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infotek 2021-01-05 10:33

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 /kAbGjp0  
KJ cuZ."wX  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 _b9>ZF~  
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关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 6 #k mV  
ZuT5}XxF  
所需工具箱子:光栅工具箱 LwcAF g|  
P c'\  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 `JcWH_[  
0t%`jY~%  
建模任务 *g"X hk  
MH/bJtNq  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ]h'*L`  
X*t2h3 "}  
TGGbO:s3  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 v;(k7  
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'u3,+guz  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 q +!i6!6r  
S|]\q-qA&  
Ge1"+:tbJ  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
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Z@0IvI  
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选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 V^< Zs//7  
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堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 >cH}sNHy  
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Mp06A.j[  
X线偏振光模拟结果:
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探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 KebC$g@W  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ,8o Y(h  
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Y线偏光模拟结果 |a=7P  
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 Y+Cv9U0  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 M/kBAxNIC|  
结论: QObHW[:F  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 P?J\p J1|7  
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QQ:2987619807
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