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infotek 2021-01-05 10:33

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 7F6 B  
s'oNW  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 9^ZtbmUf  
#4b]j".P!n  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 \xbUr`WBY  
b,YNCb]H  
所需工具箱子:光栅工具箱 {?5iK1|}K  
* m^\&  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 huS*1xl  
D[#V  
建模任务 M:{Aq&.  
E_aBDiyDf  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ]/H6%"CTa  
!{ (Bc8 hT  
mHHlm<?]  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 J-Tiwl  
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为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 U31@++C[  
4&;iORw&E4  
I](a 5i  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
)?UoF&c/  
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/ De~K+w7o  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 #}FUau$  
P|bow+4  
@;tfHoXD  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 .WqqP  
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#aU!f"SS  
X线偏振光模拟结果:
HyU:BW;  
y'`/^>.  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 V7Cnu:0_  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 xdm\[s  
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Y线偏光模拟结果 1.F&gP)9  
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3@Mh* \;\b  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 +h4W<YnW  
结论: BZ?Ck[E]Z  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 =+Fb\HvX{  
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QQ:2987619807
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