k  
xyD2<?dGUb  
设置层数和转折点 %?hvN  
[KL-T16  
Xj9\:M-  
2       设置层数和转折点以确定膜层 +)hxYLk&I  
0%<OwA2d  
({3Ap{Q}  
2       可以通过Structure Preview 按钮查看 hmkm^2  
\Up~ "q>Kb  
)+Y"4?z~  
实现可编程光栅 l6*MiX]q  
1}_4C0h\'  
W{%X1::q$  
h% eGtd$n  
  PI.Zd1r  
,j6 R/sg  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） A$M8w9  
9=q&SG  
>4#: qIU  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 8y']kVg  
efNscgi  
f(G1xw]]@Y  
bcq&yL'D  
d6a3\f  
   8@[S,[  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） aGd wuD  
C :An  
@eM$S5&n$  
2       双击Data Series Diagram k`;d_eW  
Xj{gyLs  
采样结果 F$-fj "jC  
P!"{-m'  
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. xL*J9&~iG  
{P_i5V?  
QQ：2987619807
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