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infotek 2021-01-05 10:33

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟  +_E^E  
N+lhztYQ?  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 }2xgm9j<  
-gn!8G1  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 O>R@Xj)M  
jVlXB6[-  
所需工具箱子:光栅工具箱 3+[;  
r:{;HM+  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 Ms<v81z5T  
zv .#9^/y  
建模任务 uNKf!\Y  
M r-l  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ^%5 ;Sc1V  
G*s5GG@Z.  
%Ev)Hk  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 E!A+J63zsw  
6;C2^J@  
@\U;?N~k  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 !LR9}Xon  
>O]u4G!  
D :)HK D.  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
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q}P UwN6  
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选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 :3N6Ej  
r\A|fiL  
}!uwWBw`  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ilRPV'S^  
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X线偏振光模拟结果:
.Te GA;  
:W.pD:/=v  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 -{2Vz[[  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 %MCJ%Ph  
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Y线偏光模拟结果 U(+%iD60i  
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}0[<xo>K  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 3qQ}U}-;|  
结论: qP[_!C.  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 I!"/I8Y  
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QQ:2987619807
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