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infotek 2021-01-05 10:33

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 |0:< Z(  
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这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 s <Pk[7`*  
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关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 gfG Mu0FjB  
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所需工具箱子:光栅工具箱 f?kA,!  
iI ji[>qz  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 .vYU4g]  
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建模任务 CM?dB$AwX  
=UYZ){rt9E  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 H(9%SP@[c  
S]mXfB(mh  
~c~N _b  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 C-' n4AY^  
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XcB!9AIO  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 %Ez=  
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选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
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选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 {^zieP!  
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B|U*2|e  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ^[6eo8Ck>  
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X线偏振光模拟结果:
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探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 ?4v&TB@  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 7.7P>U  
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Y线偏光模拟结果 F_0vh;Jo  
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对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 [)UL}vAO\q  
结论: e]F4w(*=  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 Z9TmX A@  
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QQ:2987619807
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