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infotek 2021-01-05 10:33

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 Ej"u1F14J  
5k$vlC#[H  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 Fe!9y2Mg  
Z h'&-c_J  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 +>tUz D  
# {PmNx%M  
所需工具箱子:光栅工具箱 BC77<R!E)  
J=H)JH3  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 H=~9CJ+tc  
3CZS)  
建模任务 i zwUS!5e  
z7T0u.4Ss  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 /X#z*GX  
N$#\Xdo  
#*^+F?o,(  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 75NRCXh.  
2?DRLF]  
;rR/5d1!  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 r:g9Z_  
Z^ar.boc  
c$h9/H=~  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
3)N\'xFh@  
-d=WV:G%e  
a9Y5  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 8Vn4.R[vE  
$>q@SJ1q  
WNy3@+@GZ  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 |J>WC}g@n  
NNkP\oh\  
8dO?K*J,H'  
X线偏振光模拟结果:
m_7 nz!h  
+%0z`E\?M#  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 ',=g;  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 #wR;|pN  
))T>jh   
#R&H &1  
Y线偏光模拟结果 8P: spD0  
Z-X?JA\&  
)!W45"l-3M  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 u8L$]vOg  
结论: *?% k#S  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 cgT  
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T.:+3:8|F  
QQ:2987619807
@N.jB#nEb  
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