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2020-10-28 09:35 |
导出制造数据
光整形>衍射光学 nZe2bai 7Z0fMk 任务说明 BtS#I[-p_ n>?o=_|uR :B?C~U k >[;+QVr; 灵活地导出制造数据: HV@C@wmg - 平滑的界面 ?zW4|0 - 量化界面 6qQdTp{i - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 iIFM 5CT L=4%MyZ.e 亮点 T9.3 导出各种表面形状的制造数据 zKB$n.H 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 sJ[I< ;5qZQ8`4
Mz,G;x} 一般界面的制造数据 WPT0=Hqp7 +6tj
w 6 z97RNT|Y7U ?5(Cwy ? 支持文件格式: K
TJm[44 - 纯文本 `6a - ASCII码 I;xrw?=\L - 点云 JgQ,,p_V? - CAD格式(例如,STL,IGES) fz'@ON /<7'[x< STL导出平滑界面(例如Asphere) ' jAX&7G` xwK{}==U 采样高度剖面的STL导出 Q!7il<S gXZl3 8i:E$7e tH
[?z`XY_- 量化界面的GDSII导出 r'!L}^n 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 S"+X+Oxp7? 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 OolYQU1_ @I_!q* jpijnz{M 文档和技术信息 ZBYFQTEE X@;;
h r6_g/7.- PC用于模拟的规格 FI|jsO 3 (55k70>i3
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