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infotek 2021-01-11 10:45

镀膜倾斜光栅

镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 ya.n'X14  
Z|I-BPyn  
关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） JGis"e  
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所需工具：Grating Toolbox Basic }RIU8=P  
>La><.z~  
相关Tutorials：G.001; G.014 6WeM rWx  
建模任务 q_sEw~~@!  
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理想平面波照射 Bd&`Xfebj  
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镀膜倾斜光栅 k"0;D-lTZ>  
目标平面 s6n`?,vw  
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周期：10um Juu+vMn1  
厚度：10um YG`? o  
倾斜角度：20度 ugLlI2 nJ  
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光栅的参数 {[W(a<%bXm  
A[)C:q,  
—倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 2khh4?|\  
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—填充因子                           2—后面的介质 0%#\w*X8  
—膜层厚度                           3—膜层材料 lP3h<j  
—光栅厚度 p0VUh!  
(%'9CfPx  
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Q4Q pn  
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'3Q3lM'lh  
设置层数和转折点 J# EP%  
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v0LGdX)/Y  
2       设置层数和转折点以确定膜层 ? JXa~.dA  
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2       可以通过Structure Preview 按钮查看 D(\$i.,b2  
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实现可编程光栅 i=rH7k  
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参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Md&WJ };L  
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参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） sn{tra  
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参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） e.vtEQV9  
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2       双击Data Series Diagram qLK?%?.N<  
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采样结果 m;,xmEp  
eUBrzoCO  
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. @_yoX(.E&  
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QQ：2987619807
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