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infotek 2020-10-28 09:35

导出制造数据

光整形>衍射光学 k%Tp9x$  
kjsj~jwvv  
任务说明 (Ly^+Hjg  
IOC$jab@  
'4#NVXVQm  
QbSLSMoL  
灵活地导出制造数据: (X5y%~;V5a  
- 平滑的界面 :XAyMK7   
- 量化界面 @f|~$$k=  
- 镜子/棱镜/光栅单元阵列 [) >Yp-n  
?,v& o>*  
亮点 Ho*B<#&(A|  
 导出各种表面形状的制造数据 ^["D>@yIR  
 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 w;Fy/XQ  
     toD!RE  
[Rq|;p  
一般界面的制造数据 ONpvx5'#  
F,VWi$Po\N  
VE*`J i  
gn.)_  
支持文件格式: ZRw^< +  
- 纯文本 WEG!;XZ  
- ASCII码 GoX<d{  
- 点云 Y$Rte .?  
- CAD格式(例如,STL,IGES) _D{FQRU<YD  
) Kl@dj  
STL导出平滑界面(例如Asphere) v)|a}5={  
| ~>7_:  
采样高度剖面的STL导出 <Pe'&u  
daSx^/$R  
Wql=PqF  
bcu Uej:  
量化界面的GDSII导出 Z]2z*XD  
 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 Yg&/^  
 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 `S? _=JIX  
JS\]|~Gd  
@~7au9.V=X  
文档和技术信息 D_ej%QtB@  
T:K}mLSg  
ume70ap}m  
PC用于模拟的规格 ]Y->EME:W  
=I&BO[d  
"mU2^4q  
QQ:2987619807
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