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2020-10-28 09:35 |
导出制造数据
光整形>衍射光学 !;A\.~-!G 9cF[seE"0 任务说明 @Nx9) tDcT%D {: ED gag =UQ3HQD 灵活地导出制造数据: ZMlm)?m - 平滑的界面 + &Eqk - 量化界面 j,eo2HaL - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 &p@O_0nF ZLejcYS 亮点 #c!lS<z 导出各种表面形状的制造数据 U8?mc 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 f$$ /H>MJ TD0
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;6$jf:2m 一般界面的制造数据 va@Lz&sAE% ^yp{32 vk^xT SqpaFWr 支持文件格式: S,UDezxg - 纯文本 24eLB?H - ASCII码 d$!RZHo10V - 点云 73;GW4, - CAD格式(例如,STL,IGES) *GPiOA
a }Sv:`9= STL导出平滑界面(例如Asphere) $U~]=.n TvbE2Q;/UL 采样高度剖面的STL导出 kl:Bfs)b gM:".Ee #"~<HG}bR/
;e *!S}C, 量化界面的GDSII导出 q_58;Bv 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 q/,O\, 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 Q![@c + ePS14G S,he6zS 文档和技术信息 xy;;zOh` 4V`G,W4^J I!K6o.|1 PC用于模拟的规格 =aW9L)8D Avb\{)s+
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