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infotek 2021-01-11 10:45

镀膜倾斜光栅

镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 N*k`'T  
( TQx3DGq  
关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run HJ&|&tT  
D@M ZTb  
所需工具:Grating Toolbox Basic E7XFt#P.  
/uTU*Oe  
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建模任务 {AJcYZV  
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理想平面波照射 Dm,*G`Js  
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M]S&vE{D  
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1NP(3yt%  
镀膜倾斜光栅 yJt0KUw@!  
目标平面 )czuJ5  
H#/}FoBiS  
周期:10um Z3ucJH/)V  
厚度:10um ^|z  
倾斜角度:20 ;P` z ?>J:  
V b=Oz  
光栅的参数 mN_KAln  
!'4HUB>+  
—倾斜角度                           1—(光栅)前面的介质 1:3I G=  
MX=mGfoa  
—填充因子                           2—后面的介质 yQ33JQr  
—膜层厚度                           3—膜层材料 MKad 5gD*<  
—光栅厚度 RCFocOOn  
REyk,s2"6  
MroJ!.9  
YTiXU Oj  
gFJ. p  
!nQ!J+ g  
设置层数和转折点 x Z 3b)j2D  
QLq^[ >n  
`@8QQB  
2       设置层数和转折点以确定膜层 ";jj`  
;QT.|.t6  
3SRz14/W_R  
2       可以通过Structure Preview 按钮查看 K._tCB:  
u$7o d$&S  
n'<FH<x  
实现可编程光栅 <&n\)R4C1  
[B}$U|V0  
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d" T">Og)  
3JB?G>\!  
[25[c><:w"  
参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) O|t@p=]  
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(Rqn)<<2  
参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) %3L4&W _T  
w1Z9@*C!  
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   3)jFv7LAU  
参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) `|Aj3a3sND  
[O) Q\|k  
F iZe4{(p  
2       双击Data Series Diagram 2!Bjs?K<bv  
DnbT<oEL  
采样结果 @" -[@  
/U |@sw4  
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略.
RR,gC"cTi  
E$B7E@(U  
QQ:2987619807
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