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infotek 2020-12-09 17:44

利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

示例.0082(1.0) Dlq !:dF{&  
G$>QH-p  
关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 2lCFE)  
XzHR^^;u"*  
1. 描述 p,goYF??  
该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 iN[x *A|h  
我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 B*,)@h  
此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 w?8SQI,~X  
 C/IF~<B  
2. 系统 ) ](ls@*  
<;6{R#Tuh  
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
iCE!TmDT  
3. 透镜系统组件编辑 Y @p<f5[c  
MQQm3VaKS  
在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 U}RBgPX!  
透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ;^5k_\  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 4"|Xndh1.  
包括序列光学表面和光学介质。 h 6Z:+  
A~2)ZdAN  
W<r<K=`5P  
4. 光线追迹系统分析器-选项 t$18h2yOL  
N2v/<  
S^eem_C  
分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 6 Rl[M+Q  
可以选择选取光线的方法: C/!.VMl^  
— 在x-y-网格 +e-F`k  
— 六边形 c Mgd  
— 自由选取 ^_;'9YD  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
WVdV:vJ-  
a%T`c/C  
5. 系统的3维视图 u4C9ZYN  
%.Ma_4o Z  
vR!+ 8sy$  
6. 其他系统参数 r3l1I}  
系统由单色平面波照明 q 84*5-  
照明波长266.08nm V4:/LNq_]  
后端的探测器用来分析透镜系统的性能: :A8}x=K  
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 v Y0bK-  
— 一个虚拟屏位于焦平面 Vx h39eW  
— 光束尺寸探测器置于焦平面 s-$ Wc) l  
焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Y%XF64)6  
{^WK#$]  
c ZYy+  
eDJnzh83  
+e>SK!kB7  
7. 光线追迹系统分析器的结果 BNfj0e5b  
r5}p .  
光线经过整个光学系统的三维视图
D&G6^ME  
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
{821e&r  
P`biHs8O  
srVWN:uuH  
5/=$p:E>  
q)?%END  
r&{8/ 5 "  
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 @d WA1tM  
0D(8-H  
rNP;53FtZl  
VirtualLab可用于计算点列图。 EYT^*1,E*  
左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 j&8YE7  
默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 j3Od7bBS]  
你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 5pCicwea#  
-9b=-K.y  
9. 焦平面上的结果 _3`G ZeGV  
M|(VM=~  
y%TqH\RKv  
在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 C4mkt2Eb0a  
在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ?"yjgt7+y  
焦平面上的光斑尺寸为183mm oGcgd$%ZB  
此外,背景颜色也可以预先设置。 X-\$<DiJGv  
该测量采用均方根(RMS)计算法。
o?baiOkH  
7{#p'.nc5  
10. 总结 2{ F-@}=  
VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 :Awwt0  
利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ht -'O"d:  
此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 T|~5dZL  
可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 %J*1F  
'.v;/[0  
| .jWz.c  
QQ:2987619807 n {?Du  
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