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2020-10-28 09:35 |
导出制造数据
光整形>衍射光学 7[ 82~jM[ fWutB5?P 任务说明 Imv]V6"D= oM<Y o%n iS/faXe5 .|Ee,Un 灵活地导出制造数据: hoJ{C 0 - 平滑的界面 \DDRl{ - 量化界面 ZKk*2EK]2z - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 G\\0N^v U/p|X) 亮点 E:!qncL: 导出各种表面形状的制造数据 n#\ t_/\ 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 z8n=\xL cz{5-;$9Z
[H-r0Ah 一般界面的制造数据 *|OP>N J/-&Fa\( jE.yT(+lW n91@{U)QJ3 支持文件格式: #z.QBG@ - 纯文本 *'BA#
/@ - ASCII码 !}+rg2 - 点云 h3udS{9'8 - CAD格式(例如,STL,IGES) px7<;(I Y<h [5 STL导出平滑界面(例如Asphere) c;M&;'#x GM{J3O= 采样高度剖面的STL导出 S|_} 0 4Iq-4IG( O)Wc\-
a,EApUWw 量化界面的GDSII导出 C{5^UCJkg 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 o5;V=8T; 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 xklXV M8,_E\* p3f>;|uh_ 文档和技术信息 X6Y<pw`y u` j9m@` <*4'H PC用于模拟的规格
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