利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) VAKy^nR5j e{C6by"j{S 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ~/|zlu*jpc r1Z<:}ZwK 1. 描述 H/J<Pd$p ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 K@r*;T ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 GuO`jz F ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 (q~0XE/ a lIh[|] 2. 系统 io4aYB\ 0=;YnsY
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd O&'/J8 3. 透镜系统组件编辑 [/ohk& oT3Y!Y3=< ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 w^o}E)O ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 a)9rs\Is{ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 -0 0}if7 ■ 包括序列光学表面和光学介质。 te'*<HM l h/&__ L'9N9CR{i 4. 光线追迹系统分析器-选项 LC-)'Z9}5 YKs4{?vw ut5yf$% ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 HC7JMj ■ 可以选择选取光线的方法: Z;b+>2oL — 在x-y-网格 iP "EA8 — 六边形 "s]y!BLk — 自由选取 jTSOnF}C~+ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 9$O@`P\ g:gB`8w? 5. 系统的3维视图 V8"Wpl9Cz g-@h>$<
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SxMj,u%X/ 6. 其他系统参数 %^.P~s6 ■ 系统由单色平面波照明 HomN/wKh ■ 照明波长266.08nm >V!LitdJ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: CBHc A'L — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 0ar=cuDm — 一个虚拟屏位于焦平面 qY# d+F,t — 光束尺寸探测器置于焦平面 7ZFJexN] ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 n`L,]dco 2p:r`THvS5 z{?4*Bq
W9R`A nq;#_Rkr 7. 光线追迹系统分析器的结果 8D~x\!(p\ !R:y'Y%j
光线经过整个光学系统的三维视图 tWD|qg_
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) V(mnyI ek)Xrp:2 XDLEVSly7 40K2uT{cq 8$}OS- PZM42"[& 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 7g6RiH} Lko`F$5X )5yj/0oT ■ VirtualLab可用于计算点列图。 U9ZbVjqv@ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 `Q%NSU? ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ,Y!zORv<7 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ' G#SLqZy Lk.h.ST 9. 焦平面上的结果 0Nr\2| h<3p8eB $qm~c[x% ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 >XE`h9 ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 3g'+0tEl ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm lrys3 ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 |:2c$zq ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 C\Ayv)S#2 R6@uM< |