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infotek 2021-01-11 10:45

镀膜倾斜光栅

镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 NH}o`x/  
^blw\;LB  
关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） js"5{w&  
wVnmT94  
所需工具：Grating Toolbox Basic Mx`';z8~  
d|7LCW+HW  
相关Tutorials：G.001; G.014 gO "G/  
建模任务 5(hv|t/a  
y Rl   
理想平面波照射 /IJy'@B  
;v2eAe@7  
CI$z+ zN  
GiEt;8  
vt *  
4;CI< &S  
镀膜倾斜光栅 t8h*SHD9  
目标平面 HiU)q  
uL1lB@G@  
周期：10um q>>1?hzA  
厚度：10um qm:C1#<p   
倾斜角度：20度 9X;*GC;d  
1E&S{.  
光栅的参数 4 l-Urn Z  
\R]2YY`EP  
—倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 5|K[WvG@Co  
r~ f;g9I  
—填充因子                           2—后面的介质 /_{ZWLi(  
—膜层厚度                           3—膜层材料 !bYVLFp=\_  
—光栅厚度 tp7$t#  
4m91XD  
3 e1-w$z&S  
7Vh  
 x< 2]UB`  
0+@:f^3]!  
设置层数和转折点 R5^6Kwu  
SE^l`.U@  
S\A0gOL^  
2       设置层数和转折点以确定膜层 2sk7E'2(  
'b}RFzEn  
v^t7)nx^  
2       可以通过Structure Preview 按钮查看 v G\J8s  
U), HrI>;  
M 80Q6K  
实现可编程光栅 Xnjl {`  
*!&?Xy%\"j  
l9a81NF{s  
J@_^]  
 #!UJY%c ~  
*9kg \#  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） {%9@{Q'T.s  
$o5i15Oy.  
m+s*Io{Ip  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） H8 ? Y{H  
* BR#^Wt  
5= &2=  
^`";GnH0  
_&V,yp!|  
   [(#)9/3,  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） g%S/)R,,ct  
uE9,N$\L_  
nTr]NBR  
2       双击Data Series Diagram _1G/qHf^S  
f7Nmvla[q  
采样结果 +z?gf*G_W'  
[[AO6.Z  
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. H(76sE  
wW\@^5  
QQ：2987619807
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