利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) OMg<V ur7q [n 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 E#t>Qn 2u*KM`fa` 1. 描述 m#Z#
.j_2 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Q%mB|i|
■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 2JcjZn ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 PxkOT* Y,t={HiclX 2. 系统 tc{sB\&- |T)6yDL
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd __GqQUQ 3. 透镜系统组件编辑 u-G+ j) XaPV94 ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 1 \6D '/G ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 1gN=-AC ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 'K{Z{[s{ ■ 包括序列光学表面和光学介质。 Oh6fj}eK :\7X}n*& RcU}}V 4. 光线追迹系统分析器-选项 e@*
EzvO o:P}Wg/NK VYImI>.t{ ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 l(tOe ■ 可以选择选取光线的方法: 0eu$ W — 在x-y-网格 ly_HWuFJ3 — 六边形 "J8vjr1/ — 自由选取 MC:@U~}6 ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ;{tj2m, A='N=^Pm 5. 系统的3维视图 FOy|F-j 8~z~_TD6m@
D}8[bWF 6. 其他系统参数 /Uy"M:|V1 ■ 系统由单色平面波照明 E`de7 ■ 照明波长266.08nm Y^}Z> ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: P0j8- I — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 'yG4
LF — 一个虚拟屏位于焦平面 T1Z;r*} — 光束尺寸探测器置于焦平面 8sTp`}54J ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 \Vy Z usK*s$ns
+:!7L=N# <;m<8RjX 9s$CA4?HP 7. 光线追迹系统分析器的结果 ,UGRrS pRIhFf
光线经过整个光学系统的三维视图 BB*f4z$Y%
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) "h a L 4;]hK!AXS ';jYOVe %9N7Ln|% a>]uU*Xm VE{3} S 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 F9E<K]7K fS [,vPl $oU*9}}Rn ■ VirtualLab可用于计算点列图。 nv%rJy*w[ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 EwC{R` ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 %gyLCTw ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 D=m9fFz Raxrb=7 9. 焦平面上的结果 y7
3VFb hjB@o#S bE#,=OI$ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 .
Z.)t ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 YY)s p% ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 9N<<{rQ,F ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 l(u.I2^o ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 , 5kKimTt bRJMYs 10. 总结 PMh^(j[ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 EQ`(yj ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 V=qwwYz~ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Y/>&0wj)d ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 jN>{'TqW4 ?hM>mL )5%'.P> QQ:2987619807 fA<[f
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