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infotek 2021-01-05 10:33

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 mM%BO(X{=  
#FM 'S|  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ^^(ZK 6d  
oW9rl]+  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 ZdzGJ[$  
tHo/uW_~I  
所需工具箱子:光栅工具箱 L(rjjkH  
P"VLGa  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 PQ|x?98  
yXmp]9$  
建模任务 1T`"/*!  
Nd)o1 {I  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ~hX'FV  
=jHy6)6w  
"61n?Z#,M[  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 \'b- ;exH  
L zy|<:K+$  
6g&nnA  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ,g.=vQm:?  
]<_+uciP5[  
(9%%^s]uPT  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
f>PU# D@B  
Q)8t;Kx  
(\ %y)  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 nwVtfsb  
PUArKBYM-  
4\RuJx  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 J'v|^`bE  
ak&v/%N  
l"#,O$x"#@  
X线偏振光模拟结果:
vnpX-c  
6.=b^6MV  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 [ V~bo/n  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 b@Cvs4  
#nz$RJsX  
aT[7L9Cw  
Y线偏光模拟结果 !ZdUW]  
[?2mt`g  
$T0[  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 vA`.8U 0S  
结论: 9NAlgET  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 -t?G8,,  
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QQ:2987619807
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