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infotek 2020-10-29 09:36

大数值孔径显微镜极限分辨率的研究

光学测量>显微 `*kl>}$  
y[AB,Dd  
任务/系统视图 9CN'2 9c  
X+,0;% p  
&?xmu204  
Gp)J[8j  
亮点 >YF=6zq.`  
fWri7|"0h  
bNm]h.  
mtE+}b@(!&  
 显微镜系统中光栅的全矢量分析 0fUsERr1*  
 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 K@Q%NK,  
 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 0sme0"Sl  
n6Z!~W8  
说明:光源 YvP62c \  
dmLx$8  
5U]@ Y?  
?(Plb&kR  
zA3r&stN+  
1:@ScHS  
说明:透镜系统 7 &%#bMnw  
Y}Y~?kE>M|  
S}]B|Q  
说明:样品结构 vv^y V"0Y  
m9&%A0  
0E (G1o'  
%4YSuZg  
说明:探测器 hy$VG%b;#  
F`{O  
e:.?T\  
&uBf sa$  
SK 5]7C2  
,7k1n{C)  
结果:3D光线追迹 8ZCA vEy  
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V*Xr}FE  
1cRF0MI  
qZ@d:u  
5tLb o  
结果:光线追迹 n'JS-  
@'?gan#(  
-:J<JX)o  
fH:S_7i  
结果:光线追迹衍射级数 v*<rNZI  
`s Pk:cNz~  
87eH~&<1  
[cl+AV "  
结果:场追迹采样平面 ~82 {Y _{/  
3MKu!  
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结果:场追迹焦平面 ~ L>M-D4o  
NPM2qL9&J  
"5sA&^_#_  
d\JB jT1g  
结果:减小光栅周期 gwXmoM5  
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随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 UK*v\TMv  
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文档和技术信息 g#7Q-n3^  
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