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infotek 2020-12-09 17:44

利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

示例.0082(1.0) -<aN$O  
Y kcN-  
关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 3[iHe+U(  
R}\n @X*  
1. 描述 0-zIohSJdQ  
该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 *`bAu *  
我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 :%"$8o*0W  
此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 )zq sn  
BW&)Zz  
2. 系统 T &kr IZw  
b)@b63P_  
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
!Ytr4DtM  
3. 透镜系统组件编辑 %n>*jFC  
_0qp!-l}  
在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 f hr QJ  
透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 CqbPUcK  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 hZLwg7X!   
包括序列光学表面和光学介质。 G,h=5y9_J  
E=8$*YUW(g  
wdTjJf r  
4. 光线追迹系统分析器-选项 \>r<z46x  
@j?)uJ0Q  
*9xv0hRQ%?  
分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 hha^:,  
可以选择选取光线的方法: 84u %_4/  
— 在x-y-网格 W&8)yog.  
— 六边形 FTC,{$  
— 自由选取 @If ^5s;z  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
U<mFwJ C]  
fs wQ*  
5. 系统的3维视图 XKepk? E  
O #S27.  
pcjb;&<  
6. 其他系统参数 q3-V_~5^/z  
系统由单色平面波照明 eNw9"X}g  
照明波长266.08nm D\i8WU  
后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Fb9!x/$tGV  
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 b(|1DE0Cv  
— 一个虚拟屏位于焦平面 V?"SrXN>  
— 光束尺寸探测器置于焦平面 /4PV<[ :_  
焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 a}MSA/K(  
cq \()uF'c  
o>}fKg<  
Foc) u~  
beCTOmC  
7. 光线追迹系统分析器的结果 O+Qt8,  
LU4k/  
光线经过整个光学系统的三维视图
S8$kxQg  
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
2dUVHu= +  
pv #uLo  
N++jI(  
}+Ne)B E  
bI?YNt,  
W bW@V_rr  
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Ot#O];3  
=UW! 7OzC  
251^>x.R  
VirtualLab可用于计算点列图。 wa*/Am9;~  
左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 HKZD*E((  
默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 amY\1quD|  
你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 kLw07&H  
T2^0Q9E?  
9. 焦平面上的结果 N-4k 9l1  
{2Jn#&Z29  
-$js5 Gx1  
在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 g-Y2U}&  
在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 %8a886;2  
焦平面上的光斑尺寸为183mm <p74U( V  
此外,背景颜色也可以预先设置。 }+fMYgw  
该测量采用均方根(RMS)计算法。
05cyWg9a  
5 UQbd8  
10. 总结 TsB"<6@!AA  
VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 8(EK17rE `  
利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 cnR.J  
此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 l" #}g%E  
可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 }yfSF|\  
y(!Y N7_A  
3. kP,  
QQ:2987619807 UtebSQ+h\  
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