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infotek 2020-12-09 17:44

利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统

示例.0082(1.0) gISs+g  
H~Cfni;  
关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 u i1m+  
jH1~Ve+q9  
1. 描述 C)w *aU,(  
该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 0^[6  
我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ;[9Is\  
此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 m##=iB|;  
$}$@)!-  
2. 系统 |xm|Q(PG  
;^]A@WN6_  
文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
([~`{,sv  
3. 透镜系统组件编辑 t^hkGYj!2  
SO/]d70HG  
在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。  4&D="GA  
透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 1tW:(~ =a;  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 $Stu-l1e a  
包括序列光学表面和光学介质。 =6&D4~R  
U5"OhI  
&v,p_'k  
4. 光线追迹系统分析器-选项 7p6J   
:8rCCop Uv  
Kf#!IY][  
分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 GwBQ p Njy  
可以选择选取光线的方法: \<**SSN  
— 在x-y-网格 S!_?# ^t  
— 六边形 [[Z>(d$8  
— 自由选取 46Nf|~  
每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
#LJ-IDuF!  
VWt'Kx"  
5. 系统的3维视图 ;!?K.,N:N  
J-F_XKqH  
JxJntsn  
6. 其他系统参数 Bq_P?Q+\  
系统由单色平面波照明 VhgEG(Ud  
照明波长266.08nm S8m&Rj3O&  
后端的探测器用来分析透镜系统的性能: o[hP&9>q  
— 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 R"`{E,yj  
— 一个虚拟屏位于焦平面 Q%Q?q)x  
— 光束尺寸探测器置于焦平面 &Q>'U6"%  
焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 u V7Hsg9l  
~e9INZe-j  
_9|@nUD  
bK9~C" k  
MXk. 2  
7. 光线追迹系统分析器的结果 ue<<Y"NR  
+z0}{,HX  
光线经过整个光学系统的三维视图
.+}o'rU  
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
}TJ|d=  
5C1Rub)  
L]N2r MM  
H^;S}<pxW  
@;D}=$x  
jMui+G(h  
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 &xroms"S=  
9Pk3}f)a  
?0<INS~  
VirtualLab可用于计算点列图。 o~_>p/7;  
左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 )+4}Ix/q  
默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 EZQ+HECpK  
你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 R(N(@KC  
oV>AFs6  
9. 焦平面上的结果 Sx9:$"3.X  
r5fkt>HZ  
ZHECcPhz  
在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 xWz;5=7a]  
在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 h?3l  
焦平面上的光斑尺寸为183mm  Cmx2/N  
此外,背景颜色也可以预先设置。 -u9yR"n\}  
该测量采用均方根(RMS)计算法。
Bi :wP/>v  
k5QD5/Ej  
10. 总结 0gD59N'C  
VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 ak8^/1*@  
利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 &9w%n  
此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 [Pwo,L,)  
可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 emY5xZ@N  
I= h4s(  
#IhLpO  
QQ:2987619807 [S&O-b8A  
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