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infotek 2021-01-05 10:33

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ~v|NC([(  
M'5PPBSR  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 .8]buM5_G  
vp&N)t_  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 _h^er+d!_  
5iZx -M  
所需工具箱子:光栅工具箱 ln*jakRrC  
Ge^(Ag}vE  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 |YcYWok  
2e^6Od!Y?  
建模任务 S=_*<[W%4  
c@|f'V4  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 rk8Cea  
+. tcEbFL  
ZO8r8 [  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 z*e`2n#\  
r<OqI*7  
+HkEbR'G0  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 -58Sb"f  
r,Tq";N'  
TR'<D9kn  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
'4)4*3z,  
yF@72tK  
@B9O*x+n:  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 RgSB?  
]FEsN6  
OMm'm\+/  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 [Wn6d:  
<RCeY(1  
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X线偏振光模拟结果:
iLk"lcX  
rYO~/N  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 Pf#DBW*  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ) ^ 7- qy  
b&P2VqYgl  
iD) P6"  
Y线偏光模拟结果 S.|%dz  
y\XWg`X y  
1EQLsg`d^  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 {)wl`mw3  
结论: mk[<=k~  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 sNsH l  
Sh(XFUJ  
GzjC;+W  
QQ:2987619807
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