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infotek 2020-12-09 17:44

利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

示例.0082(1.0) VAKy^nR5j  
e{C6by"j{S  
关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ~/|zlu*jpc  
r1Z<:}ZwK  
1. 描述 H/J<Pd$p  
该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 K@r*;T  
我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 GuO`jz F  
此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 (q~0XE/ a  
lIh[|]  
2. 系统 io4aYB\  
0=;YnsY  
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
O&'/J8  
3. 透镜系统组件编辑 [ /ohk&  
oT3Y!Y3=<  
在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 w^o }E)O  
透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 a)9rs\Is{  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 -0 0}if7  
包括序列光学表面和光学介质。 te'*<HM  
l h/&__  
L'9N9CR{i  
4. 光线追迹系统分析器-选项 LC-)'Z9}5  
YKs4{?vw  
ut5yf$%  
分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 HC7JMj  
可以选择选取光线的方法: Z;b+>2oL  
— 在x-y-网格 iP "EA8  
— 六边形 " s]y!BLk  
— 自由选取 jTSOnF}C~+  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
9$ O@`P\  
g:gB`8w?  
5. 系统的3维视图 V8"Wpl9Cz  
g-@h>$< 1  
SxMj,u%X/  
6. 其他系统参数 %^.P~s6  
系统由单色平面波照明 HomN/wKh  
照明波长266.08nm >V!LitdJ  
后端的探测器用来分析透镜系统的性能: CBHc A'L  
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 0ar=cuDm  
— 一个虚拟屏位于焦平面 qY# d+F,t  
— 光束尺寸探测器置于焦平面 7ZFJexN]  
焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 n`L,]dco  
2p:r`THvS5  
z{?4*Bq  
W9R`A  
nq;#_Rkr  
7. 光线追迹系统分析器的结果 8D~x\!(p\  
!R:y'Y%j  
光线经过整个光学系统的三维视图
tWD|qg_  
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
V(mn yI  
ek)Xrp:2  
XDLEVSly7  
40K2uT{cq  
8$}OS-  
PZM42"[&  
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 7 g6RiH}  
Lko`F$5X  
)5yj/0oT  
VirtualLab可用于计算点列图。 U9ZbVjqv@  
左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 `Q%NSU?  
默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ,Y!zORv<7  
你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 'G#SLqZy  
Lk.h.ST  
9. 焦平面上的结果 0Nr\2|  
h<3p8eB  
$qm~c[x%  
在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 >XE`h 9  
在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 3g'+0tEl  
焦平面上的光斑尺寸为183mm lrys3  
此外,背景颜色也可以预先设置。 |:2c$zq  
该测量采用均方根(RMS)计算法。
C\Ayv)S #2  
R6@uM<  
10. 总结 8(A{;9^g  
VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 s4t0f_vj`  
利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 "# S>I8d  
此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 0HbJKix!  
可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 +qkMQETV6  
uva\0q  
)H+kB<n  
QQ:2987619807 MUcN C\`z  
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