ASML中国展示DUV光刻机：可生产7nm

近日，ASML此次也带来了其整体光刻解决方案，包括先进控制能力的光刻机台计算光刻和测量通过建模、仿真、分析等技术。ASML中国区总裁沈波接受媒体采访时表示，该公司对向中国出口集成电路光刻机持开放态度，对全球客户均一视同仁，在法律法规框架下，都将全力支持。

沈波透露，自30年前进入中国市场以来，ASML已提供了全面的技术和能力来满足中国客户的需求。在遵守法律法规的同时，ASML全力支持客户和中国集成电路行业的发展。

被问及有没有向中国出口EUV光刻机的打算，EUV光刻机还在等荷兰政府的出口许可证。ASML必须要在遵守法律法规的前提下进行光刻机出口。“但我们对向中国出口光刻机是保持很开放态度的，我们对全球客户都一视同仁，只要是我们能够提供的技术和设备，我们都会全力支持。”

据了解，目前，市场上光刻机主要分为两种，一种是DUV光源，另外一种是EUV光源。后者相比前者精度更高，但价格也更贵，而且目前全球只有荷兰ASML有能力生产EUV光刻机，而且一年产量还很有限。EUV光刻机售价在1.12亿欧元左右，约合人民币将近10亿。而DUV光刻机价值则是在6亿左右，便宜了40%。

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