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infotek 2020-12-09 17:44

利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

示例.0082(1.0) OMg<V  
ur7q [n  
关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 E#t>Qn  
2u*KM`fa`  
1. 描述 m#Z# .j_2  
该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Q%mB |i|  
我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 2JcjZn  
此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 PxkO T*  
Y,t={HiclX  
2. 系统 tc{s B\&-  
|T)6yDL  
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
__GqQUQ  
3. 透镜系统组件编辑 u-G+ j)  
XaPV9 4  
在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 1 \6D '/G  
透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 1gN=-AC  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 'K{Z{[s{  
包括序列光学表面和光学介质。 Oh6fj}eK  
:\7X}n*&  
RcU}}V  
4. 光线追迹系统分析器-选项 e@* EzvO  
o:P}Wg/NK  
VYImI>.t{  
分析器允许用户指定使用光源的光线选项。  l(tOe  
可以选择选取光线的方法: 0eu$ W  
— 在x-y-网格 ly_HWuFJ3  
— 六边形 "J8vjr1/  
— 自由选取 MC:@U~}6  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
;{tj2m,  
A='N=^Pm  
5. 系统的3维视图 FOy|F-j  
8~z~_TD6m@  
D}8[bWF  
6. 其他系统参数 /Uy"M:|V1  
系统由单色平面波照明 E`de7  
照明波长266.08nm Y^}Z>  
后端的探测器用来分析透镜系统的性能: P0j8- I  
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 'yG4 LF  
— 一个虚拟屏位于焦平面 T1Z;r*}  
— 光束尺寸探测器置于焦平面 8sTp`}54 J  
焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 \VyZ  
usK*s$ns  
+:!7L= N#  
<;m<8RjX  
9s$CA4?HP  
7. 光线追迹系统分析器的结果 ,UGRrS  
pRIhFf  
光线经过整个光学系统的三维视图
BB*f4z$Y%  
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
"haL  
4;]hK!AXS  
';jYOVe  
%9N7Ln|%  
a>]uU*Xm  
VE {3}S  
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 F9E<K]7K  
fS[,vPl  
$oU*9}}Rn  
VirtualLab可用于计算点列图。 nv%rJy*w[  
左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 EwC{R`  
默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 %gyLCTw  
你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 D=m9fFz  
Raxrb=7  
9. 焦平面上的结果 y7 3VFb  
hj B@o#S  
bE#,=OI$  
在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 . Z.)t  
在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 YY)s p%  
焦平面上的光斑尺寸为183mm 9N<<{rQ,F  
此外,背景颜色也可以预先设置。 l(u.I2^o  
该测量采用均方根(RMS)计算法。
,5kKimTt  
bRJMYs  
10. 总结 PMh^(j[  
VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 EQ`(yj  
利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 V=qwwYz~  
此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Y/ >&0wj)d  
可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 jN>{'TqW4  
?hM>mL  
)5%'.P>  
QQ:2987619807  fA<[f  
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