真空术语全集

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真空术语

1.标准环境条件 standard ambient condition：
2.气体的标准状态 standard reference conditions forgases：
3.压力（压强）p pressure：
4.帕斯卡Pa pascal：
5.托Torr torr：
6.标准大气压atm standard atmosphere：
7.毫巴mbar millibar：
8.分压力 partial pressure：
9.全压力 total pressure：
10.真空 vacuum：
11.真空度 degree of vacuum：
12.真空区域 ranges of vacuum：
13.气体 gas：
14.非可凝气体 non-condensable gas：
15.蒸汽vapor：
16.饱和蒸汽压saturation vapor pressure：
17.饱和度degree of saturation：
18.饱和蒸汽saturated vapor：
19.未饱和蒸汽unsaturated vapor：
20.分子数密度n，m-3 number density of molecules：
21.平均自由程ι、λ，m mean free path：
22.碰撞率ψ collision rate：
23.体积碰撞率χ volume collision rate：
24.气体量G quantity of gas：
25.气体的扩散 diffusion of gas：
26.扩散系数D diffusion coefficient; diffusivity：
27.粘滞流 viscous flow：
28.粘滞系数η viscous factor：
29.泊肖叶流 poiseuille flow：
30.中间流 intermediate flow：
31.分子流 molecular flow：
32克努曾数 number of knudsen：
33.分子泻流 molecular effusion; effusive flow：
34.流逸 transpiration：
35.热流逸 thermal transpiration：
36.分子流率qN molecular flow rate; molecular flux：
37.分子流率密度 molecular flow rate density; density of molecular flux：
38.质量流率qm mass flow rare：
39.流量qG throughput of gas：
40.体积流率qV volume flow rate：
41.摩尔流率qυ molar flow rate：
42.麦克斯韦速度分布 maxwellian velocity distribution：
43.传输几率Pc transmission probability：
44.分子流导CN,UN molecular conductance：
45.流导C,U conductance：
46.固有流导Ci,Ui intrinsic conductance：
47.流阻W resistance：
48.吸附 sorption：
49.表面吸附 adsorption：
50.物理吸附physisorption：
51.化学吸附 chemisorption：
52.吸收absorption：
53.适应系数α accommodation factor：
54.入射率υ impingement rate：
55.凝结率condensation rate：
56.粘着率 sticking rate：
57.粘着几率Ps sticking probability：
58.滞留时间τ residence time：
59.迁移 migration：
60.解吸 desorption：
61.去气 degassing：
62.放气 outgassing：
63.解吸或放气或去气速率qGU desorption or outgassing or degassing rate：
64.蒸发率 evaporation rate：
65.渗透 permeation：
66.渗透率φ permeability：
67.渗透系数P permeability coefficient
2. 1.真空泵 vacuum pumps
1-1.容积真空泵 positive displacement pump：
⑴.气镇真空泵 gas ballast vacuum pump：
⑵.油封（液封）真空泵oil sealed (liquid-sealed) vacuum pump：
⑶.干封真空泵 dry-sealed vacuum pump：
⑷.往复真空泵 piston vacuum pump：
⑸.液环真空泵 liquid ring vacuum pump：
⑹.旋片真空泵 sliding vane rotary vacuum pump：
⑺.定片真空泵 rotary piston vacuum pump：
⑻.滑阀真空泵 rotary plunger vacuum pump：
⑼.余摆线真空泵 trochoidal vacuum pump：
⑽.多室旋片真空泵 multi-chamber sliding vane rotary vacuum pump：
⑾.罗茨真空泵 roots vacuum pump：
1-2.动量传输泵 kinetic vacuum pump：
⑴.牵引分子泵molecular drag pump：
⑵.涡轮分子泵turbo molecular pump：
⑶.喷射真空泵ejector vacuum pump：
⑷.液体喷射真空泵liquid jet vacuum pump：
⑸.气体喷射真空泵gas jet vacuum pump：
⑹.蒸汽喷射真空泵vapor jet vacuum pump ：
⑺.扩散泵diffusion pump ：
⑻.自净化扩散泵self purifying diffusion pump：
⑼.分馏扩散泵 fractionating diffusion pump ：
⑽.扩散喷射泵diffusion ejector pump ：
⑾.离子传输泵ion transfer pump：
1-3.捕集真空泵 entrapment vacuum pump：
⑴吸附泵adsorption pump：
⑵.吸气剂泵 getter pump：
⑶.升华（蒸发）泵 sublimation (evaporation)pump ：
⑷.吸气剂离子泵getter ion pump：
⑸.蒸发离子泵 evaporation ion pump：
⑹.溅射离子泵sputter ion pump：
⑺.低温泵cryopump：

2.真空泵零部件
2-1.泵壳 pump case：
2-2.入口 inlet：
2-3.出口outlet：
2-4.旋片（滑片、滑阀）vane; blade ：
2-5.排气阀discharge valve：
2-6.气镇阀gas ballast valve：
2-7.膨胀室expansion chamber：
2-8.压缩室compression chamber：
2-9.真空泵油 vacuum pump oil：
2-10.泵液 pump fluid：
2-11.喷嘴 nozzle：
2-13.喷嘴扩张率nozzle expansion rate：
2-14.喷嘴间隙面积 nozzle clearance area ：
2-15.喷嘴间隙nozzle clearance：
2-16.射流jet：
2-17.扩散器diffuser：
2-18.扩散器喉部diffuser thoat：
2-19.蒸汽导管vapor tube(pipe;chimney)：
2-20.喷嘴组件nozzle assembly：
2-21.下裙skirt：

3.附件
3-1阱trap：
⑴.冷阱 cold trap：
⑵.吸附阱sorption trap：
⑶.离子阱ion trap：
⑷.冷冻升华阱 cryosublimation trap：
3-2.挡板baffle：
3-3.油分离器oil separator：
3-4.油净化器oil purifier：
3-5.冷凝器condenser：

4.泵按工作分类
4-1.主泵main pump：
4-2.粗抽泵roughing vacuum pump：
4-3.前级真空泵backing vacuum pump：
4-4.粗（低）真空泵 roughing(low)vacuum pump：
4-5.维持真空泵holding vacuum pump：
4-6.高真空泵high vacuum pump：
4-7.超高真空泵ultra-high vacuum pump：
4-8.增压真空泵booster vacuum pump：

5.真空泵特性
5-1.真空泵的抽气速率（体积流率）s volume flow rate of a vacuum pump：
5-2.真空泵的抽气量Q throughput of vacuum pump：。
5-3.起动压力starting pressure：
5-4.前级压力 backing pressure ：
5-5.临界前级压力 critical backing pressure：
5-6.最大前级压力maximum backing pressure：
5-7.最大工作压力maximum working pressure：
5-8.真空泵的极限压力ultimate pressure of a pump：
5-9.压缩比compression ratio：
5-10.何氏系数Ho coefficient：
5-11.抽速系数speed factor：
5-12.气体的反扩散back-diffusion of gas：
5-13.泵液返流back-streaming of pump fluid：
5-14.返流率back-streaming rate
5-15.返迁移back-migration：
5-16.爆腾bumping：
5-17.水蒸气允许量qm water vapor tolerable load：
5-18.最大允许水蒸气入口压力maximum tolerable water vapor inlet pressure：
5-19.蒸汽喷射泵、扩散泵或扩散喷射泵的加热时间warm-up time for a vapor jet pump or a diffusion pump or a diffusion ejector pump：
5-20.蒸汽喷射泵、扩散泵或扩散喷射泵的冷却时间cool-down time for a vapor jet pump or a diffusion pump or a diffusion ejector pump
3. 1.一般术语
1-1.压力计pressure gauge：
1-2.真空计vacuum gauge：
⑴.规头(规管)gauge head：
⑵.裸规nude gauge ：
⑶.真空计控制单元gauge control unit ：
⑷.真空计指示单元gauge indicating unit ：

2.真空计一般分类
2-1.压差式真空计differential vacuum gauge：
2-2.绝对真空计 absolute vacuum gauge：
2-3.全压真空计total pressure vacuum gauge:
2-4.分压真空计；分压分析器partial pressure vacuum gauge; partial pressure analyser：
2-5.相对真空计relative vacuum gauge ：

3.真空计特性
3-1.真空计测量范围pressure range of vacuum gauge：
3-2.灵敏度系数sensitivity coefficient：
3-4. 电离规系数（压力单位倒数）ionization gauge coefficient (in inverse pressure units)：
3-5.规管光电流photon current of vacuum gauge head：
3-6.等效氮压力equivalent nitrogen pressure ：
3-7.X射线极限值 X-ray limit：
3-8.逆X射线效应anti X-ray effect：
3-9.布利尔斯效应blears effect：

4.全压真空计
4-1.液位压力计liquid level manometer：
4-2.弹性元件真空计elastic element vacuum gauge：
4-3.压缩式真空计compression gauge：
4-4.压力天平pressure balance：
4-5.粘滞性真空计viscosity gauge ：
4-6.热传导真空计thermal conductivity vacuum gauge ：
4-7.热分子真空计thermo-molecular gauge：
4-8.电离真空计ionization vacuum gauge：
4-9.放射性电离真空计radioactive ionization gauge：
4-10.冷阴极电离真空计cold cathode ionization gauge：
4-11.潘宁真空计penning gauge：
4-12.冷阴极磁控管真空计cold cathode magnetron gauge：
4-13.放电管指示器discharge tube indicator：
4-14.热阴极电离真空计hot cathode ionization gauge：
4-15.三极管式真空计triode gauge：
4-16.高压力电离（中真空）真空计high pressure (medium vacuum) ionization gauge：
4-17.B-A型电离真空计Bayard-Alpert gauge：
4-18.调制型电离真空计modulator gauge：
4-19.抑制型电离真空计suppressor gauge：
4-20.分离型电离真空计extractor gauge：
4-21.弯注型电离真空计bent beam gauge：
4-22.弹道型电离真空计 orbitron gauge ：
4-23.热阴极磁控管真空计hot cathode magnetron gauge：

5.分压真空计（分压分析器）
5-1.射频质谱仪radio frequency mass spectrometer：
5-2.四极质谱仪（四级滤质器）quadrupole mass spectrometer；quadrupole mass filer：
5-3.单极质谱仪momopole mass spectrometer：
5-4.双聚焦质谱仪double focusing mass spectrometer：
5-5.磁偏转质谱仪magnetic deflection mass spectrometer：
5-6.余摆线聚焦质谱仪trochoidal focusing mass spectrometer：
5-7.回旋质谱仪omegatron mass spectrometer：
5-8.飞行时间质谱仪time of flight mass spectrometer：

6.真空计校准
6-1.标准真空计reference gauges：
6-2.校准系统system of calibration：
6-3.校准系数K calibration coefficient：
6-4.压缩计法meleod gauge method：
6-5.膨胀法expansion method：
6-6.流导法flow method：
4. 1.真空系统vacuum system
1-1.真空机组pump system：
1-2.有油真空机组pump system used oil ：
1-3.无油真空机组oil free pump system
1-4.连续处理真空设备continuous treatment vacuum plant：
1-5.闸门式真空系统vacuum system with an air-lock：
1-6.压差真空系统differentially pumped vacuum system：
1-7.进气系统gas admittance system：

2.真空系统特性参量
2-1.抽气装置的抽速volume flow rate of a pumping unit ：
2-2.抽气装置的抽气量throughput of a pumping unit ：
2-3.真空系统的放气速率degassing(outgassing) throughput of a vacuum system：
2-4.真空系统的漏气速率leak throughput of a vacuum system：
2-5.真空容器的升压速率rate of pressure rise of a vacuum chamber：
2-6.极限压力ultimate pressure：
2-7.残余压力residual pressure：
2-8.残余气体谱residual gas spectrum：
2-9.基础压力base pressure：
2-10.工作压力working pressure：
2-11.粗抽时间roughing time：
2-12.抽气时间pump-down time：
2-13.真空系统时间常数time constant of a vacuum system：
2-14.真空系统进气时间venting time：

3.真空容器
3-1.真空容器；真空室vacuum chamber：
3-2.封离真空装置sealed vacuum device：
3-3.真空钟罩vacuum bell jar：
3-4.真空容器底板vacuum base plate：
3-5.真空岐管vacuum manifold：
3-6.前级真空容器（贮气罐）backing reservoir：
3-7.真空保护层outer chamber：
3-8.真空闸室vacuum air lock：
3-9.真空冷凝器；蒸汽冷凝器device for condensing vapor：

4.真空封接和真空引入线
4-1.永久性真空封接permanent seal ：
4.2.玻璃分级过渡封接graded seal ：
4-3.压缩玻璃金属封接compression glass-to-metal seal：
4-4.匹配式玻璃金属封接matched glass-to-metal seal：
4-5.陶瓷金属封接ceramic-to-metal seal：
4-6.半永久性真空封接semi-permanent seal ：
4-7.可拆卸的真空封接demountable joint：
4-8.液体真空封接liquid seal
4-9.熔融金属真空封接molten metal seal：
4-10.研磨面搭接封接ground and lapped seal：
4-11.真空法兰连接vacuum flange connection：
4-12.真空密封垫vacuum-tight gasket：
4-13.真空密封圈ring gasket：
4-14.真空平密封垫flat gasket：
4-15.真空引入线feedthrough leadthrough：
4-16.真空轴密封shaft seal：
4-17.真空窗vacuum window：
4-18.观察窗viewing window：

5.真空阀门
5-1.真空阀门的特性characteristic of vacuum valves：
⑴.真空阀门的流导conductance of vacuum valves：
⑵.真空阀门的阀座漏气率leak rate of the vacuum seat：
5-2.真空调节阀regulating valve：
5-3.微调阀 micro-adjustable valve：
5-4.充气阀charge valve：
5-5.进气阀gas admittance valve：
5-6.真空截止阀break valve：
5-7.前级真空阀backing valve：
5-8.旁通阀 by-pass valve：
5-9.主真空阀main vacuum valve：
5-10.低真空阀low vacuum valve：
5-11.高真空阀high vacuum valve：
5-12.超高真空阀；UHV阀 ultra-high vacuum valve：
5-13.手动阀manually operated valve：
5-14.气动阀pneumatically operated valve：
5-15.电磁阀electromagnetically operated valve：
5-16.电动阀valve with electrically motorized operation：
5-17.挡板阀baffle valve：
5-18.翻板阀flap valve：
5-19.插板阀gate valve：
5-20.蝶阀butterfly valve：

6.真空管路
6-1.粗抽管路roughing line：
6-2.前级真空管路backing line：
6-3.旁通管路；By-Pass管路 by-pass line：
6-4.抽气封口接头pumping stem：
6-5.真空限流件limiting conductance：　　　　　　
6-6.过滤器filter：
5. 1.一般术语
1-1真空镀膜vacuum coating：
1-2基片substrate：
1-3试验基片testing substrate：
1-4镀膜材料coating material：
1-5蒸发材料evaporation material：
1-6溅射材料sputtering material：
1-7膜层材料(膜层材质)film material：
1-8蒸发速率evaporation rate：
1-9溅射速率sputtering rate：
1-10沉积速率deposition rate：
1-11镀膜角度coating angle：

2.工艺
2-1真空蒸膜vacuum evaporation coating：
(1).同时蒸发simultaneous evaporation：
(2).蒸发场蒸发evaporation field evaporation：
(3).反应性真空蒸发reactive vacuum evaporation：
(4).蒸发器中的反应性真空蒸发reactive vacuum evaporation in evaporator：
(5).直接加热的蒸发direct heating evaporation：
(6).感应加热蒸发induced heating evaporation：
(7).电子束蒸发electron beam evaporation：
(8).激光束蒸发laser beam evaporation：
(9).间接加热的蒸发indirect heating evaporation：
(10).闪蒸flash evaportion：
2-2真空溅射vacuum sputtering：
(1).反应性真空溅射 reactive vacuum sputtering：
(2).偏压溅射bias sputtering：
(3).直流二级溅射direct current diode sputtering：
(4).非对称性交流溅射asymmtric alternate current sputtering：
(5).高频二极溅射high frequency diode sputtering：
(6).热阴极直流溅射（三极型溅射）hot cathode direct current sputtering：
(7).热阴极高频溅射（三极型溅射）hot cathode high frequency sputtering：
(8).离子束溅射ion beam sputtering：
(9).辉光放电清洗glow discharge cleaning：
2-3物理气相沉积PVD physical vapor deposition：
2-4化学气相沉积CVD chemical vapor deposition：
2-5磁控溅射magnetron sputtering：
2-6等离子体化学气相沉积；PCVD plasma chemistry vapor deposition：
2-7空心阴极离子镀HCD hollow cathode discharge deposition：
2-8电弧离子镀arc discharge deposition：

3.专用部件
3-1镀膜室coating chamber：
3-2蒸发器装置evaporator device：
3-3蒸发器evaporator：
3-4直接加热式蒸发器evaporator by direct heat：
3-5间接加热式蒸发器evaporator by indirect heat：
3-7溅射装置sputtering device：
3-8靶target：
3-10时控挡板timing shutter：
3-11掩膜mask：
3-12基片支架substrate holder：
3-13夹紧装置clamp：
3-14换向装置reversing device：
3-15基片加热装置substrate heating device：
3-16基片冷却装置substrate colding device：

4.真空镀膜设备
4-1真空镀膜设备vacuum coating plant：
(1).真空蒸发镀膜设备vacuum evaporation coating plant：
(2).真空溅射镀膜设备vacuum sputtering coating plant：
4-2连续镀膜设备continuous coating plant：
4-3半连续镀膜设备semi- continuous coating plant
6. 1.漏孔
1-1漏孔leaks：
1-2通道漏孔channel leak：
1-3薄膜漏孔membrane leak：
1-4分子漏孔molecular leak：
1-5粘滞漏孔vixcous leak：
1-6校准漏孔calibrated leak：
1-7标准漏孔reference leak ：
1-8虚漏virtual leak：
1-9漏率leak rate：
1-10标准空气漏率standard air leak rate：
1-11等值标准空气漏率equivalent standard air leak rate：
1-12探索（示漏）气体：

2.本底
2-1本底background：
2-2探索气体本底search gas background ：
2-3漂移drift：
2-4噪声noise：

3.检漏仪
3-1检漏仪leak detector：
3-2高频火花检漏仪H.F. spark leak detector：
3-3卤素检漏仪halide leak detector：
3-4氦质谱检漏仪helium mass spectrometer leak detector：
3-5检漏仪的最小可检漏率minimum detectable rate of leak detector：

4.检漏
4-1气泡检漏leak detection by bubbles：
4-2氨检漏leak detection by ammonia：
4-3升压检漏leak detection of rise pressure：
4-4放射性同位素检漏radioactive isotope leak detection：
4-5荧光检漏fluorescence leak detection
7. 1.一般术语
1-1真空干燥vacuum drying：
1-2冷冻干燥freeze drying ：
1-3物料material：
1-4待干燥物料material to be dried：
1-5干燥物料dried material ：
1-6湿气moisture；humidity：
1-7自由湿气free moisture：
1-8结合湿气bound moisture：
1-9分湿气partial moisture：
1-10含湿量moisture content：
1-11初始含湿量initial moisture content：
1-12最终含湿量final residual moisture：
1-13湿度degree of moisture ,degree of humidity ：
1-14干燥物质dry matter ：
1-15干燥物质含量content of dry matter：

2.干燥工艺
2-1干燥阶段stages of drying ：
(1).预干燥preliminary dry：
(2).一次干燥（广义）primary drying(in general)：
(3).一次干燥（冷冻干燥）primary drying(freeze-drying)：
(4).二次干燥secondary drying：
2-2.(1).接触干燥contact drying：
(2).辐射干燥 drying by radiation ：
(3).微波干燥microwave drying：
(4).气相干燥vapor phase drying：
(5).静态干燥static drying：
(6).动态干燥dynamic drying：
2-3干燥时间drying time：
2-4停留时间length of stay(in the drying chamber)：
2-5循环时间cycle time：
2-6干燥率 dessication ratio ：
2-7去湿速率mass flow rate of humidity：
2-8单位面积去湿速率mass flow rate of humidity per surface area：
2-9干燥速度 drying speed ：
2-10干燥过程drying process：
2-11加热温度heating temperature：
2-12干燥温度temperature of the material being dried ：
2-13干燥损失loss of material during the drying process ：
2-14飞尘lift off (particles)：
2-15堆层厚度thickness of the material：

3.冷冻干燥
3-1冷冻freezing：
(1).静态冷冻static freezing：
(2).动态冷冻dynamic freezing：
(3).离心冷冻centrifugal freezing：
(4).滚动冷冻shell freezing：
(5).旋转冷冻spin-freezing：
(6).真空旋转冷冻vacuum spin-freezing：
(7).喷雾冷冻spray freezing：
(8).气流冷冻air blast freezing：
3-2冷冻速率rate of freezing：
3-3冷冻物料frozen material：
3-4冰核ice core：
3-5干燥物料外壳envelope of dried matter：
3-6升华表面sublimation front：
3-7融化位置freezer burn：

4.真空干燥设备；真空冷冻干燥设备
4-1真空干燥设备和真空冷冻干燥设备vacuum drying plant and vacuum freeze drying plant：
4-2真空干燥器和冷冻干燥器vacuum drying chamber and freeze drying chamber：
4-3加热表面heating surface：
4-4物品装载面shelf ：
4-5干燥器的处理能力throughput (of the vacuum drying chamber)：
4-6单位面积干燥器处理能力throughput per shelf area：
4-7冰冷凝器ice condenser：
4-8冰冷凝器的负载load of the ice condenser：
4-9冰冷凝器的额定负载rated load of the ice condenser
8. 1.一般术语
1-1试样sample ：
(1).表面层surface layer：
(2).真实表面true surface：
(3).有效表面积effective surface area：
(4).宏观表面；几何表面macroscopic surface area; geometric surface area：
(5).表面粒子密度surface particle density：
(6).单分子层monolayer：
(7).表面单分子层粒子密度monolayer density：
(8).覆盖系数coverage ratio：
1-2激发excitation：
(1).一次粒子primary particle：
(2).一次粒子通量primary particle flux：
(3).一次粒子通量密度density of primary particle flux：
(4).一次粒子负荷primary particle load：
(5).一次粒子积分负荷integral load of primary particle：
(6).一次粒子的入射能量energy of the incident primary particle：
(7).激发体积excited volume：
(8).激发面积excited area：
(9).激发深度excited death：
(10).二次粒子secondary particles：
(11).二次粒子通量secondary particle flux：
(12).二次粒子发射能energy of the emitted secondary particles：
(13).发射体积emitting volume：
(14).发射面积emitting area：
(15).发射深度emitting depth：
(16).信息深度information depth：
(17).平均信息深度mean information depth：
1-3入射角angle of incidence：
1-4发射角angle of emission：
1-5观测角observation：
1-6分析表面积analyzed surface area：
1-7产额 yield ：
1-8表面层微小损伤分析minimum damage surface analysis：
1-9表面层无损伤分析non-destructive surface analysis：
1-10断面深度分析 profile analysis in depth; depth profile analysis ：
1-11可观测面积observable area：
1-12可观测立体角observable solid angle ：
1-13接受立体角；观测立体角angle of acceptance：
1-14角分辨能力angular resolving power：
1-15发光度luminosity：
1-16二次粒子探测比detection ratio of secondary particles：
1-17表面分析仪的探测极限detection limit of an apparatus for surface analysis：
1-18表面层分析仪灵敏度sensitivity of an apparatus for surface analysis：
1-19表面层分析仪质量分辨能力mass resolving power of an apparatus for surface analysis：
1-20表面层分析仪能量分辨能力energy resolving power of an apparatus for surface analysis：
1-21本底压力base pressure：
1-22工作压力working pressure：

2.分析方法
2-1二次离子质谱术；SIMS secondary ion mass spectroscopy：
(1).静态二次离子质谱术；静态SIMS static secondary ion mass spectroscopy ：
(2).动态二次离子质谱术；动态SIMS dynamic secondary ion mass spectroscopy ;dynamic SIMS：
2-2二次离子质谱仪;SIMS仪secondary ion mass spectrometer; SIMS apparatus：
2-3离子散射表面分析ion scattering spectroscopy：
2-4低能离子散射的表面分析；离子散射谱测定ISS low energy ion scattering spectroscopy; ISS：
2-5卢瑟福后向散射的表面分析；RBS；卢瑟福离子后向散射的表面分析；RIBS Rutherford backscattering spectroscopy; RBS; Rutherford ion backscattering spectroscopy; RIBS：
2-6离子散射谱仪ion scattering spectrometer：
2-7俄歇效应Auger process：
2-8俄歇电子谱术；AES仪 Auger electron spectroscopy; AES：
2-9俄歇电子能谱仪；AES仪Auger electron spectrometer ;AES apparatus：
2-10光电子谱术photoelectron spectroscopy ：
(1).紫外光电子谱术；UPS ultraviolet photoelectron spectroscopy; UPS：
(2).X射线光电子谱术;X-ray photoelectron spectroscopy ; XPS：
2-11光电子谱仪photoelectron spectrometer：
2-12低能电子衍射；LEED low energy electron diffraction ;LEED：
2-13低能电子衍射仪；LEED仪 apparatus for low energy electron diffraction ; LEED-apparatus：
2-14电子能损失谱术；ELS（也称EELS） electron energy loss spectroscopy(ELS)：
2-15电子能损失光谱仪；ELS仪 electron energy loss spectrometer ; ELS apparatus

zuiyuan	2007-03-13 15:13
太好了啊,多谢了啊

zhy980730	2007-03-14 11:39
多谢,了解点.

flyinlove79	2007-03-15 17:43
不错,多谢楼主分享资料 [s:4]

飞花无心	2007-03-26 09:33
很好，谢谢楼主啊

wottlin100	2007-04-02 09:19
呵呵，楼主辛苦啦！如果有定义解释更好！

xingmeng1227	2011-10-29 12:40
呵呵，楼主辛苦啦！

zh9607109	2011-11-03 05:41
呵呵，楼主辛苦啦！

wym87	2011-11-13 23:18
谢谢楼主的分享！Thanks!

douyongming	2012-06-17 17:03
太好了啊,多谢了啊

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