LED光和镭射激光的均匀化和整形
!8{VLg 均匀化的概念 %xt9k9=vZ _y@28t VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: Z}W{ iD{ • 微透镜阵列 87 Z[0> • 衍射扩散器 &Mh.PzO=b • 计算机生成的全息图 "J VIkC • 相位板 L9GLjRp- • 单元阵列 gf|uZ9{ M'*s5:i
红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 'jev1u[ 光学仿真和设计包括: eYOY • 衍射 ]\,?u / • 干涉 AdX))xgl • 空间和时间相干度 ?&B8:<qy;L • 像差 r- 8Awa • 偏振 (gt\R} • 光强 wu
<0or2 o`T.Zaik, 应用 s~M4. 06P rRTKF0+ 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: ``MO5${ • 信息显示 f:o.[4p2 • 测量系统 -amo8V;2H • 室内照明 ~7m`p3W@ • 汽车 )aS:h}zn • 军事 jqUVERbc • 光刻 ?]Yic]$n ]RVu[k8
用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 l6M?[ 优点Benefits u
Ie^Me _O`prX.:B0 微光学元件的照明系统有以下几大优点: <)qa{,GX\ • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. kmQ:wf: • 产生任意的二维图案. `<XS5h
h= • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. 26V6Y2X • 非常紧凑的照明系统. SN6 QX!3
E=NjWO 包含一个光栅元胞阵列的照明系统光线追迹模拟 微透镜阵列 rH}|~ ;jPsS^X 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: TWP@\ BQ • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. * #yF`_p • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. pb!2G/,.[ • 可以产生一般的二维图案. Fh~9(Y# • 单色光和白光的整形. 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. d i\.*7l? 衍射扩散器 35h|?eN_m! ,!=
sGUQ) 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: .k#PrT1C • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). P`tOL#UeZL • 生成任意的二维图案. I4Do$&9<D • 仅用于单色LED或准分子激光. kZ9Gl!g 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 7qC
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c 单元阵列 <spG]Xa< e$LC 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: ZflB<cI • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. .Xlo-gHk • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. Th_@'UDa • 产生任意的二维图案. }Qo]~/ • 用于单色光和白光. 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 7F`\Gz_2
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