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infotek 2021-01-05 10:33

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 tbS hSbj  
xt^1,V4Ei~  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 TKB8%/_p  
nwFBuP<LR  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 3FiK/8mu  
wN[lC|1c  
所需工具箱子:光栅工具箱 \CjJa(vV  
)'+[,z ;s  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 pP| @Z{7d`  
|+ F ~zIu'  
建模任务 t2d sYU/  
#[ prG  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 T!c|O3m  
Nc\DXc-N  
KQf WpHwfj  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 ,Cr%2Wg-  
;J W ]b]  
t% qep|  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 v9f+ {Y%-  
H$I~Vz[\yb  
s<YN*~  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
NY.Cr.}  
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\IL)~5d  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 v'hc-Q9+>  
fI`Ez!w0  
p<L7qwOii  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 m9[ 7"I  
H:DR?'yW  
._rPM>B?  
X线偏振光模拟结果:
u9"kF  
E)*ht;u  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 sC3Vj(d!i  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 .z#eYn% d  
+R*DE5dz  
-Lq+FTezE  
Y线偏光模拟结果 H'WYnhU&  
QM(xMq  
AS;Sz/YP  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 fG0ZVV!   
结论: HT.,BF  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 V lx.C~WYn  
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QQ:2987619807
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