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infotek 2021-01-11 10:45

镀膜倾斜光栅

镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 b=!G3wVw<  
W`KRaL0^  
关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） A3C#w J  
mRT`'fxK  
所需工具：Grating Toolbox Basic 4|*H0}HOm  
%z&=A%'a  
相关Tutorials：G.001; G.014 =Zcbfo_&  
建模任务 FbVdqO  
e{~s\G8g  
理想平面波照射 %{*}KsS`p  
8lo /BGxS>  
j"aimjqd3  
LO,G2]  
I |?zSFa  
D_%y&p?<Ls  
镀膜倾斜光栅 DbdxHuKa>  
目标平面 /XG4O  
]e?cKC\"e  
周期：10um lZ5 lmsCU  
厚度：10um !tkP!%w  
倾斜角度：20度 -t, .A/?  
Z?H#=|U  
光栅的参数 H1H+TTZr  
X0Q};,  
—倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 :?VM1!~ga  
E"e<9  
—填充因子                           2—后面的介质 IiG~l+V~  
—膜层厚度                           3—膜层材料 }4PIpDL  
—光栅厚度 5gV%jQgkC  
ZW$PJmz  
Y4Hi<JWo  
^ 1rw\Zp  
 >qjQ;z[  
Tti]H9g_  
设置层数和转折点 B1]dub9  
\Lxsg! wtJ  
t =ErJ  
2       设置层数和转折点以确定膜层 4@D 8{?$~Q  
Suixk'-  
Aen)r@Y:  
2       可以通过Structure Preview 按钮查看 wXv\[z L`  
ln#Jb&u  
<QGf9{m  
实现可编程光栅 wV- kB4^4  
VY)!bjW.  
5UE5;yo  
\8%64ZL`  
 -I7"9}j3  
a $pxt!6  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） +;7Rz_.6f  
1*{` .  
KUG\C\z6=  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） IKhpe5}  
6@`Y6>}$_  
Gma)8X#  
tgn_\-+  
.!T]sX_P  
   ;EZ$8|  
参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） P+!j[X^  
Fj<#*2{]B  
rWKc,A[  
2       双击Data Series Diagram XJl2_#  
PYDf|S7  
采样结果 deR2l(0%yr  
TY[{)aH{S  
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. J,ZvaF  
G*_$[|H  
QQ：2987619807
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