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infotek 2021-01-11 10:45

镀膜倾斜光栅

镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 nvwDx*[qN  
=z']s4  
关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） k4* ! Q_A  
fzOMX z  
所需工具：Grating Toolbox Basic %L.rcbg:<c  
'NRN_c9  
相关Tutorials：G.001; G.014 )uu wwz  
建模任务 +;5Wp$ M\  
I[a%a!QO  
理想平面波照射 /!o1l\i=5  
(#lm#?<)  
^w ]1qjGw  
%!#rrt,F  
=NI.d>kvC  
xQ_:]\EZ  
镀膜倾斜光栅 .2{6h  
目标平面 nN!vgn j  
=54Vs8.  
周期：10um " -<}C%C  
厚度：10um C!oksI  
倾斜角度：20度 ~m3V]v(q7  
`=PB2'  
光栅的参数 8p3ZF@c~ t  
1@s^$fvW  
—倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 h7)VJY  
qb 46EZu  
—填充因子                           2—后面的介质 ktdz@f  
—膜层厚度                           3—膜层材料 20S9/9ll  
—光栅厚度 MJpP!a^Q  
QGu7D #%|  
'bbV<? ):  
R'jUS7]Y  
 hG< a  
`mh-pBVD1  
设置层数和转折点 V_7 Y1GD  
m7weR>aS4  
dY48S{  
2       设置层数和转折点以确定膜层 @|jKO5Y  
BvNl?A@]A  
7/[TE  
2       可以通过Structure Preview 按钮查看 _m) gO/02A  
d)pz  
yd{Y}.  
实现可编程光栅 f]{1ZU%4  
u-]vK  
!4DG P28  
ym-lT|>Z  
 mdmZ1:PBM  
401/33yBJ  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） S&gKgQD"Q  
;HD 4~3   
*B)Jv9  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） H-nFsJ(R!c  
`!5tH?bX  
8YT_DM5iI  
FB?q/ _  
*FI5z[8,  
   BWqik_  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） &mO/u= u  
:G6 xJlE|  
zyQ,unu  
2       双击Data Series Diagram qcpG}o+&D  
sM);gI14  
采样结果 C.Wms}XA  
2Mv)0%,c  
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. '? !7 Be  
[<@A8Q5,y  
QQ：2987619807
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