泰伯(TALBOT)光刻机

作为最著名的衍射效应之一，泰伯(Talbot)效应可以用于光刻技术中以制造周期性纳米结构。继I.-H. Lee等人，我们在六边形网格上构造了一个圆锥形光栅掩膜版，并以深度方式模拟了Talbot图像的生成。特别是，由于光刻过程中使用的紫外光是非偏振的，因此我们在示例中演示了如何为VirtualLab Fusion中的光栅模拟建模非偏振光。

天蓝色3230	2020-11-16 23:09
光刻机？要看看。谢谢。

学本初	2020-11-26 11:01
谢谢分享 mipi]*ZfXE

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