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infotek 2020-12-09 17:44

利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

示例.0082(1.0) IS3e|o*]MP  
`M towXj  
关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 $K5ni{M;  
#p']-No  
1. 描述 q}wl_ku9+  
该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 7*R{u*/e  
我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 7Y$4MMNQ  
此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 N[- %0  
3'|Uqf8  
2. 系统 yBU ZVqqDa  
ahK?]:&QO  
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
#RCZA4>  
3. 透镜系统组件编辑 WsG"x>1n  
PT 0Qzg  
在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 g6x/f<2x  
透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。  m^W*[ ^p  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 !Qj)tS#Az  
包括序列光学表面和光学介质。 }[XB]Xf  
G~b`O20N  
`</=AY>  
4. 光线追迹系统分析器-选项 }3 fLV  
iX0]g45o  
nsM>%+o  
分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ]j%*"V  
可以选择选取光线的方法: Y^*Lh/:h  
— 在x-y-网格 2tg/S=t}  
— 六边形 ~Hp#6+  
— 自由选取 y\r^\ S9%  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
B;Q`vKY  
0xvMR&.H  
5. 系统的3维视图 (Von;U  
>x|A7iWn{,  
[RGC!}"mr  
6. 其他系统参数 I{*.htt{  
系统由单色平面波照明 W07-JHV%  
照明波长266.08nm yhw:xg_;Kz  
后端的探测器用来分析透镜系统的性能: -$sl!%HO%  
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 bv:0EdVr  
— 一个虚拟屏位于焦平面 ,u8ZS|9  
— 光束尺寸探测器置于焦平面 iZDb.9@&t  
焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 mM\!4Yi`7  
tW Cv]*  
H`+]dXLB  
&k%wOz1vM  
HlOAo:8'  
7. 光线追迹系统分析器的结果 vkNZ -`+I  
 9^b7jw  
光线经过整个光学系统的三维视图
'AAF/9  
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
$w";*">:0  
&kr_CP:;  
n##w[7B*  
On2Vf*G@|  
nkr,  
sTYuwna~   
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 dZ;~b(CA  
^Xt]wl*]+  
I49=ozPP  
VirtualLab可用于计算点列图。 SoM ]2^  
左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 mTb2d?NS  
默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 @'NaA SB  
你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 .LGkr@P  
Hm8EYPr J  
9. 焦平面上的结果 RJ`/qXL  
^}Dv$\;6  
bCY^.S-  
在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 2\iD;Z#gM  
在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 mXN1b!  
焦平面上的光斑尺寸为183mm C7fi1~  
此外,背景颜色也可以预先设置。 u}@% 70A  
该测量采用均方根(RMS)计算法。
%;"B;~  
q9a wzj  
10. 总结 u[6`Jr~  
VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 .@/z-OgXg  
利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 46.q a nh  
此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 W&~iO   
可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 zvQ^f@lq2  
#Ko+_Hm?4  
?XTg%U  
QQ:2987619807 |]]pHC_/W  
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