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2020-10-28 09:35 |
导出制造数据
光整形>衍射光学 4n6AK`E #f24a?n| 任务说明 c{I]!y^! #jg-q|nd X+N5iT `|?<KF164 灵活地导出制造数据: >pLJ ,Z - 平滑的界面 V~j^ - 量化界面 UWC4PWL,>C - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 #<b\B qYG g:)iEw>a 亮点 f0sLe 3 导出各种表面形状的制造数据 J.R\h! 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ~SBb2*ID +5*bU1}O
ZAn @NA= 一般界面的制造数据 /\- }-"dm bKM*4M=k h>D;QY *cXq=/s 支持文件格式: XdCP!iq*8 - 纯文本 X/2GTU7? - ASCII码 ,4t6Cq! - 点云 *{#C;" - CAD格式(例如,STL,IGES) 4h|*r ! TU^ZvAO& STL导出平滑界面(例如Asphere) 6R<+_e+v y*+8Z&i.: 采样高度剖面的STL导出 ]VKQm(,0 R)JH D7
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HL4=P,' 量化界面的GDSII导出 HP]5"ziA 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 -`XS2 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 Yft [)id I*.nwV< _|I8+(~) 文档和技术信息 yPtE5"(o 1k4\zVgi Q&r.wV| PC用于模拟的规格 ]-X6Cl NJsaTBT
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