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infotek 2020-12-09 17:44

利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

示例.0082(1.0) <9;X1XtpI  
'68#7Hs.  
关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 |H 5$VSw  
=xb/zu(  
1. 描述 J10&iCr{r*  
该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 8CvNcO;H0  
我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 RE]*fRe7#  
此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 $)=`Iai  
1gLET.I:  
2. 系统 =">0\#  
lg^Lk\Y+re  
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
%GMCyT  
3. 透镜系统组件编辑 G=kW4rAk  
/c7jL4oD  
在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 VQ+G.  
透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 eX0 [C0#  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 kn&BGYt  
包括序列光学表面和光学介质。 d zV2;  
$:vS_#  
)E6E}  
4. 光线追迹系统分析器-选项 KHeeB`V>J  
G12o?N0p  
O}6*9Xy  
分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 )R"UX:Q>  
可以选择选取光线的方法: "VMb1Zhf  
— 在x-y-网格 ykxAm\O  
— 六边形 $ ]^Io)}f@  
— 自由选取 A[:(#iR5-E  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
Ir5E*op7D  
W4nhPH(  
5. 系统的3维视图 ;9vY5CxzC  
vOtILL6  
N#X* 0i"  
6. 其他系统参数 _) UnHp_^  
系统由单色平面波照明 DYgz;Y/%l  
照明波长266.08nm x5M+\?I<2  
后端的探测器用来分析透镜系统的性能: "`* >co6r  
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 m;>:mwU  
— 一个虚拟屏位于焦平面 Z07n>|WF-  
— 光束尺寸探测器置于焦平面 ')(U<5y)  
焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 uaha)W;'9  
M{YN^ Kk  
;i ?R+T  
@q{.shqo  
!'Hd:oD<  
7. 光线追迹系统分析器的结果 LK>;\BRe?  
0XA0 b1VX  
光线经过整个光学系统的三维视图
cSmy M~[  
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
6 8Vxy  
zV"'-iP  
?&VKZSo  
YuoIhT  
"@Qg]#]JH  
KfQR(e9n   
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 $A T kCO  
UM^~a$t  
!;Pp)SRzKG  
VirtualLab可用于计算点列图。 Qm*XWo  
左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 q&LCMnv"P  
默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 #jPn7  
你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ? Q"1zcX  
9A9T'g)Du  
9. 焦平面上的结果 P4 #j;k4P  
4Wa*Pcj  
6<f(Zv? I  
在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 9d!mGnl  
在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 -_Kw3x  
焦平面上的光斑尺寸为183mm *0<)PJ T  
此外,背景颜色也可以预先设置。 Fj"/jdM  
该测量采用均方根(RMS)计算法。
 EIPXq  
pB7^l|\]  
10. 总结 t~8H~%T>v  
VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 D?4bp'0 3  
利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 `^h:} V  
此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Hk=HO|&<XB  
可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 Jw{ duM;]  
Sar1NkD#  
>G As&\4hs  
QQ:2987619807 1had8K-  
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