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镀膜倾斜光栅
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infotek
2021-01-11 10:45
镀膜倾斜光栅
镀膜倾斜光栅通过
VirtualLab
的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(
Parameter Run
)进行分析。
GkTiDm?
%1xb,g KO
关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(
Parameter Run
)
Vg>dI&O
ij( B,Y
所需工具:
Grating Toolbox Basic
9Hb6nm
tnN.:%mZ
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镀膜倾斜光栅
PGhY>$q>b
目标平面
CR"|^{G
vZaZc}AyL
周期:
10um
\F/hMXDlJ
厚度:
10um
{E9+WFz5
倾斜角度:
20
度
Ez fN&8E
7e|s wJ>4
光栅的参数
Mb|a+,:>3
$j5K8Ad
—倾斜角度
1
—(光栅)前面的介质
i]YV {
@ hiCI.?X
—填充因子
2
—后面的介质
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—膜层厚度
3
—膜层材料
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—光栅厚度
"$+Jnc!!
/v1Q4mq
ff,pvk8N5
>~[c|ffyo/
hKLCJ#T
e,vvzso
设置层数和转折点
tl,.fjZn
;=eDO(Ij
[q)8N
2
设置层数和转折点以确定膜层
c[wla<dO*
!;Yg/'vD-
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2
可以通过
Structure Preview
按钮查看
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实现可编程光栅
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参数运行
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2
双击
Data Series Diagram
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采样结果
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@| M|+k3
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略.
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QQ:2987619807
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