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2020-10-28 09:35 |
导出制造数据
光整形>衍射光学 n_'s=] ~ YfRkwKjy( 任务说明 $^@ ) o`Ta("9^ 6oBfB8]:d g&`pgmUX 灵活地导出制造数据: |^A ;&// - 平滑的界面 +Z85HY{ - 量化界面 t*?0D\b
2 - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 5< ja3 ;X?mmv' 亮点 Ox@sI:CT 导出各种表面形状的制造数据 C*`mM'# 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 8cA~R- z`\F@pX%wC
DZ_lW 一般界面的制造数据 ca>Z7qT! qM.bF&&Go /r=tI)'$ ~j<+k4I~ 支持文件格式: (7 r<'' - 纯文本 `(3/$% - ASCII码 ,~"$k[M - 点云 LGl2$#x - CAD格式(例如,STL,IGES) [/X4"D-uOK AGbhJ=tB STL导出平滑界面(例如Asphere) 4fKC 6UR w08?DD]CDt 采样高度剖面的STL导出 !=N"vD* 39=1f6I1 ZfB"
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zSFDUZ]A3 量化界面的GDSII导出 A$w4PVS 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 A7n\h-b 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 &cu lbcz PpgP&;z4 >hr{JJe 文档和技术信息 ^g`&7tX `+uhy, u07pq4Ly PC用于模拟的规格 IEzaK w.0qp)}
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