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2020-10-28 09:35 |
导出制造数据
光整形>衍射光学 Ko<:Z)PS UERLtSQ 任务说明 zFfr.g;L AlaW=leTe DMr\ TN N)X3XTY 灵活地导出制造数据: vH@ds
k - 平滑的界面 z\W64^'"Z - 量化界面 Q~
w|# - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 `g=J%p Jq-]7N%k/ 亮点 rpha!h>w1% 导出各种表面形状的制造数据 Gx/Oi)&/ 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 \';gvr| >1Ibc=}g
*~e?TfG 一般界面的制造数据 kS);xA8s] K\Wkoi5 "%w u2%i ?dg[:1R} 支持文件格式: k1~&x$G - 纯文本 97*p+T<yp - ASCII码 CY5Z{qiX - 点云 lTgjq:mn - CAD格式(例如,STL,IGES) ~qKY) "gG }o(-=lF STL导出平滑界面(例如Asphere) x|Bf-kc[#Q FDs>m
#e 采样高度剖面的STL导出 sY&IquK^ Ee! 4xg N=}A Z{$
/$?}YL, 量化界面的GDSII导出 kgP0x-Ap 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 L L~%f
&_ 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 IOmfF[ 4Z&lYLq; FcU SE 文档和技术信息 X.{S*E:$u \ Gvm9M [RhO$c$[\ PC用于模拟的规格 g}cq K !l8PDjAE
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