极紫外投影光刻光学系统

摘要：极紫外光刻(EUVL)是半导体工业实现32～16nm技术节点的候选技术，而极紫外曝光光学系统是EUVL的核心部件，它主要由照明系统和微缩投影物镜组成。本文介绍了国内外现有的EUVL实验样机及其系统参数特性；总结了EUVL光学系统设计原则，分别综述了EUVL投影光学系统和照明光学系统的设计要求；描述了EUVL投影曝光系统及照明系统的设计方法；重点讨论了适用于22nm节点的EUVL非球面六镜投影光学系统，指出了改善EUVL照明均匀性的方法。

关键词：极紫外光刻；投影光学系统；照明光学系统；光学设计

zszp	2020-12-06 14:57
感兴趣顶顶顶

zszp	2020-12-06 14:59
zszp:感兴趣顶顶顶 (2020-12-06 14:57) @mvIt fKFnCng 楼主 RAR 文件下载下来无法打开

天蓝色3230	2020-12-06 20:01
谢谢分享。

天蓝色3230	2020-12-06 20:02
zszp:楼主 RAR 文件下载下来无法打开 (2020-12-06 14:59) Q&oC]u(="& %M\|Z}2qv 我下载了，压缩文件能正常解压呀，是不是你的网络有问题，传输错误了。

mang2004	2020-12-07 06:34
谢谢分享

optifdtd	2020-12-07 06:55
学习一下。。。。。。

optifdtd	2020-12-07 06:58
不错的论文。。。。。。

opmeman	2020-12-07 08:38
学习下光科技术哈

legendlyy	2020-12-07 09:25
谢谢分享

looksea2015	2020-12-08 15:02
好好学习一下！

道到	2020-12-08 16:25
学习一下

zebra	2020-12-08 17:58
謝謝分享。

小恶魔约纳斯	2020-12-08 22:49
感谢分享

mirro.l	2020-12-09 10:12
谢谢分享，学习中

xia0ya0	2020-12-09 22:12
看一看跟ASML比一比

zoubois	2020-12-11 17:19
可以看一下，极紫外光刻系统

bairuizheng	2020-12-11 18:42
学习一下。。。。。。

light0425	2020-12-13 22:44
感謝分享來看一下

anansiyu	2020-12-27 11:18
学习一下

desmond986	2020-12-29 12:47
谢谢分享

wenhong.gaw	2020-12-29 20:40
好东西

visuangle	2020-12-31 16:19
谢谢分享

chenfeng1205	2021-01-07 09:45
正好了解一下

churuiwei	2021-01-07 17:42
学习一下 n&2=6$*,k

songshaoman	2021-01-08 09:00
好厉害

bolituliyan	2021-01-08 10:42
非常好，顶顶

zhangyuqian1	2021-01-08 14:47
感谢分享 A:8FJ3'

optica	2021-01-13 11:08
111111111111

雇人思乡	2021-02-05 15:56
学习一下

yzhengpeng	2021-02-19 00:24
谢谢分享，看看

wqb612	2021-02-20 14:50
谢谢分享，好东东

白云千载空悠悠	2021-04-13 15:54
学习一下

mmgg998	2021-06-06 16:29
学习下光科技术哈

snowrun	2021-07-07 09:47
谢谢分享

hychyc	2021-07-07 10:18
感谢楼主分享 y0&V$uv/

rags_to_rings	2021-08-03 11:22
多看看 (04j4teE

kimclps	2021-08-04 18:14
EUVL光学系統

jade_care	2021-08-04 18:36
LED 准直怎么解决？

lvxiansheng	2021-08-11 10:59
学习了解一下 0f=N3)

wwwtt02	2021-08-11 11:16
下载看看。。。

wwwtt02	2021-08-11 11:20
下载看看是什么

seedvsgod2	2021-09-04 09:42
光科加油

凉开水	2021-09-04 09:50
谢谢分享

palm_1	2021-09-06 21:19
感谢分享

raja	2021-09-08 17:02
学习了解下光刻

tf2021	2021-09-08 20:53
感谢分享好东西

daoyeer	2021-10-21 16:13
学习一下

tianchao1	2021-12-01 16:00
谢谢分享，正好需要学习

樱木o花道	2021-12-13 07:15
谢谢分享 W(PW9J9

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