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infotek 2021-01-05 10:33

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 %>f:m!.  
P=h2Z,2  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 lY~xoHT;[  
xkX, l{6  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 kxKBI{L  
9+L! A  
所需工具箱子:光栅工具箱 }, ]W/  
V3jx{BXs2  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 P"- ,^?6  
k,r\^1h  
建模任务 Y4i-Pp?  
AVi|JY)>  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ZXco5,1  
f[.]JC+,  
6gp3n;D  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 xQN](OKG  
y"7?]#$9/  
5!AzEB  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 pdE=9l'  
?-(E$ll  
!D1F4v[c=  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
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 yXDf;`J  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 $ @^n3ZQ4  
p<$z!|7m  
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堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 utQ_!3u  
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7)[4|I  
X线偏振光模拟结果:
w{0UA6+  
ed& ,  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 hG3b7!^#g  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 qwnC{  
Xh){W~ -  
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Y线偏光模拟结果 o\2#o5#  
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L!5%;!>.P  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 lGs fs(  
结论: 8TuOf(qE  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 #.) qQ8*(  
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QQ:2987619807
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