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2020-12-04 11:14 |
高数值孔径衍射分束器设计
案例386(1.0) GJZjQH-#P ,lA@C2c 关键词: 衍射光学元件、DOE、高数值孔径,畸变补偿,几何畸变,枕形,桶形,强度衰减,功率、陡降、损耗、预备信号场、光图形、迭代傅里叶变换算法、IFTA、模组、分束器、衍射 (m,H 5 3m!tb) 1. 摘要 `j@1]%&z ZHN'j ]? 通过该案例阐述了如何利用迭代傅里叶变换算法进行高数值孔径衍射分束器设计。 |@'O3KA 通过来分束器可以生成一个5x5规则的点阵图形。 KS93v9| 然而,由于偏转角较大使得目标平面上这个规则的5x5点阵图案产生了一个形变。 z,ERq,g+L 可以利用VirtualLab 模块 Mod014 在迭代傅里叶变换算法设计中预补偿该图形的形变。 L55UeP\ X.;VZwT+ 2. 设计任务:规则的5×5光束分束器 )Ln".Bu, Lu.+J]Rz jhf3(hx&F 设计衍射分束器用于在衍射元件远场生成规则的高数值孔径光图形。 El5} f4sl 最大衍射角(水平/竖直):α=β=22.3° ;j/$%lC 最大衍射角(对角线)=30.1° G2kU_ /Yp#`}Ii 3. 设计任务 s+lBai*# }' AY#g 光源参数: )h]#:,pm — 高斯光源波长:532nm #DFi-o&- — 光束直径(1/e2):80um iBAP,cR?` 系统参数: 3._
ep — 衍射元件到屏幕距离:z=0.3m $\h-F8|JMX 期望输出场: *PnO$q@` — 期望点图形:规则图形,5×5的点阵 hA5')te< | |