利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) q!f1~ aG w[_x(Ojq; 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 577:u<Yt fbFX4?- 1. 描述 qzFQEepso ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 .Hc(y7HV ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 hh~n#7w~IR ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 O+=vEp( H0a/(4/xg 2. 系统 ;NV'W] O[9-:,B{w
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd G5D2oQa=8 3. 透镜系统组件编辑 ;eigOU] \n9A^v`F/ ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Px5t,5xT8 ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 l{ex? ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 8hA^`Y ■ 包括序列光学表面和光学介质。
u@p? hNXBVIL<& e75UMWaeC 4. 光线追迹系统分析器-选项 0aR,H[r[? Gjz[1d I8H%=Kb?9 ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 G6K
< ■ 可以选择选取光线的方法: /,5Z-Z*wq — 在x-y-网格 Rq~t4sA: — 六边形 b'ml=a#i0 — 自由选取 >EXb|vw
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 SbsouGD,{ %lr|xX 5. 系统的3维视图
L;W.pe0 O`cu_
U},=LsDsW4 6. 其他系统参数 ? 81X ■ 系统由单色平面波照明 Q\{x)|{$ ■ 照明波长266.08nm o@lWBfB*%e ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: "`A :(<x — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 WW@"Z}?k — 一个虚拟屏位于焦平面 5;)*T6Y — 光束尺寸探测器置于焦平面 LT+3q%W.UC ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 SQE[m9v 2
Tvvq(?T 0MIUI<;j %@ mGK8 Nq 8@Nyp 7. 光线追迹系统分析器的结果 TTI81:fku mnF}S5[9
光线经过整个光学系统的三维视图 v4*rPGv
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) h3u1K>R) !- ~X?s~L -ewQp9)G (UEXxUdQ_Q NB8& FE5Q?*Ea 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 H D/5!d w,.qCp T$_ }dSFAKI2dM ■ VirtualLab可用于计算点列图。 i4Z4xTn ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ;5|1M8]=0 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 H*e'Cs/ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 b_$1f> {^q)^<#JT 9. 焦平面上的结果 Ar,
9U9 0x)dnq\ e`UQz$4! ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 S;@ay/*~ ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 eE:&qy^ ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm e (\I_ ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Z/ bB
h ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ?;7b*Z ;\b@)E} 10. 总结 Yx?aC!5M ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 6p<`h^ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 W=-|` ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ):6- ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ?F$6;N6x 9q4_j g@nk.aRw QQ:2987619807 4L:>4X[T
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