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infotek 2021-01-05 10:33

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 |5lk9<z  
Y$"O VC  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 sS*3=Yh  
Dfmjw  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 nAv#?1cjz  
\W~ N  
所需工具箱子:光栅工具箱 ,J+}rPe"sf  
Zy`m!]G]80  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 <3LbN FP  
PvPOU"  
建模任务 x(1:s|Uyp{  
I>W=x'PkLn  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 pH9VTM.*  
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hgPa6Kd  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 k>;`FFQU>  
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uXn1 'K<'2  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 X% t1 T4  
Mk"^?%PxT  
eA2@Nkw~)  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
k\5c|Wq|g  
rC5 p-B%  
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选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 Lt64JH^lz  
Va"0>KX  
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堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 @>,^":`#  
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X线偏振光模拟结果:
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&."iFe  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 P3x8UR=fS  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 wr$("A(  
M\uiq38  
J,'M4O\S  
Y线偏光模拟结果 <cps2*'  
XO.jl"xu  
xQ7l~O b  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 n(1l}TJy  
结论: 0q()|y?}  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 3c-GY:VkLM  
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QQ:2987619807
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