ouyuu:膜裂原因有很多。 Br-bUoua 有些是温度的影响,有些是吸水的影响。 {"s9A& PC上镀膜最好镀一个打底层,如SIO2或者AL2O3打底,对膜裂会有很大的改善。 cjH ~H8 另外如果可以的话用离子源辅助镀膜,也会对吸水造成的膜裂会有改善。 c9DX ....... (2021-01-16 17:25) ]+,Z()
zhongjiagang:PC镀膜的要注意以下几点: Iu%/~FgPj{ 1. 打底层最好用TiO2,厚度要>10nm,不要用SiO2和Al2O3打底,效果不好,百格易NG; X!nI{PE 2. 机器不要加热,离子源的能量要设计成一个渐变的过程,一般我的经验是:前2层的离子源能量是后面层的80%; R0-ARq#0< 3. 如果机器有2次电子捕捉器一定要装上,并且每炉清洁; i1 C]bUXA 4 .. (2021-02-08 09:19) (47jop0RDQ
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