利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) IS3e|o*]MP `M towXj 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 $K5ni {M; #p']-No 1. 描述 q}wl_ku9+ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 7*R{u*/e ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 7Y$4MMNQ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 N[- %0 3'|Uqf8 2. 系统 yBUZVqqDa ahK?]:&QO
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd #RCZA4> 3. 透镜系统组件编辑 WsG"x>1n PT
0Qzg ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 g6x/f<2x ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 m^W*[^p ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 !Qj)tS#Az ■ 包括序列光学表面和光学介质。 }[XB]Xf G~b`O20N `</=AY> 4. 光线追迹系统分析器-选项 }3
fLV iX0]g45o nsM>% +o ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 ]j%*"V ■ 可以选择选取光线的方法: Y^*Lh/:h — 在x-y-网格 2tg/S=t} — 六边形 ~Hp#6+ — 自由选取 y\r^\ S9% ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 B;Q`vKY 0xvMR&.H 5. 系统的3维视图 (Von;U >x|A7iWn{,
[RGC!}"mr 6. 其他系统参数 I{*.htt{ ■ 系统由单色平面波照明 W07-JHV% ■ 照明波长266.08nm yhw:xg_;Kz ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: -$sl!%HO% — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 bv:0EdVr — 一个虚拟屏位于焦平面 , u8ZS|9 — 光束尺寸探测器置于焦平面 iZDb.9@&t ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 m M\!4Yi`7 tWCv]* H`+]dXLB &k%wOz1vM HlOAo:8' 7. 光线追迹系统分析器的结果 vkNZ -`+I 9^b7jw
光线经过整个光学系统的三维视图 'AAF/ 9
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) $w";*">:0 &kr_CP:; n##w[7B* On2Vf*G@| nkr, sTYuwna~
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 dZ;~b(CA ^Xt]wl*]+ I49=ozPP ■ VirtualLab可用于计算点列图。 SoM
]2^ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 mTb2d?NS ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 @'NaA SB ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 .LGkr@P Hm8EYPrJ 9. 焦平面上的结果 RJ`/qXL ^}Dv$\;6 bCY^.S- ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 2\iD;Z#gM ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 mXN1b! ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm C7fi1~ ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 u}@%70A ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 %;"B;~ q9a
wzj 10. 总结 u[6`Jr~ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 .@/z-OgXg ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 46.q anh ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 W&~iO ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 zvQ^f@lq2 #Ko+_Hm?4 ?XTg%U
QQ:2987619807 |]]pHC_/W
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