利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) -<aN$O Y kcN- 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 3[iHe+U( R}\n@X* 1. 描述 0-zIohSJdQ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 *`bAu * ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 :%"$8o*0W ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 )zq sn BW&)Zz 2. 系统 T&kr IZw b)@b63P_
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd !Ytr4DtM
3. 透镜系统组件编辑 %n>*jFC _0qp!-l} ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 f hr
QJ ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 CqbPUcK ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 hZLwg7X! ■ 包括序列光学表面和光学介质。 G,h=5y9_J E=8$*YUW(g wdTjJfr 4. 光线追迹系统分析器-选项 \>r<z46x @j?)uJ0Q *9xv0hRQ%? ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 hha^:, ■ 可以选择选取光线的方法: 84u%_4/ — 在x-y-网格 W&8)yog. — 六边形 FTC,{$ — 自由选取 @If ^5s;z ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 U<mFwJ C] fs
wQ* 5. 系统的3维视图 XKepk? E O#S27.
pcjb;&< 6. 其他系统参数 q3-V_~5^/z ■ 系统由单色平面波照明 eNw9"X}g ■ 照明波长266.08nm D\i8WU ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Fb9!x/$tGV — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 b(|1DE0Cv — 一个虚拟屏位于焦平面 V?"SrXN> — 光束尺寸探测器置于焦平面 /4PV<[
:_ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 a}MSA/K( cq
\()uF'c o>}fKg< Foc) u~ beCTOmC 7. 光线追迹系统分析器的结果 O+Q t8, LU4k/
光线经过整个光学系统的三维视图 S 8$kxQg
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大) 2dUVHu= + pv #uLo N++jI( }+Ne)B E bI?YNt, WbW@V_rr 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Ot#O];3 =UW!
7OzC 251^>x.R ■ VirtualLab可用于计算点列图。 wa*/Am9;~ ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 HKZD*E(( ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 amY\1quD| ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 kLw07&H T2^0Q9E? 9. 焦平面上的结果 N-4k
9l1 {2Jn#&Z29 -$js5Gx1 ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 g-Y2U}& ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 %8a886;2 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm <p74U( V ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 }+fMYgw ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 05cyWg9a 5 UQbd8 10. 总结 TsB"<6@!AA ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 8(EK17rE` ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 cnR.J
■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 l"#}g%E ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 }yfSF|\ y(!YN7_A 3.
kP, QQ:2987619807 UtebSQ+h\
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