| infotek | 2020-12-29 09:55 |
衍射光学元件的产生及其结构数据的输出关键词：衍射光学，衍射光学元件，结构数据，GDSII，ASCII，位图 所需工具箱：Diffractive Optics Toolbox Basic；Tutorial在试用版本中不可用。联系LightTrans或者当地经销商可申请一段全版本的试用。 相关Tutorials：DO.1; DO.2; DO.3; DO.4; DO.5; DO.7; LBS.1; LBS.2 建模任务  照射光束强度 衍射扩散器 产生的光图样强度 建模任务  2 扩散器参数： —相位层：4 —像素尺寸：830*830nm —口径：1*1mm —周期：664,83*664,83um 2 结构数据输出为二进制格式 2 需要的高度分布计算 2 蚀刻掩模分解 2 蚀刻掩模输出为位图和GDSII文件 打开光学扩散器系统  2 上载文件 DO.008_Generation_of_DOE_Fabrication_Data_01.lpd. 2 文件在VL_Samples文件夹中 光学扩散器系统   2 点击Go!按钮开始模拟扩散器系统. 模拟结果  2 扩散器系统产生的光图样强度分布 传输器提取  2 双击光路径图中的Stored Transmission打开编辑对话框 传输器(transmission)提取  2 点击Show按钮显示光路中的transmission. 扩散器传输   2 点击Cancel按钮 结构数据的产生   2 点击窗口上部以激活窗口 2 点击设计菜单中Structure Design 结构数据的产生  2 该结构设计对话框计算采用薄元件近似的传输相位得到的高度分布 2 近似对于大于5个波长的有效。对于越小的越不精确。 2 选择Target File Export以产生结构数据 结构数据的产生  2 对话框可以计算微小结构透明板和镜面.2 选择Height Profile of Transparent Plate. 结构数据的产生  2 设置正确的衬底和覆盖材料 2 点击Set按钮 结构数据的产生  2 对话框显示所有打开的材料文件的菜单 2 如果没有想要的材料文件打开，点击Load from Catalog 按钮从catalog中得到材料.结构数据的产生  2 选择材料目录Miscellaneous 2 选择材料PMMA 2 点击Load按钮.结构数据的产生  2 输入设计波长 2 如果衍射元件包含不连续高度层的高度分布，开启Enfore Quantization， 2 输入层数4 结构数据的产生  2 结构设计对话框显示需要调节的高度分布的深度使产生2pi相位差（一个波长） 2 另外，可以查看考虑到特定层数的高度分布图调节深度 结构数据的产生  2 下面部分可以定义结构的数据格式 2 VirtualLab产生两种不同类型的文件： —参数汇总文件包括大部分输入参数的概括，如蚀刻深度，设计波长，元件名称等等。数据可以存储为.xml, .html或者.txt文件。 —表面数据文件包括高度数据。数据可以存储为位图（bitmap）,GDSII或者ASCII文件。 结构数据的产生  2 选择你想要创建的参数汇总文件 2 .xml文件是强制的和需要再次输入到Virtuallab中 结构数据的产生  2 有效的文件类型依赖于制造技术 2 对于灰度印刷反选Use Layers. 高度分布数据可以存储在位图或Text格式（和ASCII格式） 2 对于二进制掩模技术选中Use Layers。不同层的数据可以存储在bitmap和GDSII文件中。 2 选择Bitmap和GDSII Data。 结构数据的产生  2 点击Ok按钮 结构数据的产生  2 出现一个保存对话框2 选择你要保存的文件夹输入有效文件名 2 所有的数据文件可以有相同的名字而不同的扩展名2 文件包含的蚀刻掩模(etching mask)的数据将在文件名中有附加的掩模（层layer）数.Mask 1表示最深的蚀刻步. 输出数据结果  数据输出结果  2 打开Windows Explorer到VL_Samples文件夹 2 双击DO.8_Generation_of_DOE_Fabrication_Data_02.xml file. 2 Internet Explorer将显示文件 数据输出结果  2 该XML文件包含了所有参数的汇总并连接所有产生的表面数据文件 结论 2 VirtualLab包含一个从传输器（transmission）中计算高度分布的结构设计 2 高度分布可以被输出。VirtualLab包含结构数据的不同文件格式（GDSII，ASCII，Bitmap格式）。 QQ：2987619807 |
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