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2020-10-28 09:35 |
导出制造数据
光整形>衍射光学 pX~X{JTaL) +J<igb!S 任务说明 [x\?._> dNg5#?mzT5 >.X& v zm7IkYF 灵活地导出制造数据: fCa*#ME - 平滑的界面 lk?@ =U~ - 量化界面 $>csm - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 /+g9C([' oFC]L1HN& 亮点 7I0[Ii 导出各种表面形状的制造数据 nhZ^`mP 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 Op2@En|d j{?ogFfi
R$Or&:E ^ 一般界面的制造数据 e[
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采样高度剖面的STL导出 C1ZuDL)e \lBY4j+; }F<=
)U5Ba^"fI 量化界面的GDSII导出 WnkI i,< 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 X<*-d6?gD` 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 _Q=h3(ZI 4!k0 f(Uo?_as 文档和技术信息 aSVR+of E# UAC2Q /ho7O/aAa PC用于模拟的规格 "t!_bma )ld`2)
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