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infotek 2021-01-05 10:33

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 df$pT?o  
j7VaaA  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 uN$ <7KB"  
pEb/yIT"  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 Js9 EsN%  
*+J`Yk7}  
所需工具箱子:光栅工具箱 2(Nf$?U @0  
u4[rA2Bf8E  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 `Z (`  
asYUb&Hz88  
建模任务 XBTjb  
;]%Syrzp  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 gZ  {  
b .xG'  
{XLRrU!*  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 ,k,+UisG  
iDlg>UYd  
iUf?MDE  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 #| m*k  
sTi3x)#xB  
+?0r%R%\  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
H$xUOqL  
c+UZ UgP  
%lGg}9k'  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 U{3Pk0rZ  
}\EHZ  
&3YXDNm  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 #2qv"ntW  
:j;_Xw  
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X线偏振光模拟结果:
<A] Kg  
)AAPT7!U  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 5Yx 7Q:D  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 }A7 ] bd  
Jrx]/CM  
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Y线偏光模拟结果 H`jvT]  
2S-z$Bi}]  
Fr,b5 M<L7  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 lJU]sZ9~b  
结论: iZ2nBi Q  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 qmbhx9V   
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QQ:2987619807
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