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infotek 2021-01-05 10:33

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 Sx:Ur>?hd5  
&bqT /H18  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 2>-S-;i  
vB37M@wm  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 rPc7(,o*  
cw&Hgjj2  
所需工具箱子:光栅工具箱 )2UZ% ?V#  
]%uZ\Q;9p  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 Uw-p758dD  
qjJBcu_C'S  
建模任务 Sp}D ;7  
gx03xPeu  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 4`Nt{  
58%'UwKn  
Gc.P,K/hr  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 .t&R>9cZ^  
5!C_X5M  
r[.>P$U  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 S1_6C:^k  
+6smsL~<#v  
% |q0-x  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
FtufuL?JS  
KtS)'jf  
r4x3$M c  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 ^ yh'lh/  
30PZ{c&Rll  
krq/7|  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 sfr(/mp(  
{Z;jhR,  
^1:U'jIXO  
X线偏振光模拟结果:
B:"THN^  
V&soN:HS  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 TGuiNobD  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 53HU.  
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wn Y$fT9  
Y线偏光模拟结果 oHM ]  
gIR^ )m  
" "O"  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 n}A\2bO  
结论: OQ :dJe6  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 #8{F9w<Rf  
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QQ:2987619807
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