| infotek |
2021-01-05 10:33 |
镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟
案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 *10qP?0H T/.U Mw 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 4H^ACw o`Af6C;Q 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 1cc~UQ ify48] 所需工具箱子:光栅工具箱 `fOp>S^Q4 po(pi| 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 Fi'ZId VJP # 建模任务 |2=@8_am 5UJ ?1"J 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 tLU@&NY` Eyz.^)r
tZv^uuEp3 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 lcLDCt? U[2;Fkapi !RPE-S 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ,6X__Z#rGT <d"nz:e (?g+.]Dt, 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 ;B;@MD,B kBLFK3i lU%oU&P/"S 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 y@,PTF E=CA Wj\ aOw#]pB| 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 8#HnV%|N /CH]'u^j +0)M1!gK X线偏振光模拟结果: |h%HUau >tPf.xI|l 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 vQp'bRR 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 *>"NUHq mr/?w0(C zy%0;% Y线偏光模拟结果 ^pH8'^n mQ<4(qd) 0g6sGz= 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 XI|k,Ko< 结论: Dn@ZS _f 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 Yi,`uJKh Wz#Cyjo uY(8KW QQ:2987619807 1pg#@h[|t
|
|