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infotek 2020-12-25 09:56

结构设计和导出加工数据

内容简介: bX7EO 8  
LFCTr/,  
1.在VirtualLab中如何进行结构设计; R"NGJu9  
SV&kWbS  
2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 P?uf?{  
#-,g&)`]  
结构设计 <#>Oy&E  
1) 点击 ,打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 [u[ U_g*  
GOGt?iw*<  
L*P_vCC  
2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布,默认为振幅视图. 点击,将默认的振幅视图转换为相位视图,点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 8GY.){d!l  
]K7`-p~T  
     (/'h4KS@  
3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 QO@6VY@  
FS8S68  
目标(Target)标签,可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 )B81i! q  
Z #EvRC  
光学设置(Optical Setup)标签,在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate),并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium),同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长(Wavelength)。 P2On k l  
4KE)g  
|B eA==  
光学界面参数(Interface Parameters)标签,在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None),以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面,并选择像素化的高度轮廓(最临近点插值)[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 Yr+d1(  
S9J5(lYv~N  
SWT:frki`  
4) 完成结构设计,在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 K<#-"Xe;  
 *. 8JP  
8\DME  
L7m`HVCt&  
导出加工数据 90p3V\LO  
82|q7*M*.  
1) 在LPD中双击生成的元件,可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component,简称DIC)的形式保存的,而高度轮廓以取样光学界面(Sampled interface)的形式保存,点击编辑(Edit) `0?^[;[u[  
'|&,E#`  
Z9xR  
2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口,在结构(Structure)标签上,选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值,并进行3D预览 D{R/#vM jk  
<^Nk.E  
+lKrj\Xj  
3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中,点击鼠标右键,选择精度(Accuracy),将界面取样精度设置为5,提高取样光学界面的显示精度 qp\BV#E  
       %lV@:"G  
rhIGOk1k  
qL3@PSN?|  
)=Zsv40O  
4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签,将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8,通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 FOSbe]  
c#  xO<  
PRwu  
dnwdFsf  
5) 进入光学界面数据导出窗口 Y#`Lcg+r,  
}'TTtV:Q  
在一般(General)标签进行如下图所示的设置 ?gN9kd)  
kxh 5}eB  
在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 VJg,~lQN#t  
7 5|pp  
在GDSII/CIF标签上选择默认设置,并点击Export导出加工数据 EI\v  
E+z18Lf?  
F@1d%c  
导出加工数据列表 y:,9I` aW  
<5I1DF[  
UWw}!1  
<BPRV> 0X  
导入加工数据 wyzOcx>M  
/W`$yM3  
1) 点击 ,新建一个LPD,在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件,以下简称SOI zP&q7 t;>  
G'9{a'  
(z2Z)_6L*L  
2) 双击SOI,进入其编辑窗口,点击加载(Load) MRs,l'  
thptm  
zKxvN3!  
3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) 8R}K?+]  
D%U:!|G  
4) 点击编辑(Edit),进入取样光学界面编辑窗口,导入加工数据 &6/%k kv  
4V$fGjJ3  
.=XD)>$  
(a }J$:  
|1l&@#j!2  
` 8UWE {  
5) 打开文件夹中的.xml文件,导入加工文件 j#VIHCzlr  
<0 uOq  
9U^$.Lb  
6) 导入完成,观察3D视图 DjwQ`MA  
{6O0.}q]&  
 so fu  
8%ik853`  
J &{xP8uq_  
QQ:2987619807
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