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infotek 2021-01-11 10:45

镀膜倾斜光栅

镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 CYY X\^hA  
Rq~ >h99M  
关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） VhJyWH%(  
23.y3t_?  
所需工具：Grating Toolbox Basic 1`7]C+Pv  
q| de*~@-P  
相关Tutorials：G.001; G.014 E#WjoIk  
建模任务 3(XHF3q  
:d:|7hlNQ  
理想平面波照射 .F=<r-0  
4OB~h]Vc  
N69eI dl  
l=<F1Lz  
&9GR2GY  
j.G.Mx"  
镀膜倾斜光栅 X8NO;w@z#  
目标平面 D|8sjp4  
 `i_L?C7  
周期：10um 9, sCJ5bb"  
厚度：10um 3e!a>Gl*  
倾斜角度：20度 v\r7.l:hf  
s|rZ>SLL  
光栅的参数 D+@/x{wX2  
~L Bq5a  
—倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 <LOx.}fv  
eO[Cb]Dy:  
—填充因子                           2—后面的介质 #E~WVTO w  
—膜层厚度                           3—膜层材料 8M(|{~~3:  
—光栅厚度 $=S'#^Z  
(Mire%$h  
!<UEq`2  
xSMp[j  
 GhfUCW%  
kxKnmB#m-  
设置层数和转折点 ^7^bA  
AcfkY m~  
7.Kjg_N#Tr  
2       设置层数和转折点以确定膜层 1Ag;s  
W;)FNP|MT  
KTAe~y  
2       可以通过Structure Preview 按钮查看 <PuB3PEvV  
s poWdRM2  
9OO_Hp#|9  
实现可编程光栅 &j~|3  
3I{ta/(  
o- e,  
H2pXJ/XF  
 e 7)%=F/)  
Lw+1|  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） yPxG`w'  
 F>oxnhp6  
?M{ 6U[?  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） lVp~oZC6[  
{-7yZ]OO$  
ek.WuOs  
1j) !d$8  
A>1p]#  
   \eSk7C  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） CTrs\G  
Ev|{~U  
oTV8rG  
2       双击Data Series Diagram o:Os_NaD  
gBiQIhz  
采样结果 elHarey`f  
V1fvQ=9  
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 'V9aB5O&  
_>)"+z^r  
QQ：2987619807
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