利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) <9;X1XtpI '68#7Hs. 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 |H5$VSw =xb/zu( 1. 描述 J10&iCr{r* ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 8CvNcO;H0 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 RE]*fRe7# ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 $)=`Iai 1gLET.I: 2. 系统 =">0\# lg^Lk\Y+re
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd %GMCyT 3. 透镜系统组件编辑 G=kW4rAk /c7jL4oD ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 VQ+G. ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 eX0[C0# ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 kn&BGYt ■ 包括序列光学表面和光学介质。 dzV2; $:vS_# )E6E} 4. 光线追迹系统分析器-选项 KHeeB `V>J G12o?N0p O}6*9Xy ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 )R"UX:Q> ■ 可以选择选取光线的方法: "VMb1Zhf — 在x-y-网格 ykxAm\O — 六边形 $]^Io)}f@ — 自由选取 A[:(#iR5-E ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Ir5E*op7D W4nhPH( 5. 系统的3维视图 ;9vY5CxzC vOtILL6
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0i" 6. 其他系统参数 _) UnHp_^ ■ 系统由单色平面波照明 DYgz;Y/%l ■ 照明波长266.08nm x5M+\?I<2 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: "`*
>co6r — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 m;>:mwU — 一个虚拟屏位于焦平面 Z07n>|WF- — 光束尺寸探测器置于焦平面 ')(U<5y) ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 uaha)W;'9
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Kk ;i?R+T @q{.shqo ! 'Hd:oD< 7. 光线追迹系统分析器的结果 LK>;\BRe? 0XA0b1V X
光线经过整个光学系统的三维视图 cSmy
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光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) 6 8Vxy zV"'-iP ?&VKZSo
YuoIhT "@Qg]#]JH KfQR(e9n 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 $A T kCO UM^~a$t !;Pp)SRzKG ■ VirtualLab可用于计算点列图。 Qm*X Wo ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 q&LCMnv"P ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 #jPn7 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ?Q"1zcX 9A9T'g)Du 9. 焦平面上的结果 P4 #j;k4P 4Wa*Pcj 6<f(Zv? I ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 9d!mGnl ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 -_Kw3x ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm *0<)PJ T ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Fj"/jdM ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 EIPX q pB7^l|\] 10. 总结 t~8H~%T>v ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 D?4bp'0 3 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 `^h:}V ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Hk=HO|&<XB ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Jw{duM;] Sar1NkD# >G As&\4hs QQ:2987619807 1had8K-
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