| infotek |
2020-10-28 09:35 |
导出制造数据
光整形>衍射光学 :5S |x/
=~hsKBt*
任务说明 !(* a+ur&i
>HPvgR/#BY
[2'm`tZL
^.#X<8hr
灵活地导出制造数据： #$=8g
RZj
- 平滑的界面 Q)Iv_N/
- 量化界面 [vWkAJ'K
- 镜子/棱镜/光栅单元阵列 9$+^"ilk
Y=a v8Y|`
亮点 r]8x;v1
导出各种表面形状的制造数据 zr.+'
导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 vx!::V7s6
qBy NHo7Tb
 3qiJwo>
,\lY Px\P[
hza> jR
tL~,ZCQz
支持文件格式： [0u.}c;(
- 纯文本 kS+r"e
.TM
- ASCII码 >gk z4.*
- 点云 Dxt),4 %P
- CAD格式（例如，STL，IGES） Vvm=MBgN
X, TTM,1w
STL导出平滑界面（例如Asphere） =.36y9Mfo
K`QOU-M@}
采样高度剖面的STL导出 ]C16y.
~e
.tRr?*V|l
?P""KVp o
 t7w-TJvP
量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 6<x~Mk'u)
这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 gA~20LSt
1, "I=
L*g.
6+2
文档和技术信息 E/mubA (&
.dx
4,|6
0xJ7M.
PC用于模拟的规格 lPM3}52Xu
I|,pE**T
Deg!<[Nw
QQ：2987619807
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