利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) TeKC} NW 8^8>qSD1 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 xrfPZBLy sZ]'DH&_( 1. 描述 F%9cS
: ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 <b6s&"%= ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 *wViH ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 h (qshbC} ud yAP> 2. 系统 {,i=>%X* 4sb )^3T
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd n"mJEkHE 3. 透镜系统组件编辑 qx Wgt(Os oDz*~{BHg ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 'G<}U343=8 ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 /X@7ju; ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 UHr{ ■ 包括序列光学表面和光学介质。 m{vT_ei (~=Qufy j \!~9 4. 光线追迹系统分析器-选项 D}mo\ +Y^-e.UO h0T< :X ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 hK:#+hg, ■ 可以选择选取光线的方法: }PtI0mZ1 — 在x-y-网格
A(q~{ — 六边形 g4zT(,ZY — 自由选取 )\um"l*\c ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 w/qQ(]n8 's =Q.s 5. 系统的3维视图 F<h&3 Y*`:M(
#x, ]D 6. 其他系统参数 X
QI.0L" ■ 系统由单色平面波照明 Qe7"Z ■ 照明波长266.08nm JCM)N8~i ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 7YMxr3F — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 D9}d]9]$ — 一个虚拟屏位于焦平面 'u4}t5Bu5 — 光束尺寸探测器置于焦平面 oN.Mra]D ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 g ^D)x[ '
%bj9{(0 p3V9ikyy +<'uw Iu)L3_+ 7. 光线追迹系统分析器的结果 vs5
D:cZ} F6RyOUma
光线经过整个光学系统的三维视图 hp?ad
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) B=Xnv*e N5:D8oWWXR #B}BI8o ( JA}S{ uU8*$+ " 7yY1dR<Y 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 #gxRTx #nU@hOfg SlH7-"Ag ■ VirtualLab可用于计算点列图。 i;E9ZaW ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 @/_XS4 ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 <ol$-1l#9 ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 pKOT Qf yC9:sQ'k 9. 焦平面上的结果 MuCQxzvkhf I T*fjUY& 7VEt4 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 |u?k-,uI9 ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 OGSEvfW ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm G:E+s(x ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Y;a6:>D%cT ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Hl%+F0^? UQC'(>.} 10. 总结 ANA2S*r ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 asm[-IB2u ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Sa?~t3*H ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 "Qiq/"h ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 w]]x[D]L 9m<X-B&P Vp- n(Z QQ:2987619807 S>/I?(J
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