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2020-11-18 10:49 |
F-Theta物镜激光扫描系统的性能分析
激光扫描系统(LSC.0002 v1.0) CjzfU*G LF'M!C9| 应用案例概述 web=AQ5I4 :<OInKE>Cx 系统细节 zX-6]j; t5z6{` 光源 J~5VL |ca – 绿光二极管 g8yWFqE!T 元件 ZDZPJp, – 双轴振镜扫描仪 3z[yKua\ – F-Theta物镜 g1Q^x/ 探测器 v hUn3|
– 场曲和畸变探测器 Ns-cT'1- – 光束强度剖面探测器 C7(kV{h$d – 焦点区域探测器 b9[KdVsT6^ – 光束参数探测器 GNXQD}L?b? 模拟/设计 M%wj6!5 – 光线追迹:分析扫描场尺寸,场曲以及畸变 wSp1ChS k – 场追迹:考虑衍射效应,进行更精确的光束尺寸和剖面的研究 k;p:P ?s5Y >Au]S` 系统说明 ex8mA6g pa&*n=&cL C#X0Cn0ln 激光扫描系统的性能评估 K1Tq7/N ?aInn:FE 一个激光扫描系统的扫描光学部分包含了一个扫描仪单元和一个F-Theta物镜,在一维扫描过程中(沿入射角Theta),通过分析光束的场曲和畸变来评估其性能。 +[9~ta|j 此外,计算了不同扫描位置处的光束尺寸和轮廓。 ]6{G;f$ Xc2Oa 模拟和设计结果 9YMUvd,u [8/E ;h
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.gQo' 其他的VirtualLab特征 }XCHoB Ys10r-kDS 在此案例中,你将从以下选择的特征中获益: 8jxgSB", 各种探测器 \xk`o5/{ - 测量与反射镜扫描角度相关的焦点位置 CTt3W>'=+ - 测量探测器平面上的光束位置 Cw]Q)rX{ - 使用焦点区域探测器计算焦点区域中的场 g2 uc+p 参数耦合 !!ZNemXct$ - 针对扫描光学部分的期望输入扫描角度Theta来调整反射镜方位 -OZRSjmY 参数运行 rr2'bf<] - 估计扫描场尺寸 '$~9~90?Z - 生成场曲和畸变图 x~xaE*r -^8gZk/(W 总结 _;J7#j~} 2RKI M(~ VirtualLab可以 +nRO< 模拟一个由双轴扫描反射镜和一个F-Theta物镜构成的激光扫描系统 A'qJke= 分析目标平面上的光束偏转 /Cr0jWu
_ - 通过光线追迹来计算扫描场尺寸,场曲和畸变 y";{k+ - 通过几何场追迹来计算光束剖面 5tR<aIf - 场追迹可以更准确地分析光束位置和焦点 #rzq9}9tB 应用案例详述 Q"CZ}B1< \$s<G|<P 系统参数 AFL* a* .O'S@ %] 应用案例内容 q@P5c LSC.0001和LSC.0002为激光扫描系统。 02&m | |