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infotek 2021-01-05 10:33

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 +<qmVW^X  
C'5b)0km  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 l6o?(!:!%  
DVNx\t  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 f0 iYP   
;&="aD  
所需工具箱子:光栅工具箱 n`'v8 `a]  
N=4`jy =  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 E1'| ;}/  
7,vvL8\NHu  
建模任务 ::'DWD1  
> wsS75n1  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ^)-* Ubzz  
c;RB!`9"  
9hoTxWpmy  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 _Nze="Pt  
(jQ]<q%P  
snU $Na3  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 -TL `nGF  
rID_^g_tP8  
c{7<z9U  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
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UD.&p'^ /{  
sf""]c$  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 PWErlA:58  
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Ed&;d+NM  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 # MpW\yX  
'j6)5WL$  
%M? A>7b  
X线偏振光模拟结果:
xw1@&QwM  
[):&R1U  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 ' pnkm0=`  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 SM3qPlsF  
X9:4oMux7  
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Y线偏光模拟结果 ?U}Ml]0~  
Z.!tp  
ry99R|/d1  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 Z:TW{:lrI  
结论: +A 3Q$1F  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 0iy-FV;J  
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QQ:2987619807
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