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infotek 2021-01-05 10:33

镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟

案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 81`-xVd  
V D-,)f  
这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 *GD?d2.6j  
r6JdF!\d  
关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 .t$~>e .  
/dj r_T  
所需工具箱子:光栅工具箱 k\I+T~~xD  
{e,S}:$g4  
相关案例:G.001a,Scenario 104.01 XJ.bK  
i#=s_v8  
建模任务 ?o?~Df&  
HvLvSy1U  
加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ~}PB&`%7  
"'~55bG  
+<7`Gn(n3  
双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 {L4ta~2/T  
#[ipJ %  
N8_ c%6GE  
为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 `2( )Vf  
[AA'Ko  
GB&<+5t2  
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
fIWOo >)D  
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3]$qY_|7  
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 vu Vcv  
oF7o"NHaWa  
^Q0%_V,  
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 "Y-_83  
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t4X:I&l-M:  
X线偏振光模拟结果:
Xt& rYv  
o-H\vtOjE  
探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 s"gNHp.oF  
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 1 CXO=Q  
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C3>&O?7J*7  
Y线偏光模拟结果 js^+{~  
MROe"Xj  
=n7QLQU  
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 #2{H!jr  
结论: }04 EM  
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 vVBu/)  
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QQ:2987619807
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