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infotek 2021-01-05 10:33

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 j]' 7"b5  
Rz9IjL.Z  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 jLG Q^v"  
h"DxgG  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 R<n'v.~"A  
/KH,11 )yc  
所需工具箱子:光栅工具箱 m_g2Cep  
tjTnFP/=  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 (7_}UT@w-  
&`IC 3O5  
建模任务 }grel5lq  
)Cfk/OnRd  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 Zf~Z&"C)  
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双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 CDU$Gi  
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n6]8W^g  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 eQqx0+-0c  
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QlCs ,bT  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
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选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 7 I`8r2H  
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堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 q71~Y:7f  
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]d]rV `RF  
X线偏振光模拟结果:
}5qpiS"V9  
r(VznKSx  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 \7U'p:h=U  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 O4.`N?Xq  
A4>j4\A[M  
Z&W*@(dX  
Y线偏光模拟结果 .L#U^H|  
9 O2??N7f  
C_ 4(- OWq  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ]w;!x7bU(  
结论: P")1_!  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 +l)[A{  
'BO MFp7c  
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QQ:2987619807
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