利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) WL(u'%5 }8J77[>/ 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 /Hb'3,jN \tE2@ 1. 描述 ,9Y{x ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 94Mh/A9k ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 bv,_7UOG ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 l@7Xgsey .n1]Yk;,1 2. 系统 ,y@`= 95jJ"4 a+
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd pv1J6 3. 透镜系统组件编辑 nsk`nck gK7j~.bb" ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 h3Kv0^{ ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 /~*U'.V ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 lSU&Yqx ■ 包括序列光学表面和光学介质。 4SSq5Ve< j;@7V4' =+ `I%>wc 4. 光线追迹系统分析器-选项 R06q~ > >J>4g;Y 6?OH"!b2-} ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 [X[d`@rXv ■ 可以选择选取光线的方法: }TD$! — 在x-y-网格 4h wUH — 六边形 _q`$W9M+k — 自由选取 i_T8Bfd: ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 F3[3~r %m r 5. 系统的3维视图 /]4[b!OTJ f;M7y:A8q,
Z7?C^m 6. 其他系统参数 fhlhlOg ■ 系统由单色平面波照明 v
WKUV| ■ 照明波长266.08nm &scHyt ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: |NFX"wv:c< — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 .hW_P62\# — 一个虚拟屏位于焦平面 lgp-/O"T — 光束尺寸探测器置于焦平面 D(6d#c ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 X&EcQ o =)hUr l(|@ dp D/C,Q|Ya6 g@]G
[( 7. 光线追迹系统分析器的结果 F aO=<jYi Fa78yY+6
光线经过整个光学系统的三维视图 :{NvBxc[
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) Wi ]Mp7b $8#zPJR& zTb!$8D"g ++ !BSQ e ((L=1]w ;KqH]h) 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 8*yhx c0M=T 3uA%1
E ■ VirtualLab可用于计算点列图。 \5.36Se ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 d7Lna^ ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 T^YdAQeE ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 0X =Yly*m@ +:@HJXwK 9. 焦平面上的结果 A+i|zo5p=k td{M%D,R" P wL]v. : ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 >-fOkOWXy ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 t~m > \(& ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm !C>}j* 4 ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 =jZ}@L/+ ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Z^w11} W]cJP 10. 总结 m3zmyw} ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 'B&gr}@4O= ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Zhb)n ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 `0a=A#]1o ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 L h"K"Uv #hPa:I$Oc ^b)8l QQ:2987619807 }& ;49k
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