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infotek 2020-12-09 17:44

利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

示例.0082(1.0) q!f1~aG  
w[_x(Ojq;  
关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 577:u<Yt  
fbFX4?-  
1. 描述 qzFQEepso  
该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 .Hc(y7HV  
我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 hh~n#7w~IR  
此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 O+=vEp(  
H0a/(4/xg  
2. 系统 ;NV'W]  
O[9-:,B{w  
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
G5D2oQa=8  
3. 透镜系统组件编辑 ;eigOU]  
\n9A^v`F/  
在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Px5t,5xT8  
透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 l{ex?  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 8hA^`Y  
包括序列光学表面和光学介质。 u@p?  
hNXBVIL<&  
e75UMWaeC  
4. 光线追迹系统分析器-选项 0aR,H[r[?  
Gjz[1d  
I8H%=Kb?9  
分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 G6K  <  
可以选择选取光线的方法: /,5Z-Z*wq  
— 在x-y-网格 Rq~t4sA:  
— 六边形 b'ml=a#i 0  
— 自由选取 >EXb|vw   
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
S bsouGD,{  
%lr|xX  
5. 系统的3维视图 L;W.pe0  
O`cu_  
U},=LsDsW4  
6. 其他系统参数 ? 8 1X  
系统由单色平面波照明 Q\{x)|{$  
照明波长266.08nm o@lWBfB*%e  
后端的探测器用来分析透镜系统的性能: "`A:(<x  
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 WW@"Z}?k  
— 一个虚拟屏位于焦平面 5;)*T6Y  
— 光束尺寸探测器置于焦平面 LT+3q%W.UC  
焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 SQE[m9v  
2 Tvvq(?T  
0MIUI<;j  
%@ mGK8  
Nq8@Nyp  
7. 光线追迹系统分析器的结果 TTI81:fku  
mnF}S5[9  
光线经过整个光学系统的三维视图
v4*rPGv  
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
h3u1K>R)  
!- ~ X?s~L  
-ewQp9)G  
(UEXxUdQ_Q  
NB8&   
FE5Q?*Ea  
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 H D/5!d  
w,.qCpT$_  
}dSFAKI2dM  
VirtualLab可用于计算点列图。 i4Z4xTn  
左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ;5|1M8]=0  
默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 H*e'Cs/  
你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 b_$ 1f >  
{^q)^<#JT  
9. 焦平面上的结果 Ar, 9U9  
0x)dnq\  
e`U Qz$4!  
在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 S;@ay/*~  
在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 eE:&qy^  
焦平面上的光斑尺寸为183mm e(\I_  
此外,背景颜色也可以预先设置。 Z/ bB h  
该测量采用均方根(RMS)计算法。
?;7b*Z  
 ;\b@)E}  
10. 总结 Yx?aC!5M  
VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 6p<`h^  
利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 W=-|`  
此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ):6 -  
可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ?F$6;N6x  
9q4_j  
g@nk.aRw  
QQ:2987619807 4L:>4X[T  
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