利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) Dlq!:dF{& G$>QH-p 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 2lCFE) XzHR^^;u"* 1. 描述 p,goYF?? ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 iN[x
*A|h ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 B*,)@h ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 w?8SQI,~X C/IF~<B 2. 系统 )](ls@* <;6{R#Tuh
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd iCE!TmDT 3. 透镜系统组件编辑 Y @p<f5[c MQQm3VaKS ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 U}RBgPX! ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ;^5k_\ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 4"|Xndh1. ■ 包括序列光学表面和光学介质。 h6Z:+ A~2)ZdAN W<r<K=`5P 4. 光线追迹系统分析器-选项 t$18h2yOL N2v/< S^eem_C ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 6
Rl[M+Q ■ 可以选择选取光线的方法: C/!.VMl^ — 在x-y-网格 +e-F`k — 六边形 c Mgd — 自由选取 ^_;'9YD ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 WVdV:vJ- a%T`c/C
5. 系统的3维视图 u4C9ZYN %.Ma_4o
Z
vR!+ 8sy$ 6. 其他系统参数 r3l1I} ■ 系统由单色平面波照明 q 84*5- ■ 照明波长266.08nm V4:/LNq_] ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: :A8}x=K — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 v Y0bK- — 一个虚拟屏位于焦平面 Vxh39eW — 光束尺寸探测器置于焦平面 s-$Wc)l ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 Y%XF64)6 {^WK#$] cZYy+ eDJnzh83 +e>SK!kB7 7. 光线追迹系统分析器的结果 BNfj0e 5b r5}p .
光线经过整个光学系统的三维视图 D&G6^ME
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) {821e&r P`biHs8O srVWN:uuH 5/=$p:E> q)?%END r&{8/ 5" 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 @dWA1tM 0D(8-H rNP;53FtZl ■ VirtualLab可用于计算点列图。 EYT^*1,E* ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 j&8YE7 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 j3Od7bBS] ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 5 pCicwea# -9b=-K.y 9. 焦平面上的结果 _3`GZeGV M| (VM=~ y%TqH\RKv ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 C4mkt2Eb0a ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 ?"yjgt7+y ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm oGcgd$%ZB ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 X-\$<DiJGv ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 o?baiOkH 7{#p'.nc5 10. 总结 2{ F-@}= ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 :Awwt0 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ht-'O"d: ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 T|~5dZL ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 %J*1F '.v;/[0 |
.jWz.c QQ:2987619807 n{?Du
|