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2020-10-28 09:35 |
导出制造数据
光整形>衍射光学 FZmYv%J L ou4M 任务说明 Nmsb ^! ZjK-$A< qc'tK6=jp KwQO,($,] 灵活地导出制造数据: ?3z+|;t6C - 平滑的界面 D&9j$#9Rh - 量化界面 W\<#`0tUt - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 D+o.9I/{ e#HP+b$ 亮点 Z#o\9/{(R 导出各种表面形状的制造数据 pmW=l/6+V3 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 D#t5*bwK n"K7@[d
#1bgV 一般界面的制造数据 }5tn Eq<#pX6 Z%OS W NxX1_d 支持文件格式: /l$noaskX - 纯文本 j'J*QK&Q - ASCII码 MM8)yCI - 点云 My`%gP~%g - CAD格式(例如,STL,IGES) YKc{P"'/| tl^[MLQa STL导出平滑界面(例如Asphere) 0\~Zg >aWJ+ 采样高度剖面的STL导出 ? s ewU9* "DN `@ \4p<;$'
^c7L!F 量化界面的GDSII导出 6kuSkd$. 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 y14@9<~9 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 %ej"ZeM |}|;OG 5#F+-9r 文档和技术信息 &^7)yS+C 4#YklVm y d$37G|n PC用于模拟的规格 zLn#p] \~H"!vj
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