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infotek 2020-12-25 09:56

结构设计和导出加工数据

内容简介: #DFfySH)A  
+>wBGVvS  
1.在VirtualLab中如何进行结构设计; I?!7]Sn$  
2RC|u?+@  
2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 wc#E:GJcK  
y,QJy=?  
结构设计 [:(^n0%  
1) 点击 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 *eonXJYD  
.#[==  
&KS*rHgt?  
2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 vMB`TpZ  
`gFE/i18  
     Dw6mSsC/  
3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 :v>Nz7SB  
j6_tFJT  
目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 U4*Q;A#  
Gn8'h TM  
光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。 BQfq]ti  
96FS-`  
<4|/AF*>  
光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 OEFAL t  
.sOEqwO}>  
C[xY 0<^B  
4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 (7Q Fy  
n$oHr  
J*} warf&  
gL:Vj%c  
导出加工数据 awic9 uMH  
;mAlF>6]\  
1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit) 2/W5E-tn  
)Z0bMO<  
yHk}'YP  
2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值,并进行3D预览 .h7`Q{  
:7 P/ZC%  
6S GV}dAx  
3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度 W1T% Q88  
       [, )G\  
<X b B;  
d~F4  
1\aJ[t  
4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 74p=uQ  
>{HQ"{Q  
y`|86` Y  
j @HOU~x  
5) 进入光学界面数据导出窗口 [ u.r]\[J  
qG<3H!Z!ky  
在一般(General)标签进行如下图所示的设置 7B)m/%>3s  
0lm7'H*~  
在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 nde_%d$  
%Y:"5fH  
在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据 OkV*,n  
h7"c_=w+  
s1GR!*z>  
导出加工数据列表 45aUz@  
iX|K4.Pz{  
00-cT9C3  
9k.5'#  
导入加工数据 ' %&gER  
G=ly .  
1) 点击 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI a7@':Rb n  
`i:DmIoz  
"!w#E6gU  
2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load) Rl/5eE8  
6Lb(oY}\3  
y9)w(y !  
3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) qC x|}5:  
u _mtdB'  
4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据 H _0F:e  
"\k| Z  
@y!oKF  
! *eDT4a  
yt@7l]I  
&pzf*|}  
5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件 e=^^TX`I  
DEw>f%&4  
5(=5GkE)>  
6) 导入完成,观察3D视图 NHL9qL"qk  
y<g1q"F  
m!K`?P]:N  
OAauD$Hh  
i$5<>\g  
QQ:2987619807
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