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infotek 2021-01-11 10:45

镀膜倾斜光栅

镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 ,ZP3F+XKb  
Lvj5<4h;  
关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） {LJ6't 8y:  
_kY[8e5  
所需工具：Grating Toolbox Basic `0G.Y  
$J0~2TV<  
相关Tutorials：G.001; G.014 tDLk ZCP  
建模任务 c+i`Zd.m<  
\NQ)Po@z  
理想平面波照射 #m$%S%s  
JO^ [@  
>]Yha}6h  
#IrP"j^  
@)'@LF1Z  
Qu>zO!x  
镀膜倾斜光栅 kRXg."b(  
目标平面 k42ur)pb  
?*mbce[  
周期：10um (cA|N0  
厚度：10um ?G>TaTiK#  
倾斜角度：20度 q.b4m 'J  
= hX-jP  
光栅的参数 #!&R7/ KdD  
jv=f@:[`I  
—倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 z*~ PYAt  
g2>u]3&W  
—填充因子                           2—后面的介质 $H@)hY8wA  
—膜层厚度                           3—膜层材料 ow$l!8  
—光栅厚度 OmjT`,/  
vMdhNOU  
^W[`##,{Od  
FRQ("6(  
 k8wi-z[dV  
_ N f[HP  
设置层数和转折点 aq\TO?  
.-~% w  
uvv-lAbjw  
2       设置层数和转折点以确定膜层 V//q$/&8(  
)hJjVitG  
9x^ /kAB  
2       可以通过Structure Preview 按钮查看 L=w Fo^N  
!3 Z|!JY  
]JPPL4wAT  
实现可编程光栅 I5OH=,y`  
zYF&Dv/u/  
m9w ; a  
E/P53CD  
 NWwtq&pz2  
5N+(Gv[`"  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） by<@Zwtf  
;U3Vows  
n >PM_W  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） pz}hh^]t  
f> [;|r@K  
HFWm}vA:  
KBHKcFk  
$v@$oPmMj  
   7#. PMyK9  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） D c.WvUM  
`3P62M<  
S,v>*AF  
2       双击Data Series Diagram g}r5ohqC#  
}4]x"DfIg  
采样结果 L\CM);y  
:!15>ML;-  
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. s\FNKWQ  
jV&W[xKa  
QQ：2987619807
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