利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统
示例.0082(1.0) gISs+g H~Cfni; 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 ui1m+ jH1~Ve+q9 1. 描述 C)w*aU,( ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 0^[6 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ;[9Is\ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 m##=iB|; $}$@)!- 2. 系统 |xm|Q(PG ;^]A@WN6_
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd ([~`{,sv 3. 透镜系统组件编辑 t^hkGYj!2 SO/]d70HG ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 4&D="GA ■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 1tW:(~=a; ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 $Stu-l1e a ■ 包括序列光学表面和光学介质。 =6&D4~R U5"Oh I &v,p_'k 4. 光线追迹系统分析器-选项 7p6J :8rCCop
Uv Kf#!IY][ ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 GwBQ
pNjy ■ 可以选择选取光线的方法: \<**SSN — 在x-y-网格 S!_?# ^t — 六边形 [[Z>(d$8 — 自由选取 46Nf|~ ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 #LJ-IDuF! VWt'Kx" 5. 系统的3维视图 ;!?K.,N:N J-F_XKqH
JxJ ntsn 6. 其他系统参数 Bq_P?Q+\ ■ 系统由单色平面波照明 VhgEG(Ud ■ 照明波长266.08nm S8m&Rj3O& ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: o[hP&9>q — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 R"`{E,yj — 一个虚拟屏位于焦平面 Q%Q?q)x — 光束尺寸探测器置于焦平面 &Q>'U6"% ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 u V7Hsg9l ~e9INZe-j _9|@nUD bK9~C" k MXk. 2 7. 光线追迹系统分析器的结果 ue<<Y"NR +z0}{,HX
光线经过整个光学系统的三维视图 .+}o'rU
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
}TJ|d= 5C1Rub) L]N2rMM H^;S}<pxW @;D}=$x jMui+G(h 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 &xroms"S= 9Pk3}f)a ?0<INS~ ■ VirtualLab可用于计算点列图。 o~_>p/7; ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 )+4}Ix/q ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 EZQ+HECpK ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 R(N(@KC oV>AFs6 9. 焦平面上的结果 Sx9:$"3.X r5fkt>HZ
ZHECcPhz ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 xWz;5=7a] ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 h?3l ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm Cmx2/N ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 -u9yR"n\} ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 Bi:wP/>v k5QD5/Ej 10. 总结 0gD59N'C ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ak8^/1*@ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 &9w%n ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 [Pwo,L,) ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 emY5xZ@N I=
h4s( #IhLpO QQ:2987619807 [S&O-b8A
|